FindPatent.ru
Патентный поиск
Найти
Регистрация патентов
Воздушных зазоров (H01L21/764)
H
Электричество
(232322)
H01
Основные элементы электрического оборудования
(70435)
H01L21/764 Воздушных зазоров
(2)
Способ изготовления многоуровневых межсоединений интегральных микросхем с воздушными зазорами
// 2436188
Изобретение относится к микроэлектронике. .
Полупроводниковое устройство (варианты) и способ формирования воздушных зазоров внутри структуры (варианты)
// 2204181
.