Управляемые только изменением приложенных механических усилий, например изменением давления (H01L29/84)

H01L29/84              Управляемые только изменением приложенных механических усилий, например изменением давления ( H01L29/96 имеет преимущество)(51)

Полупроводниковый преобразователь давления с повышенной точностью и чувствительностью // 2732839
Изобретение относится к области измерительной техники, в частности к полупроводниковым преобразователям давления, и может быть использовано в разработке и изготовлении малогабаритных датчиков малых давлений.

Датчик давления с интегральным преобразователем температуры пониженного энергопотребления // 2730890
Изобретение относится к области измерительной техники и автоматики, представляет собой датчик давления с интегральным преобразователем температуры и может быть использовано в малогабаритных преобразователях давления и температуры в электрический сигнал.

Способ изготовления интегральных преобразователей // 2698486
Изобретение относится к области приборостроения и может применяться при изготовлении упругих элементов, используемых в конструкциях кремниевых чувствительных элементов микромеханических датчиков - акселерометров, резонаторов, датчиков угловой скорости.

Полупроводниковый резистор // 2655698
Изобретение относится к технике полупроводниковых приборов, в частности к изготовлению термо- и тензорезисторов на основе тензочувствительных полупроводниковых материалов. Резистор включает сформированный на подложке изоляционный слой, поверх которого сформирован слой полупроводника, снабженный на концах контактами, выполненными из слоев металлов.

Полупроводниковый резистор // 2646545
Изобретение относится к технике полупроводниковых приборов, в частности к изготовлению термо- и тензорезисторов на основе тензочувствительных полупроводниковых материалов. Резистор включает сформированный на подложке изоляционный слой, слой полупроводника, снабженный на концах контактами, выполненными в виде слоя металла.

Чувствительный элемент преобразователя давления и температуры // 2606550
Использование: для изготовления малогабаритных полупроводниковых преобразователей давления и температуры. Сущность изобретения заключается в том, что чувствительный элемент преобразователя давления и температуры включает пластину из кремния, имеющую металлизированные контактные площадки, коммутирующие области, и утоненную часть в виде мембраны, на которой расположены составные тензорезисторы, расположенные радиально и тангенциально относительно мембраны; терморезистор, причем тензорезисторы и терморезистор соединены через коммутирующие области по мостовой схеме, терморезистор выполнен составным, по крайней мере, из двух частей, тензорезисторы выполнены, по крайней мере, из двух последовательно соединенных частей, при этом составные части тензорезисторов соединены между собой и составные части терморезистора соединены между собой через коммутирующие области, причем коммутирующие области представляют собой высоколегированные области р+-типа проводимости.

Наклеиваемый полупроводниковый тензорезисторный датчик деформаций для прочностных испытаний // 2548600
Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерения деформаций в условиях однородных деформационных полей в процессе прочностных испытаний. Сущность: датчик включает в себя носитель 1 из тонкой металлической фольги.

Наклеиваемый полупроводниковый тензорезистор // 2536100
Изобретение относится к измерительной технике. Наклеиваемый тензорезистор содержит полимерную подложку, выполненный на ней носитель из тонкой металлической фольги в виде прямоугольных площадок, соединенных полоской.

Наклеиваемый полупроводниковый тензорезистор // 2511209
Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано в качестве чувствительного элемента в датчиках механических величин. Наклеиваемый полупроводниковый тензорезистор содержит полимерную подложку на которой одной своей поверхностью полностью лежит тензочувствительная полоска.

Интегральный тензопреобразователь ускорения // 2504866
Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано при конструировании микромеханических тензорезисторных акселерометров, работоспособных при повышенных температурах. Интегральный тензопреобразователь ускорения содержит выполненные из единого монокристалла кремния два основания и соединяющий их концентратор механических напряжений, рабочие поверхности которых расположены в одной кристаллографической плоскости (100).

Наклеиваемый полупроводниковый тензорезистор // 2481669
Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано в качестве чувствительного элемента в датчиках механических величин (силы, давления, веса, перемещения и т.д.). .

Конструкция чувствительного элемента преобразователя давления на кни-структуре // 2474007
Изобретение относится к измерительной технике, а именно к интегральным преобразователям давления. .

Интегральный преобразователь давления с одним жестким центром // 2469437
Изобретение относится к измерительной технике. .

Интегральный преобразователь давления с тремя жесткими центрами // 2469436
Изобретение относится к измерительной технике. .

Полупроводниковый преобразователь давления // 2464539
Изобретение относится к области измерительной техники, в частности к преобразователям малых давлений высокотемпературных сред, и может быть использовано в разработке и изготовлении малогабаритных полупроводниковых преобразователей давления, работоспособных при повышенных температурах.

Наклеиваемый полупроводниковый тензорезистор // 2463687
Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано как в прочностных испытаниях для определения напряженного состояния конструкций, так и в качестве чувствительного элемента в датчиках механических величин (силы, давления, веса, перемещения и т.д.).

Наклеиваемый полупроводниковый тензорезистор // 2463686
Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано в прочностных испытаниях для определения напряженного состояния конструкций и в качестве чувствительного элемента в датчиках механических величин (силы, давления, веса, перемещения и т.д.).

Многофункциональный измерительный модуль // 2457577
Изобретение относится к измерительной технике. .

Полупроводниковый резистор // 2367062
Изобретение относится к технике полупроводниковых приборов, в частности к изготовлению термо- и тензорезисторов на основе тензочувствительных полупроводниковых материалов. .

Высокоточный тензодатчик // 2367061
Изобретение относится к технике полупроводниковых приборов, в частности к изготовлению тензодатчиков механических величин на основе тензочувствительных полупроводниковых резисторов. .

Микроэлектронный датчик абсолютного давления и чувствительный элемент абсолютного давления // 2362133
Изобретение относится к измерительной технике и предназначено для обеспечения высокоточного измерения абсолютного давления в широком диапазоне температур и давлений. .

Интегральный преобразователь давления // 2362132
Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерения механических воздействий (давления, силы и т.д.). .

Чувствительный элемент микромеханического датчика // 2296390
Изобретение относится к гравиинерциальным микромеханическим приборам и может быть использовано в системах управления подвижных объектов различного назначения, а также в качестве индикаторов движения объектов.

Полупроводниковый преобразователь давления и способ его изготовления // 2284613
Изобретение относится к области измерительной техники, в частности к преобразователям малых давлений, и может быть использовано в разработке и изготовлении малогабаритных полупроводниковых преобразователей давления, работоспособных при повышенных температурах.

Полупроводниковый тензопреобразователь // 2284074
Изобретение относится к измерительной технике, а именно к преобразователям механических величин, основанным на тензорезистивном эффекте. .

Интегральный преобразователь давления // 2278447
Изобретение относится к измерительной технике. .

Перфорированная мембрана для чувствительного элемента микромеханического прибора // 2265913
Изобретение относится к микроэлектронному приборостроению и может быть использовано в конструкции подвески чувствительного элемента микромеханического прибора. .

Чувствительный элемент мембранного типа // 2247443
Изобретение относится к микроэлектронному приборостроению и может быть использовано в конструкции широкого класса микроэлектронных приборов, оснащенных чувствительным элементом мембранного типа, - датчиков давления и температуры, акселерометров микрореле и т.д.

Способ изготовления микромеханического инерциального чувствительного элемента емкостного типа // 2207658
Изобретение относится к области измерительной техники и может быть использовано при изготовлении малогабаритных микромеханических датчиков: акселерометров, гироскопов и др. .

Интегральный преобразователь давления // 2186438
Изобретение относится к измерительной технике, а именно к интегральным полупроводниковым преобразователям механических напряжений. .

Способ изготовления интегрального датчика // 2123220
Изобретение относится к измерительной технике, а именно к интегральным датчикам, использующим в качестве чувствительного элемента поликремниевые поверхностные микромеханические структуры. .

Емкостной акселерометр и способ его изготовления // 2114489
Изобретение относится к области измерительной техники и может быть использовано при разработке и изготовлении малогабаритных полупроводниковых емкостных акселерометров. .
Датчик деформации // 2087052
Изобретение относится к устройствам, используемым в измерительной технике, для измерения деформаций, вибраций, колебательных процессов. .

Способ изготовления интегральных тензопреобразователей // 2076395
Изобретение относится к измерительной технике, а именно к интегральным полупроводниковым тензопреобразователям. .

Интегральный балочный тензопреобразователь // 2035090
Изобретение относится к измерительной технике, а именно к интегральным полупроводниковым тензопреобразователям. .

Магнитотранзистор // 2008748
Изобретение относится к области полупроводниковых преобразователей магнитного поля и может использоваться при создании измерительных приборов и автоматических систем управления. .

Интегральный балочный тензопреобразователь // 2006993
Изобретение относится к измерительной технике, а именно к интегральным полупроводниковым тензопреобразователям. .

Способ изготовления чувствительного элемента пьезорезисторного датчика контактного сопротивления // 1716578
Изобретение относится к области измерительных приборов, в частности к преобразователям незяектрических величин в электрические сигналы, и может быть использовано , например, для изготовления чувствительных элементов пьезорезисторных датчиков контактного сопротивления.

Способ изготовления емкостного преобразователя механических величин // 1671066
Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано при изготовлении малогабаритных преобразователей механических величин, в частности ускорения. .

Микроэлектронный датчик // 1591776
Изобретение относится к измерительной технике, конкретно к микроэлектронному датчику. .

Интегральный тензопреобразователь // 1545877
Изобретение относится к измерительной технике, в частности к интегральным тензопреобразователям. .

Интегральный тензопреобразователь // 1482480
Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано при конструировании преобразователей механических величин. .

Интегральный тензопреобразователь // 1473637
Изобретение относится к измерительной технике, в частности к интегральным первичным преобразователям механических величин. .
 
.
Наверх