Способ герметизации вакуумной камеры

 

СПОСОБ ГЕРМЕТИЗАЦИИ ВАКУУМНОЙ КАМЕРЫ двумя полыми уплотнительными элементами путем подачи в их полости сжатого газа и вакуумирования пространства между ними, отличающийся тем, что, с целью повышения экономичности, сжатый газ подают в полость уплотнительного элемента, расположенного со стороны атмосферы , после чего вакуумируют камеру, а затем подают сжатый газ в полость второго уплотнительного элемента.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

g g F 16 J 15/46

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Н А ВТОРСНОМЪ(СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 2955141 25-08 (22) 11.07.80 (46) 23.03.83. Бюл. № 11 (?2) В. П. Кряковкин, В. И. Куприянов и Н. П. Юшин (53) 62-762(088.8) (56) 1. Данилин Б. С. и др. Основы конструирования вакуумных систем. М., «Энергия», 1971, с. 167.

2. Рот А. Вакуумные уплотнения. М., «Энергия», 1971, с. 266.

„„SU„„1006833 А (54) (57) СПОСОБ ГЕРМЕТИЗАЦИИ ВАКУУМНОй КАМЕРЫ двумя полыми уплотнительными элементами путем подачи в их полости сжатого газа и вакуумирования пространства между ними, отличающийся тем, что, с целью повышения экономичности, сжатый газ подают в полость уплотнительного элемента, расположенного со стороны атмосферы, после чего вакуумируют камеру, а затем подают сжатый газ в полость второго уплотнительного элемента.

1006833

Изобретение относится к уплотнительной технике, в частности к способам герметизации вакуумных систем.

И-вестен способ герметизации вакуумной камеры двумя уплотнительными элементами, включающий сжатие их фланцами камеры, вакуумирование пространства между уплотнительными элементами и последующую откачку камеры (1).

Снижение давления между уплотнительными элементами уменьшает натекание через уплотнение и позволяет улучшить вакуум в камере, однако этот способ требует высокого качества изготовления фланцев, поскольку их неплоскостность может быть некомпенсирована деформацией уплотнительных элементов, и герметизация не будет осуществлена; а также требует большого усилия сжатия фланцев.

Известен также способ уплотнения вакуумной камеры двумя полыми уплотнительными элементами путем одновременной подачи в их полости сжатого газа и последующего вакуумирования пространства между ними (2).

Недостатком известного способа является то, что для создания пониженного давления в полости между уплотнительными элементами необходим дополнительный вакуумный насос, используемый только в начальный период уплотнения камеры, что снижает экономичность и усложняет эксплуатацию вакуумной камеры.

Цель изобретения — повышение экономичности.

Поставленная цель достигается тем, что при герметизации вакуумной камеры двумя полыми уплотнительными элементами путем подачи в их полости сжатого газа и вакуумирования пространства между ними, сжатый. газ подают в полость уплотнительного элемента, расположенного со стороны атмосферы, после чего вакуумируют камеру, а затем подают сжатый газ в полость второго уплотнительного элемента.

На чертеже изображена схема устройства для герметизации вакуумной камеры

1ð предлагаемым способом.

Вакуумная камера содержит корпус 1 с фланцем 2, на котором установлены полые уплотнительные элементы 3 и 4, полости которых соединены с источником 5 сжатого газа, и крышку 6 с фланцем 7. Камера сое15 динена с вакуумной системой 8.

Герметизацию вакуумной камеры осуществляют следующим образом.

Крышку 6 подводят к корпусу 1 и фиксируют. Затем подают сжатый газ из источника 5 в полость уплотнительного элемента 3, установленного со стороны атмосферы, после чего откачивают камеру вакуумной системой 8 до требуемого остаточного давления, а затем подают сжатый газ в полость уплотнительного элемента 4 и образуют таким образом между уплотнительными элементами замкнутое отвакуумированное пространство. После этого продолжают откачку камеры до рабочего давления вакуумной системой 8.

Таким образом, применение предлагаемо30 го способа позволяет осуществлять вакуумирование пространства между уплотнительными элементами и откачку камеры одной вакуумной системой, что значительно повышает экономичность герметизации.

Составитель Г. Щуренко

Редактор С. Патрушева Техред И. Верес Корректор Г. Огар

Заказ 2о92 59 Тираж 923 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская наб.„д. 4/5

Филиал ППП «Патент», г. Ужгород, ул. Проектная, 4