Комбинация технологий изготовления интегральных схем на биполярных транзисторах и полевых транзисторах (H01L21/8248)
H01L21/8248 Комбинация технологий изготовления интегральных схем на биполярных транзисторах и полевых транзисторах(8)
Изобретение относится к области микроэлектроники и может быть использовано в производстве БиКМОП структур для многоэлементных фотоприемников и радиосхем, использующих базовую технологию КМОП приборов. .
Изобретение относится к способу изготовления этих приборов, а именно к технологии изготовления полевых транзисторов и вертикальных NPN биполярных транзисторов на общей подложке. .
Изобретение относится к способу изготовления этого прибора, а именно к технологии изготовления вертикальных NPN и PNP биполярных транзисторов и комплементарных полевых транзисторов на общей подложке. .