Бесконтактный интерференционный индикатор

 

№ 100704

Класс 42h, 34в1

СССР

KKG0; итвн:

)/ 7Ъхмич „.

< 44410Т опиоднив изоврвтвиияК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Ю. В. Коломийцов и И. В. Каразин

БЕСКОНТАКТНЫЙ ИНТЕРФЕРЕНЦИОННЫЙ ИНДИКАТОР

Заявлено 21 января 1950 г. за М 04533/41191! в Госгехннву СССР

Контактные индикаторы не могут дать требуемой точности при особо точных измерениях биения деталей различной формы. Кроме того, острый ощупывающий наконечник контактного индикатора при измерении биения деталей малых размеров может поцарапать поверхность детали.

Для производства измерений без контакта можно применять интерференционные индикаторы, однако известные индикаторы непригодны для этой цели, так как пучок лучей должен касаться поверхности лишь в точке диаметром 0,01 — 0,02 мм, а оба интерферирующие друг с другом пучка лучей не должны быть перевернуты относительно друг друга и между их направлениями должен быть небольшой угол.

Этим требованиям удовлетворяет оптическая схема предлагаемого бесконтактного интерфереционного индикатора, показанная на чертеже.

Здесь: 1 — источник;вета; 2 — конденсорная линза, проектирующая нить лампы на диафрагму 3 с малым отверстием; 4 — прямоугольная призма; 5 — диафрагма; б — объектив коллиматора; 7 и 8 — кубики с полупрозрачной диагональю, склеенные из двух призм; 9, 10 и 11— одинаковые двухлинзовые объектины; 12 — проверяемая деталь 13, 14, 15 и !б — плоские зеркала; 17 — клиновой измерительный компенсатор; 18 — объектив и 19 — окуляр зрительной трубы; 20 — объектив и

21 — окуляр вспомогательной трубки.

Параллельный пучок лучей, выходящий из объектива б коллиматора, кубиком 7 разделяется на два пучка, один из которых отражается от диагонали кубика, а второй проходит через него. Первый пучок лучей объективом 11 собирается в точку на поверхности проверяемой детали, отразившись от которой и пройдя через объектив 11 опять становит "я параллельным. Пройдя через кубик 7 1и кубик 8, он попадает в зрительную трубу. Второй пучок лучей проходит через телескопическую систему, составленную объективами 9 и 10 и зеркалом 18, отражается от зеркал 14 и 15 и, пройдя через компенсатор 17 и отразившись от диагона1H кубика 8, попадает в зрительную трубу и интерферирует с первым пучком.

Зрительная труба наведена на изображение диафрагмы 5, в плоскости которой наблюдается интерференционная картона. Вспомогательная трубка служит для предварительной установки индикатора по отношению к проверяемой детали.

¹ !00704

Предлагаемый интерференционный индикатор позволяет измерять биение деталей сложной формы с точностью до 0,2 мк. Его оптическая схема отличается от существующих наличием дополнительной телескопичЬ"кой системы с тремя наклонно расположенными плоскими зеркалами и разделительного кубика с полупрозрачной диагональной плоскостью.

Предмет изобретения

Ф.

Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Редактор Л. М. Струве Гр. 170

Подп. к печ. 28Х!1-59 г.

Тираж 650 Цена 25 коп.

И нф ор ма ни он но-издательски и отдел.

Объем 0,17 и. л.,Зак. 5514

Типография Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Петровка 14..

Бесконтактный интерференционный индикатор, отличающийся тем, что, с целью получения интерфер ирующих пучков лучей неперевернутьгми относительно друг друга и возможности создания между ними произвольного угла, в нем перед зрительной трубой установлены второй разделительнь!й кубик и телескопическая,"истема с тремя наклонными зеркалами.