Напылением пламенным способом (H01C17/10)

Способ изготовления пленочного материала на основе смеси фаз vox, где x=1,5-2,02 // 2623573
Изобретение относится к области изготовления тонкопленочных материалов и может быть использовано для создания полупроводниковых приборов, в частности тепловых приемников. Способ включает термовакуумное напыление ванадия на подложку при комнатной температуре с последующим окислением на воздухе до образования оксидной пленки.
 
.
Наверх