Полые шнековые транспортеры (F28F5/06)

Сверхвысоковакуумная транспортная система для сканирующих зондовых микроскопов // 2158454
Изобретение относится к нанотехнологическому оборудованию, к устройствам, обеспечивающим транспортировку и установку зондов и образцов в позиции измерения и функционального воздействия. .
 
.
Наверх