С неорганическими слоями (H01L21/033)

H01 Основные элементы электрического оборудования(70435)

H01L21/033 С неорганическими слоями(2)

Рентгеношаблон и способ его изготовления // 2488910

Изобретение относится к изготовлению рентгеношаблонов, преимущественно для «мягкой» литографии. .

Способ формирования пленочных элементов на основе платины // 2110112

Изобретение относится к электронной технике, а именно к процессам формирования пленочных элементов микроэлектронных устройств, например пленочных термометров сопротивления или электродных структур датчиков различного функционального назначения.