Преобразователь поверхностных акустических волн

 

ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ ГОВЕРХНОСТНЫХ АКУСТИЧЕСКИХ ВОЛН, содержащий пьезоподложку и расположенные на ее поверхности две электродные структуры , каждая из.которых содержит контактные площадки и две разнополярные группы параллельных перекрывахшщхся штыревых эяектродов, причем штыревые злектроды одной из групп обеих элек тродных структур гальванически соединены между собой, штыревые э ектроды другой группы соединешл гальванически с соответствующей контактной площадкой , а перекрытие штыревых электродов в первой электродной структуре выполнено неравномерным, отличающийся тем, что, с.целью уменьшения искажений амплитудно-частотной характеристики, междуэлектродами первой электродной структуры расположено резистивное покрытие.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСА)УБЛИН

ОЛИСАНИЕ ИЗОБРЕТ

М АВТОРСНОММ СИИДВТЕПЬСТВМ .

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ OOCP

ПО ДЕЛАМ ИЗОЬРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ (21) 3368232/18-23 (22 ) 16. 12. 81 (46) 30.04. 83. Бюл. 9 16 (72) А.С.Багдасарян, Д.В.Карпеев, С.Н.Кондратьев и С.В.Киселев (53) 621.372.54<621.374 ° 55:534. .232(088.8) (56) 1. Речицкий В.И, Акустоэлектронные радиокомпоненты. И., "Советское радио", 1980, с.Ю9-131.

2. Авторское свидетельство СССР

В 726648, кл. Н 03 Н 9/ОО,Н 01 L 41/08, 1978 ° (54)(57) ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ ПОВЕРХНОСТ- . НЫХ АКУСТЙЧЕСКИХ ВОЛН, содержащий пьезоподложку и расположенные на ее поверхности две электродные структу,SU.,,j 015484

З6Ю Н 03 Н 9/145; Н ОЗ.Н 9/42;

Н 03 Н 9/64 ры, каждая as .которых аодержит контактные площадки и две разнополярные группы параллельных перекрывакицихся атыревых электродов, причем штыревые электроды одной из групп обеих электродных структур гальванически соединены между собой, штыревые электроды другой группы соединены гальванически с соответствующей контактной площадкой, а перекрытие штыревых электродов в первой электродной структуре выполнено неравномерным, о т л ич а ю шийся тем, что, с.целью уменьшения искажений амплитудно-частотной характеристики, между. электродами первой электродной структуры расположено резистивное покрытие. Е

1015484 изобретение относится к радиоэлектронике и может быть использовано в устройствах обработки сигналов на поверхностных акустических волнах (ПАВ).

Известен преобразователь ПАВ, в котором взвешивание интенсивности 5 возбуждения ПАВ встречно-штыревыми электродами осуществляется путем изменения величины резистивной связи этих электродов с контактными площадками. Этот преобразователь содержит пьезоподложку и расположенные на ее поверхности две электродные структуры — основнуй, состояцую из двух разнополярных групп электродов и дополнительную структуру в виде одной группы электродов, выполненных из резистивного покрытия, при этом каждый электрод дополнительной структуры с одной стороны гальванически соединен с первой контактной площадкой,с другой стороны гальванически соединен с соответствующим электродом одной из разнополярных групп электродов, а электроды второй разнополярной группы основной структуры гальванически связаны со второй контактной площадкой (11.

Недостатками указанного устройства являются технологические трудности из готовления и невысокий процент выхода годных изделий. 30

Наиболее близким к предлагаемому является преобразователь ПАВ, содержащий пьезоподложку и расположенные. на ее поверхности в параллельных акустических каналах две электродные 35 структуры, каждая из которых содержит контактные площадки и две разнополярные группы перекрывающихся штыревых.электродов, причем штыревые электроды одной из групп обеих элек- 40 тродных структур гальванически соединены между собой, штыревые электроды другой группы соединены гальванически с соответствующей контактной площадкой, а перекрытие штыревых 45 электродов в одной из электродных структур выполнено неравномерным (2 .

Недостатком известного преобразователя является наличие значительных искажений (АЧХ) амплитудно-частотной характеристики в полосе пропускания, возникающие из-за наличия паразитных емкостей между группами электродов, которые особенно проявляются в области с малыми перекрытиями электродов.

Цель изобретения — уменьшение искажений АЧХ преобразователя.

Поставленная цель достигается тем, что в преобразователе ПАВ, содержащем пьезоподложку и расположенные íà ее поверхности в параллельных. акустичес-6О ких каналах две электродные структуры, каждая из которых содержит .контактные.площадки и две разнополярные группы нараллельных перекрывающихся электродов, причем штыревые электроды65 одной из групп обеих электродных структур гальванически соединены между собой, штыревые электроды другой группы соединены гальванически с соответствующей контактной площадкой, а перекрытие штыревых электродов в первой электродной структуре выполнено неравномерным, между электродами первой электродной структуры расположено резистивное покрытие.

На чертеже показана структурная схема предлагаемого преобразователя ПАВ.

Преобразователь содержит пьезоподложку 1 и расположенные на ее поверхности в области 2 две электродные структуры 3 и 4, каждая из которых содержит контактные площадки 5 и б и две разнополярные группы параллельных штыревых электродов 7, 8 и 9, 10 соответственно. В структуре 3, по меньшей мере, часть электродов имеет перекрывающиеся участки разной величины. Все электроды .9 и 10 в структуре 4 имеют перекрытия равной протяженности. При этом расстояние между центрами смежных электродов в различных группах могут быть выбраны различными. В пространстве между электродами 7 и 8 размещено резистивное покрытие 11. Электроды 10 гальванически соединены с контактной площадкой б, а электроды 9 отделены от нее зазором и гальванически соединены с электродами 8. Электроды 7 гальванически соединены с контактной площадкой 5, электроды 8 отделены от нее зазором. Каждый электрод 9 электрически связан с контактной площадкой 5 посредством емкостно-резистивной связи, которая образована электродами 8 и резистивным покрытием 11. Величина этой емкостно-резистивной связи зависит от величины перекрытия электродов 9 и 10 и удельного сопротивления резистивного покрытия и варьируется по длине преобразователя в соответствии с законом изменения перекрытия электродов 7 и 8. Указанный закон определяется по импульсному отклику устройства.

Устройство работает следующим об-. разом.

При подаче высокочастотного сигнала от генератора 12 на контактные площадки 5 и б, между электродами 9 и 10 структуры 4 возникает знакопеременная разность потенциалов. Напряжение между электродами и, следовательно, величина заряда на каждом из электродов 9 и 10 зависит от величины перекрытий электродов структур 3 и

4, а также величины удельного сопротивления резистивного покрытия. В результате в материале подложки 1 возбуждаются ПАВ. Амплитуда волны, возбуждаемой каждым электродом, пропорциональна величине заряда на них

- 1615484

Составитель В.Банков

Редактор Н.Ковалева Техред С.Мигунова

Корректор С.Шекмар

Заказ 3230/51 Тираж 936 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская иаб., д.4/5

Филиал ППП "Патент", г.ужгород, ул.Проектная, 4

3 и, следовательно, зависит от величины участков перекрытия электродов 7, 8 и 9,. 10, а такие величины удельного сопротивления покрытия 11. Таким образом, в преобразователе осуществляется взвешивание интенсивности вдэ Суждения tlAB в соответствии с заданным импульсным откликом. При этом РАВ,. возбуждаемая структурой 4, имеет равномерный волновой Фронт по апертуре луча, так как электроды 9 и 10 имеют 10 одинаковые участки перекрытия.

Использование. изобретения позволя.ет уменыаить искажения АЧХ устройст-: ва за счет того, что при соответствующем выборе материала резистивного покрытия имеется возможность пренебречь наличием паразитной емкостной свяи между электродами из-за наличия переходной области 13, необходимой для гальванической связи структур 3 и 4,Предлагаемый преобразовагель имеет аЧХ с малыми искажениями и технологичвн в изготовлении.