Способ измерения размеров деталей с помощью интерференционных фотоэлектрических датчиков
,()й 108906
Класс 42(), 12,.»
42(), 12О, С С:)
ОП((САНИ И ДБР ТЦ(И(К АВТОРСКОМУ СБИДЕТЕЛ6СТВУ!
И. T. Увсрский
СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ РАЗМЕРОВ ДЕТАЛЕ11 С П7 %0П(Б10
ИНТЕРФЕРЕЙЦИОННЫХ ФОТОЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ДАТЧИКОВ
Зяяялено 1 фсяр()()я 1655 г. зя М 0847(/455566
Извести),! способы иамсре)ш)1;!ета)(1! с помощью 1н)срферс .(It!I(»tных фотодел(ктрических устройств, которые дают абсолютные зплчеиия
ИСКОМЫХ BE>IÈ I!Itf В ДЛИЦЛХ СВСГОВЫХ ВОЛН.
Особсниосгь прсдлаглсмо)о способа, по срлвпению с извс(тинми способами определсп:)я размер(в дстллеи с помощ! ю ицтср(()срсшшоцflhlx фГ)тозлсктричс(ки !лтчиков, злкл)0 !лет«я в том. IT() рсгllстрируlот число иптсрфсрсtlfflt()IIIII tx по..(ос, прошедших через и!с«1и:1,.)лфрлгмы
T(()tf перс".1сп I(IIH из)!с р ите;Iьио! 0 цлкоисчиикл .датчика 0T уп()рл этл I()ftl::!i(детали и от т(го жс упора до контролируемой дстл 111, л злтем 11() (ьлзиости чисел злрсгист()прова;1ц!)х полос опр(деллют разщ)сгь (глзмсров срлгнивлсмых дст()лей, ш,)рлжсццую в дли))лх «в«топ)1. волн, Эгл ос;)бсииосT! обеcIIPIIIBAcT повьписцие скорости измсрецгй. ((;1 фиг. 1 и."()брл>ксил сxE мл датчика для 0(ущсствлспия прсдл )>f(Elf!I()!i) (пособл; (пл фиг. 2 и 3 — влриацты 1))елсвь)х диафрагм; цл фиг. 1 — -пог)е:.рс()п)! прибора 1 рн диафрагме, изобрлжснпой ил (!)иг, 2. ((рсгд 1()>IEE IIIII,I11 способ может осуществляться датчиком выпол)(сипым по следующей схеме. Электрическая лампа f через коцдсц«ор 2 и свето(11)и.1! Т(1 3 ("Bc!!pet повсрхцость ЛЛ пластиць) 4, которая разделяет поток светл цл .ц!а пучкл. ((диц пучок. пройдя llfE T(Bófî диафрагму ) и компеиглтор 6, плдлст нл зеркл",î 7, которое ж(с(Ill() свя глно с ИЗМеР:)тСЛЬНЫМ ЦЛКОЦ lfftff.пМ 8 ПРИ ПОМОЩИ СтСРжпи И ИМС«1С « ifff Л мо>кст перемещаться вдо.п. оси от упора 9. Другой пучок «гста нада T ца зеркало 10, которое укреплено на нпилях II и может ffà ВНх поворлчиваться.
Пучки света, отраженные зеркалами, при иебольи)о)! разности хола ицтерферируют в плоскости ЛЛ и частично проходят вдоль ширмы 12 с зеркалом 1,), которые разделяют ицтерферецциоицую клртину, (фиг. 4) иа две части: Bepxlt!E)fn--для визуального наблк)деция полос
%In )1)И(НIГ> при 11;1(т)>i>йкr..iлт Гика и ililжllюlо;!.1я )>e! ист)>а!1ии по1ос cj>отоэ1емс1ггом И при псрсмсп(сипи измерительного !Гак(тие>!иик!1. ! !ри (>сушсствлснии предлож(ииого сно(.о6л регистрируют число интер()>среи1!1ГГ»1!Иых полос, иро!ведших через несли диафрагмы при псремсшеииях этого иаконс игика от yll(>pa до эталонной де!али и от
ТОГ<т >КЕ УПОРа ДО КоИТРОЛИРУЕМО1! Дети ill. ЗатСМ 1ГО РаЗНОСтИ ЧИСЕЛ зарсги(-т)>ироваин1ях полос опрсделянтт разность размеров сравиивасмь1х,(ста,ой, в!.1ра>коииу!о в д.IIIIiàх (всгоных воли.
1! Рс.tel(Г и.1(>rii>(1(ив;I (.посо(> измсреиия размеров деталей с пох!оГ!тьк> интсрфсрсициоииых фотоэлектричс(ких датчиков, о тл ич а ю (il, и и с я тем, что, с пелью повын>сипя скорости измерений, рсгистри>руют число интерфсреиционных полос. прошсдигих через шели диафрагмы при перемещении измерительного наконечника датчика от упора до эталонной детали и от того жс упора до контролируемой детали, и по разиости чисел зарегистрироваииых полос определяют разность размеров сравниваемых деталей, выраженную в длииах световых воли.
