С использованием механических колебаний, например ультразвуковых колебаний (H01L21/607)
H Электричество(232322)
H01L21/607 С использованием механических колебаний, например ультразвуковых колебаний(5)
Изобретение относится к области разработки новых элементов и устройств сверхпроводниковой электроники и создания на их основе сверхчувствительных приемных устройств с высоким спектральным разрешением и может быть использовано при создании бортовых и наземных систем, предназначенных для радиоастрономии и мониторинга атмосферы Земли, а также медицинских исследований и систем безопасности.
