Диффузия в твердую фазу из твердой фазы, или обратная диффузия, например процесс добавления присадок к окисному слою (H01L21/385)
H Электричество(232322)
H01L21/385 Диффузия в твердую фазу из твердой фазы, или обратная диффузия, например процесс добавления присадок к окисному слою(4)
Способ диффузии бора в кремниевые пластины // 2183365
Изобретение относится к электронной технике, например к производству кремниевых приборов. .
Способ изготовления пленочных структур // 1162352
