Осаждением паров (H01C17/08)

Способ формирования углеродных нанообъектов на ситалловых подложках // 2601044
Изобретение относится к синтезу островковых металлических катализаторов и углеродных нанообъектов и может быть использовано в промышленности для производства нанообъектов и наноструктурированных пленок.

Способ контроля удельного поверхностного сопротивления тонких резистивных пленок в процессе осаждения // 2032237
Изобретение относится к электронной технике и может быть использовано для контроля осаждения резистивных пленок при изготовлении плат микросхем, микросборок и пленочных резисторов. .

 // 262226

 // 180679

 // 174697
 
.
Наверх