С использованием дугового разряда (H01J27/08)

H Электричество(232322)

H01 Основные элементы электрического оборудования(70435)

H01J Электрические газоразрядные и вакуумные электронные приборы и газоразрядные осветительные лампы (искровые разрядники H01T; дуговые лампы с расходуемыми электродами H05B; ускорители элементарных частиц H05H) (10498)

H01J27 Приборы с ионным пучком (H01J25,H01J33 и H01J37 имеют преимущество; ускорители элементарных частиц H05H) (240)

H01J27/08 С использованием дугового разряда(5)

Способ генерирования ионного пучка // 2038643

Установка для генерирования ионного пучка большого сечения // 2003196

Способ генерирования ионного пучка // 2002334

Ионный источник // 2002333

Устройство для обработки подложек ионами углерода // 1685210

Изобретение относится к ионно-вакуумной обработке материалов. .

.

Наверх