С использованием резонанса вибрирующего тела (G01L21/22)
G01L Измерение сил, механического напряжения, крутящего момента, работы, механической энергии, механического коэффициента полезного действия (кпд) или давления газообразных и жидких веществ или сыпучих материалов (способы или устройства для измерения, специально предназначенные для прокатных станов B21B38, индикация изменений давления для компенсационных измерений других переменных величин или компенсации ошибок в показаниях приборов, вызванных изменением давления, см. G01D или подкласс, соответствующий измеряемой величине; взвешивание G01G; техника сканирующего зонда с использованием атомной микроскопии G01N13/16;преобразование диаграммы сил в электрические сигналы G06K11)
(12540) G01L21/22 С использованием резонанса вибрирующего тела(7)
Изобретение относится к вакуумной измерительной технике для измерения уровня вакуума в микрополостях, микрообъемах и корпусах датчиков микросистемной техники, в частности к микровакуумметрам, использующим принцип резонанса как основного механизма работы.
Изобретение относится к измерительной технике, а именно к измерению давления газа в диапазоне низкого и среднего вакуума и давления выше атмосферного в промышленных и лабораторных условиях для контроля технологических процессов, исследованиях и управления устройствами автоматики АСУ ТП.
Использование: измерение давления газа в области низкого и среднего вакуума в диапазоне 0,001-1000 Торр, для измерения адсорбции и конденсации компонентов газа на твердой поверхности вне зависимости от изменения давления и плотности газа.Сущность: в предлагаемом устройстве используются два термочувствительных кварцевых резонатора камертонного типа и полупроводниковый термодатчик.
Изобретение относится к технике измерения среднего и низкого вакуума и может быть использовано при создании вакуумметров с пределами измерения от 0,1 до 105 Па. .
Изобретение относится к технике измерения среднего и низкого вакуума и может быть использовано при создании вакуумметров с пределами измерения от 0,1 до 105 Па. .
Изобретение относится к технической физике и позволяет повысить достоверность контроля вакуума внутри бесштенгельного баллона высокочастотного гармоникового кварцевого резонатора. .
Изобретение относится к измерительной технике и позволяет повысить точность измерений за счет уменьшения влияния внешних деформаций. .