Покрытие вакуумным испарением, распылением металлов или ионным внедрением материала, образующего покрытие (C23C14)
C Химия; металлургия(326262)
C23 Покрытие металлических материалов; покрытие других материалов металлическим материалом (металлизация текстильных изделий D06M11/83; декоративная обработка текстильных изделий местной металлизацией D06Q1/04); химическая обработка поверхности; диффузионная обработка металлического материала; способы покрытия вакуумным испарением, распылением, ионным внедрением или химическим осаждением паров вообще (для специфических целей см. соответствующие классы, например для производства резисторов H01C17/06); способы предотвращения коррозии металлического материала, образования накипи или корок вообще (обработка металлических поверхностей или покрытие металлов электролитическим способом или способом электрофореза C25D,C25F)
(12971)
C23C14 Покрытие вакуумным испарением, распылением металлов или ионным внедрением материала, образующего покрытие (разрядные трубки с устройствами для ввода объектов или материалов, подлежащих воздействию разряда H01J37)(2322)
C23C14/02 - Предварительная обработка покрываемого материала ( C23C14/04 имеет преимущество)(114)
C23C14/04 - Нанесение покрытия на выбранный участок поверхности, например с использованием масок(39)
C23C14/06 - Характеризуемые покрывающим материалом ( C23C14/04 имеет преимущество)(605)
C23C14/10 - Стекло или кремнезем(6)
C23C14/12 - Органический материал(18)
C23C14/14 - Металлический материал, бор или кремний(43)
C23C14/16 - На металлическую подложку или на подложку из бора или кремния(123)
C23C14/18 - На другие неорганические подложки(22)
C23C14/20 - На органические подложки(15)
C23C14/22 - Характеризуемые способом покрытия(37)
C23C14/24 - Вакуумное испарение(556)
C23C14/26 - С использованием источника резистивного или индуктивного нагрева(88)
C23C14/28 - С использованием волновой энергии или облучения частицами ( C23C14/32-C23C14/48 имеют преимущество)(48)
C23C14/30 - Электронной бомбардировкой(34)
C23C14/32 - С использованием взрыва, испарения и последовательной ионизации паров ( C23C14/34-C23C14/48 имеют преимущество)(218)
C23C14/34 - Распыление металлов(201)
C23C14/35 - С использованием магнитного поля, например распыление магнетроном(221)
C23C14/36 - Диодное распыление ( C23C14/35 имеет преимущество)(39)
C23C14/38 - С помощью тлеющего разряда постоянного тока(35)
C23C14/42 - Триодное распыление ( C23C14/35 имеет преимущество)(9)
C23C14/46 - С помощью ионного луча, получаемого от внешнего ионного источника ( C23C14/40 имеет преимущество)(42)
C23C14/48 - Ионное внедрение(195)
C23C14/50 - Держатели подложек(60)
C23C14/52 - Средства наблюдения за процессом покрытия(13)
C23C14/54 - Управление или регулирование способа нанесения покрытия (управление или регулирование вообще G05)(47)
C23C14/56 - Устройства, специально приспособленные для непрерывного процесса покрытия; приспособления для поддержания вакуума, например вакуумные затворы(136)
C23C14/58 - Последующая обработка(78)
Способ создания интерфейса для интеграции монокристаллического оксида европия с германием // 2793379
Изобретение относится к технологии формирования эпитаксиальных гетероструктур, а именно тонких пленок оксида европия на германии, которые могут быть использованы при создании устройств германиевой наноэлектроники и спинтроники, в частности инжекторов спин-поляризационного тока, спиновых фильтров, устройств памяти, нейроморфных устройств.
Способ ионного азотирования тонколистовых изделий с ультрамелкозернистой структурой в магнитном поле // 2793172
Изобретение относится к области химико-термической обработки, а именно к вакуумному ионно-плазменному азотированию, и может быть использовано в машиностроении для повышения надежности и долговечности тонколистовых изделий, изготовленных из быстрорежущей стали, а также позволяет интенсифицировать процесс азотирования.
Изобретение относится к технике нанесения композитных покрытий путем проведения неравновесных плазмохимических процессов, объединяющих ионное распыление в магнетронном разряде и распыление ионным пучком.
Изобретение относится к области нанесения многокомпонентных покрытий для режущего инструмента из плазмы вакуумно-дугового разряда. Способ получения износостойкого покрытия для режущего инструмента 2 из многокомпонентного сплава Al-Nb-Ti-V-Zr вакуумно-плазменным синтезом заключается в том, что синтез износостойкого покрытия осуществляют системой магнитно-дуговой фильтрации 5 из плазмы вакуумно-дугового разряда, горящего в парах материала многокомпонентного катода 4, полученного методом электроискрового спекания из технически чистых порошков указанных металлов при одновременном проведении процесса плазменного ассистирования несамостоятельным сильноточным диффузионным разрядом, генерируемым плазменным источником 6.
Изобретение относится способу модифицирования карбидом титана поверхности твердого титанового сплава. Проводят облучение поверхности твердого титанового сплава ионным пучком, имеющим состав 30% Н+ и 70% С+, энергию частиц 250 кэВ, длительность импульса 60 нс, число импульсов 1 и плотность ионного тока 150 А/см2, при этом нагревают поверхность твердого титанового сплава до температуры 2000ºC.
Группа изобретений относится к устройству для нанесения антикоррозионного покрытия на металлическую проволоку плазменно-импульсным осаждением, способу нанесения антикоррозионного покрытия с использованием указанного устройства и к металлической проволоке, покрытой антикоррозионным покрытием.
Изобретение относится к способу получения высокотемпературного сверхпроводящего монокристаллического слоя YBа2Cu3O7 на подложке из монокристаллического сапфира с ориентацией . Упомянутую подложку располагают в металлическом держателе с возможностью расположения поверхности осаждения упомянутой подложки параллельно направлению распространения эрозионного факела и с возможностью скольжения факела по указанной поверхности осаждения.
Способ вакуумно-дугового нанесения наноструктурированных покрытий на стоматологические конструкции // 2791571
Изобретение относится к области нанесения покрытий из плазмы вакуумно-дугового разряда и может быть использовано для получения наноструктурированных покрытий на стоматологические конструкции. Для нанесения многослойного покрытия (Zr,Nb)N в качестве материалов катодов используют Zr и Nb.
Изобретение относится к области микрометаллургии, в частности, к получению покрытий системы Ni-Cr-Мо-TiB2, полученных методом гетерофазного переноса. Способ получения функционально-градиентного покрытия на основе системы Ni-Cr-Mo-TiB2 включает нанесение дисперсных частиц на поверхность изделия методом сверхзвукового холодного газодинамического напыления с использованием трех автономно работающих дозаторов, при этом в первый дозатор помещают порошок из чистого никеля Ni фракцией 20-40 мкм, во второй - порошок из сплава Ni40Cr18Mo42 фракцией 40-50 мкм, а в третий - наноразмерный порошок диборида титана TiB2 фракцией 80-120 нм, после чего осуществляют напыление функционально-градиентного покрытия с использованием компьютерной программы, согласно которой вначале из первого дозатора производят напыление адгезионного подслоя никеля, затем первый дозатор отключают и включают второй и третий дозаторы, причем из второго дозатора начинают подавать порошок Ni40Cr18Mo42 с максимальным 100% расходом, а из третьего - с минимальным расходом TiB2, затем по линейному закону количество порошка из второго дозатора уменьшают, а из третьего - увеличивают до получения покрытия состава TiB2.Техническим результатом является получение функционально-градиентного покрытия на основе системы Ni-Cr-Mo-TiB2 с высокой микротвердостью 28,8-30 ГПа, стойкостью к износу от 0,6·10-9 до 0,9·10-9 и коррозии менее 0,001 мм/год, адгезией 64-73 МПа.
Изобретение относится к области электротехники и может быть использовано в электронной промышленности при изготовлении герметизированных магнитоуправляемых контактов (герконов). Повышение прочности поверхности контакт-деталей является техническим результатом, который достигается ионно-плазменным формированием защитного покрытия герконов, по которому в зазоре между контакт-деталями возбуждают тлеющий разряд импульсами напряжения длительностью 10-30 мкс при частоте следования в 20-30 кГц с коэффициентом заполнения разрядного тока 20-90%, после чего в два последовательных этапа осуществляют очистку поверхности контакт-деталей током разряда с импульсной плотностью (7-9)⋅102 мА/см2 в течение 30-45 минут и азотирование поверхности током разряда с импульсной плотностью (4-6)⋅102 мА/см2 в течение 90-120 минут, при этом на исходной поверхности контакт-деталей герконов формируют микрорельеф со среднеарифметическим отклонением профиля, равным 0,16-0,20 мкм.
Изобретение относится к способу нанесения теплозащитного покрытия (ТЗП) на детали из сплава на основе никеля. На детали наносят жаростойкий металлический подслой вакуумным методом осаждения из сплава системы Ni-Cr-Al-Y-Me, причем Me - это Та, Hf и Re с суммарным содержанием от 5,0 до 8,5 мас.%.
Изобретение относится к защитным покрытиям для медицинских имплантатов из никелида титана и может применяться для сокращения сроков приживаемости имплантатов. Способ получения биосовместимого покрытия на изделиях из монолитного никелида титана включает последовательное нанесение трех чередующихся слоев титан-никель-титан в атмосфере, содержащей аргон, и нагрев изделий до температуры, достаточной для самопроизвольного начала реакции самораспространяющегося высокотемпературного синтеза, с последующим охлаждением в тех же условиях в течение 60 мин до комнатной температуры, при этом толщину указанных слоев выбирают равной 40±5 нм, причем нагрев изделий проводят до температуры 1000±10°С в течение 60±5 с в газовой среде, состоящей из 80% N и 20% Ar.
Способ получения пленок феррита // 2790266
Изобретение относится к технологии синтеза анизотропных (с осью легкого намагничивания, направленной перпендикулярно плоскости пленки) пленок BaFe12O19 методами осаждения из газовой фазы. Такой материал может быть использован при разработке планарных невзаимных СВЧ-устройств с эффектом самосмещения, в устройствах спинтроники в качестве магнитного диэлектрика.
Изобретение относится к вакуумной технике и предназначено для изготовления и герметизации электровакуумных приборов (ЭВП) и других изделий. Высоковакуумная система промышленных и лабораторных установок состоит из последовательно соединенных вакуумной камеры с нагревателями, снабженной вакуумметрами, турбомолекулярного насоса, вентиля, форвакуумного насоса.
Изобретение относится к области ионно-плазменной модификации поверхности материалов и представляет собой способ магнетронного напыления металлических или композитных (нитридных, оксидных) покрытий на движущуюся металлическую проволоку в обращенной цилиндрической магнетронной распылительной системе (МРС).
Изобретение относится к износостойкой металлической детали, содержащей металлическую подложку и покрытие из гидрированного аморфного углерода a-C:H, покрывающее металлическую подложку. Между металлической подложкой и покрытием из гидрированного аморфного углерода а-C:H расположен подслой на основе хрома (Cr), углерода (C) и кремния (Si), на который нанесено упомянутое покрытие.
Изобретение относится к области технологии микроэлектроники и наноэлектроники, а именно к способу получения наноструктур с твердотельными лучами в виде нанозвезд. Проводят конденсацию золота на подложку методом термического испарения в вакуумной установке.
Изобретение может быть использовано для получения алмазных покрытий. В разрядную камеру 14 подают водород 1 и углеродосодержащий газ 2.
Изобретение относится к области микроэлектроники и может быть использовано для формирования конфигурации пленок, напыляемых в вакууме. Устройство для формирования конфигурации пленок, напыляемых в вакууме, включает маску из ферромагнитного материала, расположенную с лицевой стороны подложки, и магниты в виде полос с чередующимися полюсами и с плоской верхней поверхностью, расположенные с противоположной по отношению к упомянутой маске тыльной стороны подложки, корпус с плоской верхней поверхностью и плоским гнездом для подложки, и с выступами на его плоской верхней поверхности.
Изобретение относится к области получения многослойных материалов на основе стали и «мягких» металлов, таких как алюминий, медь, титан, и может быть использовано в машиностроении, приборостроении, энергомашиностроении, судостроении для увеличения ресурса работы механизмов за счет повышения износо- и коррозионной стойкости в агрессивных средах.
Изобретение относится к технологии получения пленок гексагонального феррита бария, которые могут быть использованы во невзаимных микроволновых устройствах: фазовращателях, изоляторах, циркуляторах. Способ обработки пленочного магнитного материала гексаферрита бария включает нанесение пленки гексаферрита бария состава BaFe12O19 на сапфировую подложку epi-ready ориентации (0001), после чего пленку в открытой атмосфере дополнительно подвергают воздействию плазмы со среднемассовой температурой в диапазоне 3727÷9727°С в течение 50-60 с, при этом в качестве источника плазмы используют плазмотрон постоянного тока с вихревой стабилизацией и расширяющимся каналом выходного электрода, генерирующий на выходе слабо расходящуюся плазменную струю азота диаметром D равным 8÷10 мм.
Изобретение относится к области модифицирования органических материалов, в частности, к способу напыления металлического покрытия на частицы из органического материала - окислителя или энергоемкого соединения, и может быть использовано для изготовления компонентов функциональных и высококалорийных компонентов энергетических конденсированных систем (ЭКС), например порохов, твердых ракетных топлив и взрывчатых составов.
Способ нанесения покрытий в вакууме на внутреннюю поверхность длинномерных цилиндрических изделий // 2786493
Изобретение относится к области вакуумных ионно-плазменных технологий и может быть использовано в машиностроении и электронике, например, для нанесения антидинатронного покрытия на цилиндрические аноды мощных генераторных ламп.
Изобретение относится к магнетрону планарному с равномерной эрозией мишени. Упомянутый магнетрон содержит корпус, в котором размещены мишень и магниты.
Изобретение относится к металлургии, в частности к способам химико-термической обработки деталей из легированных сталей, и может быть использовано в машиностроении для поверхностного упрочнения деталей машин, в том числе деталей, работающих в парах трения, зубчатых колес и роторов винтовых насосов и двигателей.
Изобретение относится к области солнечной энергетики, а именно к фотоэлектрическим преобразователям на основе полупроводниковых материалов перовскитного типа. Фотовольтаическое устройство содержит следующие слои: 0 - подложка и/или барьерный слой, защищающий остальные слои от механических воздействий, влияния влаги и кислорода воздуха; 1 - полупрозрачный дырочно-собирающий электрод; 2 - дырочно-селективный слой; 3 - фотоактивный перовскитный слой; 4 - электрон-селективный слой; 5 - электрон-собирающий электрод; 6 - подложка и/или барьерный слой, защищающий остальные слои от механических воздействий, влияния влаги и кислорода воздуха.
Изобретение относится к золотой распыляемой мишени и способу ее получения (варианты). Золотая мишень имеет чистоту золота 99,999% или более.
Золотая распыляемая мишень // 2785130
Группа изобретений относится к золотой распыляемой мишени и способу ее изготовления, которые могут использоваться, например, в кварцевых генераторах для изготовления электродов возбуждения с напыленной пленкой Au.
Изобретение относится к технологии получения слоистого композиционного материала Ti-TiN трибологического назначения на основе термически обработанного алюминиевого сплава с чередующимися слоями из титана и нитрида титана различных толщин, полученными методом магнетронного распыления.
Изобретение относится к литейному производству. Способ нанесения защитного покрытия на металлическую форму для литья алюминиевых сплавов включает нанесение на ее поверхность упрочняющих слоев методом катодно-ионной бомбардировки в вакуумной камере.
Изобретение относится к способу получения магнитных пленок, используемых в устройствах спинтроники и магноники. Способ получения пленки нитрида пермаллоя FexNi1-xN, причем 0,23≤x≤0,27, включает осаждение упомянутой пленки на подложку методом реактивного магнетронного распыления мишени.
Изобретение относится к способу нанесения покрытия на металлическую полосу (10). Нанесение покрытия осуществляют по принципу физического осаждения из паровой фазы (PVD) в установке (1) для нанесения покрытия на полосу с использованием металлической подложки (12).
Изобретение относится к способу получения золотой пленки с использованием золотой распыляемой мишени, содержащей золото и неизбежные примеси. Золотая распыляемая мишень имеет среднее значение твердости по Виккерсу, составляющее от 40 или более до 60 или менее, среднее значение размера кристаллического зерна, составляющее от 15 мкм или более до 200 мкм или менее.
Изобретение относится к металлургии, а именно к антикоррозионным биосовместимым покрытиям для медицинских биодеградируемых имплантатов из магниевых сплавов, эксплуатируемых в коррозионно-активной среде.
Изобретение относится к авиации и касается конструкций составных частей корпусов высокоскоростных ЛА (наружных оболочек или панелей аэродинамических поверхностей) из композиционного материала на основе углеродной ткани и карбида кремния.
Магнетронная распылительная система // 2782416
Изобретение относится к магнетронной распылительной системе (МРС) для обработки протяженного изделия в виде оболочки ТВЭЛ. Упомянутая магнетронная распылительная система содержит цилиндрический корпус, в котором размещен цилиндрический внешний электрод и вращающийся магнитный узел.
Способ получения покрытия на основе системы ti-al, синтезированного в среде азота и ацетилена // 2782102
Изобретение относится к области машиностроения и может быть использовано в инструментальном производстве для поверхностного упрочнения металлорежущего инструмента. Покрытие на основе системы Ti-Al получают путем его нанесения на деталь 2 вакуумно-дуговым осаждением с двух электродуговых испарителей из однокомпонентных катодов из титана 3 и алюминия 4, при этом предварительно обезжиривают поверхность детали 2, помещают обрабатываемую деталь 2 в вакуумную камеру 1, создают в камере рабочее давление 8⋅10-3-5⋅10-2 Па, проводят ионную очистку, нагрев и активацию поверхности в два этапа, причем ее нагрев на первом этапе осуществляют до температуры 300-350°C с использованием сильноточного плазменного источника с полым катодом 5 в среде инертного газа аргона, на втором этапе поверхность детали 2 нагревают до температуры 400-450°С электродуговыми испарителями в среде инертного газа аргона, после этого наносят первый слой титана в среде инертного газа аргона, после чего наносят покрытие на основе системы Ti-Al в среде смеси газов азота и ацетилена с образованием фаз TiN, AlN, TiAl, Ti3Al, TiAl3, TiC, TiAlC при ассистировании процесса сильноточным плазменным источником также с использованием полого катода.
Изобретение относится к машиностроению и может быть использовано при обработке внутренней поверхности протяженных отверстий металлических изделий или труб для повышения их поверхностной твердости, коррозионной стойкости и износостойкости.
Изобретение может быть использовано в инструментальном производстве при упрочнении режущего инструмента путём осаждения самозатачиваемых покрытий. Обрабатываемый металлорежущий инструмент помещают в вакуумную камеру и производят его ионную очистку в среде инертного газа сначала с использованием плазменного источника с накальным катодом, а затем с использованием электродугового испарителя.
Изобретение относится к способам нанесения многослойных покрытий и может быть использовано в машиностроительной, горно- и нефтедобывающей промышленности, в инструментальном и ремонтном производствах для упрочнения подложки в виде деталей машин, пар трения или режущего инструмента.
Изобретение относится к области космонавтики, в частности к получению тонких пленок тепловой энергией самораспространяющегося высокотемпературного синтеза (СВС), для устранения микротрещин на поверхности корпуса космических летательных аппаратов (КЛА).
Заявленная группа изобретений относится к лопаткам для газовых турбин с обеспечивающим улучшенные характеристики эрозионной и коррозионной стойкости покрытием, а также к другим компонентам газовых турбин с таким покрытием.
Изобретение относится к снабженной покрытием фрикционной детали, которая может быть использована для автомобильной, авиационной или космической отраслей промышленности. Указанная фрикционная деталь содержит металлическую подложку, покрывающее подложку покрытие из негидрированного аморфного углерода в виде тетраэдрического аморфного углерода ta-C или аморфного углерода a-C и расположенный между металлической подложкой и покрытием из негидрированного аморфного углерода подслой на основе хрома, углерода и кремния.
Устройство для азотирования в разряде // 2777796
Изобретение относится к области химико-термической обработки металлов, в частности к ионному азотированию, и может быть использовано в машиностроении, автостроении и арматуростроении. Устройство для азотирования в тлеющем разряде стальной детали содержит вакуумную камеру, регулируемый источник питания, экран и устройство для подачи азота.
Изобретение относится к плазменной технике, а именно к источникам индуктивно-связанной плазмы. Технический результат – повышение коэффициента полезного действия (КПД) и снижение тепловых потерь газоразрядного устройства.
Изобретение относится к области оборудования для модификации поверхности деталей в низкотемпературной газоразрядной плазме и может быть использовано в ионно-плазменных процессах очистки, активации и легирования поверхности деталей.
Изобретение относится к области декорирования стекла и изделий из него и может быть использовано в стекольной промышленности на технологической стадии нанесения декоративных покрытий на стеклянные бытовые товары.
Способ получения антифреттингового покрытия // 2777090
Изобретение относится к технологиям нанесения ионно-плазменных покрытий, а именно к способу обработки поверхности изделия из титанового сплава для получения антифреттингового покрытия. Проводят предварительную подготовку поверхности изделия, размещение изделия и токопроводящего материала из титанового сплава, легированного алюминием и хромом, в зоне обработки, расположенной в рабочей камере установки для ионно-плазменного напыления.
Изобретение относится к области нанесения защитных покрытий в металлургии и машиностроении. Способ получения наноразмерных пленок нитрида титана на подложке из кварцевого оптического стекла осуществляют следующим образом.
Изобретение относится к оборудованию для нанесения покрытий на подложку. Установка для вакуумного осаждения для непрерывного осаждения на перемещающуюся подложку покрытий, сформированных из металла или металлического сплава, содержит тигель для испарения, выполненный с возможностью подачи паров металла или металлического сплава и содержащий испарительную трубку 7, камеру для осаждения, выполненную с возможностью прохождения подложки по заданной траектории, и устройство 3 для нанесения покрытий струёй пара, соединяющее испарительную трубку 7 с камерой для осаждения, при этом устройство 3 для нанесения покрытий струёй пара дополнительно включает в себя распределительную камеру 31, содержащую по меньшей мере одно средство повторного нагрева 33, расположенное внутри распределительной камеры, и сопло 32 для выпуска пара, содержащее нижнее отверстие 9, соединяющее сопло 32 для выпуска пара с распределительной камерой 31, верхнее отверстие 10, через которое пар может выходить в камеру для осаждения, и две боковые поверхности 11, 12, сходящиеся друг к другу в направлении верхнего отверстия 10.
