Датчик электродвижущей силы холла
," I n-I-ЗКласс 21g, 13о.>
СССР
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
А. Р, Регель, О. Д. Елпатьевская и А, М. Свердлова
ДАТЧИК ЭЛЕКТРОДВИЖУЩЕЙ СИЛЫ ХОЛЛА
Зая!я7ено 12 нсября 1954 г. аа X" ."(-656;3, -153714 н .Чнннстерстно аяектротехнн >ее>;о(промышленности
Датчик, основанный на использовании эффекта Холла, примспяетсл для решения ряда Tea!((«(eels(! задач.
Так, например, ооразцы из м(нокристаллов германия применяются длл измерения напряженности посгоянпых и переменных х(агпитных полей, в качестве модуляторов и «гираторов», в качестве умножающих элементов и т. и. Материалом длл датчика обы lио берут германий типа Р или иптерметяллические соединения типа
InSa. имеющие большую l!cctnижность иг)сителей заряда.
К материа, (ам дат шкы прельлвляются следующие трсбовапия: большая подв!(>к о ть носителей з!!1)лг!а при достаточной концентрации их; точна л пропорц(>ишальпость электро,(вижу(ней силы эффекта
X(>.(ла папрл>кеппос)и маг;штпого гюля; малый температурный коэффиIIIIe1IT сопротивления ооразца и электр(>;(вижу(цсй силы эффекта Холла.
Прак)7((Рек(1 удобнее осу(цеств ггь дя г :(к электродвижуи(сй силы
=ффек!я Холла «Виде п.7е;I;)I<, !I;1.(!)симых испарением соответству(сшего ве(цсс7ВЯ в вакууме. Однако основные требования, предъявляемые и материалам датчика (большая про«;);tI(мость пле!юк 11 большая под«;(ж:(ость;(оситслей заряды в них1, IIc" удовлетворялись при помощи таIi7)I о технологи (ескnг;>:(риемя. I Inu;>ичер, пленки из гсрма(шя t>назывались пснр. (г()дпь(ми длл решсшгя зя,,7а ш.
Описываемое изобретс!шс позво, Iлет > стряп!1ть э Гll lю;!()с яткп. ПРРдметом изобретения л«ллются иле(гни
11оТР, IgSe;t и.. твердые растворы (I Te — 1-1gSeI. Сущест«Р;и(ым npc-!
IX(), IIleстВО. 1 дят !икя ЛВля(Гсл Рг!)
)là7ял толщина, 1!Р пр!«ышающял яме!те с изолир 101цРЙ полк,(!11к!>!! .) — 10 микро;(, 1 l о !Яст возможность производить измсрс(п(я маг(и!Тиых полей в узких зяз!>рах. Пленки
l IgTe, 1IgSe и Ix твср:!ыс растворы (IgTe -IIgSe), «отгшчпе от герма; иевь!х, обля,!Яют хорошей прово;>имое тью l !) ольшой 11;>движиостью ncc1!TРлcй "ярл. !я, о 7 1! о;!ярл IРм г эле:iòð;>;tвижущая cèct I Холл!! может быть получены д,)сг!(то 1:(о большой.
В зависимости от режима нанесения
1(ле(!ки могут иметь как полож !тель1(ьш, так и отрицятельиьш темперятуриьш коэффицие(п. При режиме
lt!.пя;)е(шл, обесчеч;1«я(с(цим толщии П7снок 1 микро:(2, мож!!о до№ 104737 же простоты cfo изготовления.
Предмет изобретения
От(3. редактор И. Д. Тихомиров
Стандартгиз. Подп. к печ. 14/XII-1956 r. Объем 0,125 п. гь Тираж 400. Цена 25 коп.
Тнп, Минлеспрома СССР, пп. Борьбы, 31/33. Заказ 1184 биться практически отсутствия тем.— пературной зависимс(ети сопротивления пленок и э,(актро;((Зг(жущей силы
Холла. Чистые Но 1 е и 11д >е дают по чувств(пельц(3ети " ептимас(ь((ые-. резульгаты; пленки из твердых растворов (IgTe+ IgSe) мало отличаются по чувствитег(ьцос1и оТ германие(зых дыгчиков, цо дают лучшие показатели в смысле температурных коэффициентов. Г!римецепие датчиков в сочетании с переносным потецциометром типа ПП позволяет измсp3ITb ITO. II(-- 1000 r(I>CC C TOiIHOCTbIO до 0,5 Ь, тогда как обы шо применяемые для этой цели флюксметры дают точность -- 3"
Преимуществом датчика, выполlle1(l(ol в виде пленки, является так. 1ытчик электро (вижущей силы
Холла, о тл ич аю щи йс я тем, что, в целях увеличения его чувствительl(ocTH I3 качестве материала датчика, используется пленка IIgTe или
11gSe, или их твердых растворо 3 (HgTe+ICgSe), пацесецгпая иа изолирующую подкладку методом испарения в вакууме.
