Диффузия примесных материалов, например легирующих и электродных материалов в полупроводниковую подложку или из нее, или между полупроводниковыми областями (H01L21/38)

H01 Основные элементы электрического оборудования(70435)

H01L21/38 Диффузия примесных материалов, например легирующих и электродных материалов в полупроводниковую подложку или из нее, или между полупроводниковыми областями(8)

Способ диффузии бора в кремниевые пластины // 2183365

Изобретение относится к электронной технике, например к производству кремниевых приборов. .

Способ изготовления пленочных структур // 1162352

Способ изготовления кремниевых структур с диэлектрической изоляцией // 897058

Всесоюзная iпдтентй0-ш1;н^^е1ж15^f.4~.';hoteka }тух."_„;.":, :, // 336727

Способ изготовления кремниевого быстродействующего диода // 240111

// 163292

// 157440

Способ производства сплавных диффузионных триодов // 140914