Способ изготовления больших сопротивлений

Авторы патента:

Шапошников А.А.

H01C17/10 - напылением пламенным способом

№ 6755,- вЂ”.Кл.асс

ГХ! 3 ":ЦЯ

6;ю ;Им

ТЕНТ НА ИЗОБРЕТЕНИЕ

ОПИСАНИЕ способа изготовления больших сопротивлений.

К патенту А. А. Шапошникова, заявленному 15 мая 1926 года (ваяв. саид. М 8427).

0 выдаче патента опубликовано 31 октября 1928 года. Действие патента распространяется на 15 лет от 31 октября 1928 года.

Е. С. авве-витографвв еКраовий Печатвиве, Ловившая, Междувародвыя, 7&, Предлагаемое изобретение касается способа изготовления больших сопротивлений, которые изготовляются обычно путем нанесения тонкого слоя металла химическим путем или путем возгонки накаленного металла в пустоте, для каждого изготовляемого сопротивления индивидуально. Предлагаемый способ имеет целью получить возможность обходиться без нагревания распыляемого металла и наносить слой металла на изоляторы любой формы и материала и в любом количестве одновременно. Для этого трубочки или палочки из стекла, кварца или иного материала, соответствующего диаметра и длины, с матированными путем lIpoTpmlbl или шлифовки концами и нанесенным на эти концы слоем меди или другого металла для образования контактных выводов, помещаются под колоколом в определенно подобранном вакууме между электродами из распыляемого металла. Прикладывая к ним соответствующее постоянное или переменное поле высокого напряжения, можно распылить этот металл и осадить его в виде тонкой проводящей пленки желаемой толщины на палочках или трубках.

Распыляемыми металлами может служить золото, платина, серебро, медь и многие другие металлы. Матированные концы, покрытые предварительно медью пли другим проводящим металлом, служат для обеспечения надежности контакта.

Приготовленное таким образом «сопротивление» для предохранения от порчи покрывается лаком или помещается в трубке, из каковой может быть выкачен воздух, а к концам припаиваются выводы.

Предмет патента.

Способ изготовления больших сопротивлений в виде тонкого металлического слоя, нанесенного на изолятор путем распыления металла при разряде в разреженном пространстве, характеризующийся тем, что палочки плп трубочки из стекла, кварца или иного изолирующего материала, с заготовленными заранее на пх концах выводами, помещают под колоколом воздушного насоса между электродами из распыляемого металла, между которыми создают переменное поле высокого напряжения, с целью осаждения на изолирующий материал проводящего слоя из этого металла между выводами.

Способ получения проводящего слоя на поверхности керамики из двуокиси титана // 130556

Устройство для подгонки пленочных резисторов // 989592

Способ изготовления пленочного материала на основе смеси фаз vox, где x=1,5-2,02 // 2623573

Изобретение относится к области изготовления тонкопленочных материалов и может быть использовано для создания полупроводниковых приборов, в частности тепловых приемников. Способ включает термовакуумное напыление ванадия на подложку при комнатной температуре с последующим окислением на воздухе до образования оксидной пленки. Напыление ванадия, толщиной 30≤d≤40 нм, легированного примесями W, Si, Al, производят из испарителя, расположенного внутри вакуумной установки при выполнении следующего соотношения: , где Н=60 мм - определяющий линейный размер подложки, - расстояние между испарителем и подложкой, при скорости напыления 0.5-1 нм/с. Затем осуществляют окисление на воздухе при температуре 300-480°С до формирования оксидной пленки ванадия на подложке с контролем величины удельного поверхностного сопротивления в интервале 1-2,4⋅106 Ом/см2. Изобретение позволяет получить петлю термического гистерезиса шириной 22-24°С, сдвинутую на ~10°С в сторону комнатных температур, со скачком сопротивления внутри петли до полутора порядков величины, что при термостатировании обеспечивает режим внутренней памяти. 5 ил., 1 пр., 2 табл.