Тонкопленочные устройства (G01F1/692)
Заявленное решение относится к устройству для определения по меньшей мере одного свойства потоков текучих сред, т.е. жидкостей и/или газов.
Изобретение относится к области микроэлектронных и микромеханических устройств. .
