С помощью измерения изменений электрического сопротивления измерительных элементов, например нитей и вакуумметры пирани (G01L21/12)

G01 Измерение (счет G06M); испытание (233827)

G01L Измерение сил, механического напряжения, крутящего момента, работы, механической энергии, механического коэффициента полезного действия (кпд) или давления газообразных и жидких веществ или сыпучих материалов (способы или устройства для измерения, специально предназначенные для прокатных станов B21B38, индикация изменений давления для компенсационных измерений других переменных величин или компенсации ошибок в показаниях приборов, вызванных изменением давления, см. G01D или подкласс, соответствующий измеряемой величине; взвешивание G01G; техника сканирующего зонда с использованием атомной микроскопии G01N13/16;преобразование диаграммы сил в электрические сигналы G06K11) (12540)

G01L21 Вакуумметры(326)

G01L21/12 С помощью измерения изменений электрического сопротивления измерительных элементов, например нитей; вакуумметры пирани(63)

Способ повышения верхнего предела измерения давления термоэлектронного манометра // 2690049

Изобретение относится к технике измерения вакуума и может быть использовано при создании термоэлектронных манометров с пределами измерения от атмосферного давления до 10-8 Па с помощью ионизационного манометрического преобразователя.

Способ изготовления датчика вакуума наноструктурой на основе смешанных полупроводниковых оксидов и датчик вакуума на его основе // 2602999

Изобретение относится к датчикам давления разреженного газа, а также к способам изготовления таких датчиков. Способ изготовления датчиков давления включает образование гетероструктуры, формирование в ней тонкопленочного полупроводникового резистора, имеющего вид сетчатой наноструктуры (SiO2)50%-c(SnO2)50%(In2O3)c (где c - массовая доля In2O3, 1%≤с≤15%), закрепление указанной гетероструктуры в корпусе датчика, и соединение контактных площадок гетероструктуры с выводами корпуса при помощи контактных проводников.

Способ изготовления наноструктурированного чувствительного элемента датчика вакуума и датчик вакуума // 2539657

Изобретение относится к измерительной технике и может использоваться при изготовлении датчиков вакуума для измерения давления разреженного газа в вакуумных установках различного назначения. Предложен способ изготовления наноструктурированного чувствительного элемента датчика вакуума, заключающийся в образовании гетероструктуры из различных материалов, в которой формируют тонкопленочный полупроводниковый резистор, после чего ее закрепляют в корпусе датчика, а контактные площадки соединяют с выводами корпуса при помощи контактных проводников.

Способ изготовления датчика вакуума с наноструктурой повышенной чувствительности и датчик вакуума на его основе // 2506659

Изобретение относится к измерительной технике. Способ изготовления датчика вакуума с наноструктурой повышенной чувствительности заключается в том, что образуют гетероструктуру из различных материалов, в которой формируют тонкопленочный полупроводниковый резистор, после чего ее закрепляют в корпусе датчика, а контактные площадки соединяют с выводами корпуса при помощи контактных проводников.

Способ изготовления датчика вакуума с наноструктурой заданной чувствительности и датчик вакуума на его основе // 2505885

Изобретение относится к измерительной технике. В способе изготовления датчика вакуума с наноструктурой получают гетероструктуру из различных материалов, в которой формируют тонкопленочный полупроводниковый резистор, после чего ее закрепляют в корпусе датчика, а контактные площадки соединяют с выводами корпуса при помощи контактных проводников.

Способ изготовления датчика вакуума с наноструктурой и датчик вакуума на его основе // 2485465

Изобретение относится к датчикам вакуума для измерения давления разреженного газа в вакуумных установках различного назначения. .

Теплоэлектрический вакуумметр // 2104507

Способ измерения давления газа и устройство для его осуществления // 2036448

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано в устройствах измерения давления газов в широком диапазоне давлений. .

Способ измерения давления и устройство для его осуществления // 1830139

Теплоэлектрический вакууметр // 1786378

Датчик давления // 1760421

Изобретение относится к измерительной технике, в частности, к теплоэлектрическим датчикам давления, и может быть использовано для измерения малого избыточного давления с повышенной точностью. .

Способ измерения давления разреженного газа и устройство для его осуществления // 1747968

Изобретение относится к измерительной технике. .

Способ измерения вакуума и устройство для его осуществления // 1700405

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерения вакуума. .

Способ градуировки теплового вакуумметра // 1675710

Изобретение относится к вакуумной технике и позволяет снизить погрешность градуировки теплового вакуумметра путем проведения индивидуальной калибровки типовой градуировочной зависимости в трех точках диапазона измеряемых давлений: в крайних при нулевом и атмосферном давлениях и в середине диапазона.

Устройство контроля вакуума в электровакуумном приборе // 1657991

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к устройствам контроля вакуума п отпаянных электровакуумных приборах (ЭВП). .

Теплоэлектрический вакуумметр // 1599688

Изобретение относится к приборостроению и позволяет расширить диапазон рабочих температур теплоэлектрического вакуумметра. .

Теплоэлектрический преобразователь давления // 1569627

Изобретение относится к приборам для измерения давлений разреженных газов и может найти применение в различном вакуумном оборудовании для измерения давления в диапазоне 10<SP POS="POST">-1</SP> - 10<SP POS="POST">5</SP> Па.

Тепловой вакуумметр // 1525514

Изобретение относится к приборостроению и позволяет повысить удобство эксплуатации теплового вакуумметра при замене датчика. .

Способ измерения вакуума // 1509655

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано в вакуумметрических системах для измерения давления разреженных газов. .

Теплоэлектрический вакуумметр // 1422037

Изобретение относится к приборостроению и позволяет повысить точ-. .

Теплоэлектрический вакуумметр // 1420408

Изобретение относится к вакуумной манометрии и м.б. .

Теплоэлектрический преобразователь давления // 1420407

Изобретение относится к вакуумной манометрии и позволяет повысить точность и стабильность в условиях изменения пространственной ориентации устр-ва. .

Терморезисторный датчик давления // 1392407

Терморезисторный датчик давления // 1362978

Изобретение относится к измерительной технике и м.б. .

Манометрический преобразователь // 1326923

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано для измерения давления атмосферного воздуха в -диапазоне 400-800 мм рт.ст. .

Теплоэлектрический преобразователь давления // 1323885

Способ измерения вакуума и устройство для его осуществления // 1318818

Изобретение относится к измерительной технике. .

Механотронный преобразователь перемещения // 1310614

Теплоэлектрический преобразователь давления // 1303866

Изобретение относится к вакуумной технике и может быть использовано в вакуумном оборудовании для измерения давления в области низкого и среднего вакуума. .

Теплоэлектрический вакуумметр // 1285327

Изобретение относится к вакуумной манометрии и может быть использовано для измерения давления разреженного газа. .

Теплоэлектрический вакуумметр сопротивления // 1280351

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано при измерении низких давлений газа. .

Теплоэлектрический вакуумметр // 1278642

Устройство для измерения низкого давления // 1249356

Изобретение относится к измерению давления газовой среды в вакуумной технике и позволяет повысить точность измерения давления газа переменного состава. .

Цифровой вакуумметр // 1224627

Изобретение относится к измерительной технике и может -быть использовано при измерении низких давлений в замкнутом объеме с последую- -щим введением результатов измерения в ЭВМ. .