Автоматическая фиксация или размещение оригиналов относительно друг друга или светочувствительного слоя поверхностей или поверхностей с рисунком, например интегральных схем, G03F9) (G03B27/53)
G Физика(403185)
G03 Фотография; кинематография; аналогичное оборудование, использующее волны иные, чем оптические; электрография; голография (воспроизведение изображений или образов путем развертки и преобразования в электрический сигнал H04N)
(10965)
G03B Аппараты или устройства для получения фотоснимков или для их проецирования или просмотра; аппараты или устройства, в которых применяется аналогичная техника с использованием волн иных, чем оптические волны; принадлежности для них (оптические детали таких аппаратов G02B; светочувствительные материалы или процессы для фотографических целей G03C; устройства для обработки экспонированных фотоматериалов G03D)
(4542)
G03B27 Устройства для фотопечатания (перемещение, направление, зарядка пленки в аппаратах G03B1)(664)
G03B27/53 Автоматическая фиксация или размещение оригиналов относительно друг друга или светочувствительного слоя (в процессе фотомеханического изготовления рельефных (текстурированных) поверхностей или поверхностей с рисунком, например интегральных схем, G03F9)(2)
Изобретение относится к области литографии и касается литографической системы и способа хранения позиционных данных мишени. Литографическая система включает в себя систему управления посредством обратной связи, содержащую привод для перемещения мишени, измерительную систему для измерения положения мишени и блок управления приводом.
