Способ контроля оптических деталей

 

СПОСОБ КОНТРОЛЯ ОПТИЧЕСКИХ ДЕТАЛЕЙ, заключающийся в том, что направл51ют монохроматическое излучение на деталь, получают интерференционную картину, измеряют расстояние между двумя интерференционными полосами, по которому, судят о клиновидности детали, отличающийся т&л, что, с целью распшрения функциональных возможностей за счет контроля также и неплоскост ности деталей, излучение последовательно направляют в центр и на краА контролируемой детали, и lio расстояниям между интерференционными полосами ., полученным при отражении лучей от центра в и от края 8 контролируемой детали, определяют величину неплоскостности из соотношения - It-th S |Гдед 1 - отклонение от плоскостности} D - диаметр контролируемой детали -, t( - показатель прелсямления иатериала контролируемой детали; А - длина волны монохроматичес§ кого излучения.:

СОЮЗ (ОВЕТСНИХ ин

РЕСПУБЛИК

3(Я): 0 01 В 11 6

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ "=ь е Г 1

;гдеа%Э"

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

flO ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21 ) 3351377/25-28 (22) 04.11.81 (46) 23. 04. 83. Бюл.915 (72) Ю.Д. Филатов, В.В. Рогов и A.È. Шарапа (71) Ордена Трудового Красного Зна,мени институт сверхтвердых материалов АН Украинской ССР (53) 535.824(088 8)

:(56) 1. Королев Ф.А. Теоретичес- кая оптика. М., "Высшая школа", 1966, с.368.

2. Кривовяз Л.N ° Практика оптической измерительной лаборатории.

М., "Машиностроение", 1974, с.85-86 (прототип). (54)(57) СПОСОБ КОНТРОЛЯ ОПТИЧЕСКИХ

ДЕТАЛЕЙ; заключающийся в том, что направляют монохроматическое излучение на деталь, получают интерференционную картину, измеряют расстояние между двумя интерференционными полосами, по которому судят о клино„.SU„„.1013754 А видности детали, о.т л и ч а юшийся тем, что, с целью расйирения функциональных возможностей за счет контроля также и неплоскост ности деталей, излучение последовательно направляют в центр и на край контролируемой детали, и rio расстояниям между интерференционными поло.сами,, полученным при отражении лучей от центра llо и от края В контролируемой детали, определяют величину неплоскостности из соотношения

Ф, отклонение от плоскостности1 ® диаметр контролируемой деталиt показатель преломления яате- С риала контролируемой детали; длина волны монохроматичесйого излучения.

1013754

Л к 2н Юо

„1Л 2 1

Составите

Техред Ж.

Редактор Т. Киселева

Заказ 2999/48 Тираж 600 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент", r. Ужгород, ул. Проектная, 4

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может бысть использовано, в частности, для. контроля клиновидности и плоскостности оптических деталей из стекла, кварца и других материалов.

Известен способ контроля клинообразных пластин, заключающийся в том, что монохроматическое излучение направляют на пластину, получают в .отраженном свете интерференцион- 10 ные полосы, по расстоянию между которыми судят о ее клиновидности (1-).

Недостатками способа являются не,воэмбжность определения плоскостности поверхностей пластины и невозмож- 15 ность контроля пластин, поверхности которых имеют отклонения от плоскостности.

Наиболее близким по технической сущности к изобретению является спо- 20 соб контроля оптических деталей, заключающийся в том, что направляют монохрояатическое излучение на деталь, получают интерференционную картину, измеряют расстояние между двумя ин-,25 терференционными полосами, по которо-. му судят о клиновидности детали 2 ., Недостатком известного способа является невозможность контроля не"плоскостности оптических деталей. 30

Целью изобретения является расширение функциональных возможностей за счет измерения также и неплоскостности деталей.

Указанная цель достигается за счет35 того, что согласно способу контроля . оптических деталей излучение последовательно направляют в центр и на край контролируемой детали, и по рас,стояниям между интерференционными 40 полосами, полученным при отражении лучей от центра Р и от края Ря контролируемой детали, определяют величи" ну неплоскостности из соотношения

A (й ) где 4$ отклонение от плоскостности;

D " "диаметр контролируемой деталиу 50 и - показатель преломления материала контролируемой детали;

Ъ - длина волны монохроматического излучения.

На чертеже представлена схема Уст- 5 ройства, реализующего способ контроля оптических деталей °

Способ осуществЛяется следующим образом.

Световой поток от источника 1 света (лазера) проходит через телескопическую систему 2 и направляется на поверхность контролируемой детали 3.

Отразившись от обеих поверхностей контролируемой детали 3, два пучка интерферируют и образовывают интерференционные полосы равной толщины на экране 4. Расстояние между полосами не зависит от места их наблюдения.

Наложение интерферирующих лучей обеспечивается очень малым углом падения их на контролируемую поверхность детали 3 и.достаточно большой шириной их пучка.

В начале лучи направляют в центр контролируемой детали 3 и измеряют расстояние между полосами интерференции. Это расстояние определяется величиной клина детали и равно Й . Тогда величина клиновидности д% „детали на ее диаметре D определяется по формуле где n — показатель преломления материала детали.

Затем лучи направляют на край контролируемой детали 3. Расстояние между полосами интерференции в этом случае Р определяется не только клиновидностью контролируемой детали, 3, но и неплоскостностью ее поверхностей. Отклонение от плоскостности, поверхностей, контролируемой детали

3 определяется по формуле

ТакиМ образом, при направлении лучей на различные участки поверхности оптической детали, находящие ся на разном удалении от ее центра, расстояние между образукщимися при этом интерференционными полосами изменяется, причем минимальное расстояние соответствует 6О, а максималэ. ное Cg,придавая указаннйй смысл Юо и Ий устраняют необходимость точного определения центра и края на контролируемой детали, что в итоге позволило контролировать не только клиновидность, но и HeIIJiocKocTBocTb детали, определяемую по указанной выше зависимости. ль Н. Захаренко

Кастелевич Корректор Е.Рошко