Кассета для полупроводниковых приборов

 

КАССЕТА ДЛЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ, содержащая основание в виде.пластины, на каждой стороне которой закреплен прижимной элемент для полупроводниковых приборов в виде стержня и установлены элементы фиксации стержня, отличающаяся тем, что, с целью повышения , надежности крепления, из стержней закреплен на основании шарнирно одним концом, а элементы фиксации стержня выполнены в виде П-образных скоб, при этом элемент фиксации средней части стержня установлен со смещением по высоте ЬТносительно элементов фиксации концов . стержня. (П эо

(i9) (И) СОЮЗ СОВЕТСКИХ соцйдлистических

: РЕСПУБЛИН

9(Я) Н 01 L 21 68

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Ф \

IW

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И QTHPblTHA (21) 3401692/18-21

\ (22)- 07.01.82 (46) 15.05.83. Бюл. Р 18

-(72) A.Ô. Бабурин и A.Á. -Сахарович (53)- 621.382(088.8): (56) 1. Авторское свидетельство СССР

Е 337854, кл. Н 01 L 21/00,. 1971.

2. Сборочный чертеж IDK-7729-4323

СБ, 1979. (54)(57) КАССЕТА ДЛЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ, содержащая основание в виде пластины, на каждой стороне которой закреплен прижимной элемент

1 для полупроводниковых приборов в виде стержня и установлены элементы фиксации стержня, о т л и ч а ющ а я с я тем, что, с целью повы.шения, надежности крепления, каждый из стержней закреплен на основании шарнирно одним концом, а элементы фиксации стержня выполнены в виде

П-образных скоб, при этом элемент фиксации средней части стержня установлен со смещением по высоте относительно элементов фиксации концов . стержня.

1018181

Л.. Гришкова

Корректор Е . Рошко

Заказ 3554/51 Тираж 703

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035., Москва, Ж-35, Раушскай наб., д. 4/5

Подписное

Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Изобретение относится к электрон ной технике и может быть использовано в технологии изготовления полупроводниковых приборов.

Известна кассета для групповой фиксации полупроводниковых приборов, выполненная в виде желоба иэ листо« вого материала с волнообразными рифлениями по длине для крепления прибора за выводы. Для базировки прибора по фланцу кассета имеет гребен- 30 чатые пазы Ц.

Недостатком этой кассеты является сложность загрузки приборов в нее, так как в узкий изогнутый желоб необходимо вставлять гибкие и, как правило, деформированные выводы, следовательно, необходимы механизмы с рихтовочными и направляющими узлами для выводов приборов.

Наиболее близкой к предлагаемой является кассета для групповой фиксации полупроводниковых приборов, используемая на операциях травления, промывки H сушки цри производстве сплавных транзисторов. Кассета содержит основание в виде пластины и два стержня, прикрепленных с зазором с двух сторон к пластине крепежными элементами, выполненными в виде ушек. В зазор между пластиной и стержнем вставляются выводы прибо- 30 ров t:2j.

Недостатком этой кассеты является сложность механизированной загрузки вследствие того, что затруднено попадание ножки прибора между пласти- 35 ной и .стержнем. Кроме того, фиксация приборов осуществляется только за счет сил трения между выводами и пластиной со стержнем, что недостаточно надежно, так как зазор между плас-40 тиной и стержнем кассеты не регулируется и составляет 1,2-1,5 диаметра выводов.

Цель изобретения — обеспечение механизации загрузки и повышение 45 надежности фиксации прборов.

Указанная цель достигаешься тем,. что в кассете для полупроводниковых приборов, содержащей основание в виде пластины, на каждой стороне 50 которой .закреплен прижимнойьэлемент, для полупроводниковых приборов в виСоставитель

Редактор Т. Веселова Техред А.Ач де стержня и установлены элементы фиксации стержня, каждый иэ стержней закреплен на основании шарнирно одним концом, а элементы фиксации стержня выполнены в виде П-образных скоб, при этом элемент фиксации средней части стержня установлен со смещением по высоте относительно элементов фиксации концов стержня..

На чертеже изображена предложенная кассета.

Кассета состоит из основания, выполненного в виде металлической пластины 1 с С-образным хвостовиком

2 для крепления ее в технологическом оборудовании, стержней 3, расположенных с двух сторон пластины 1. Одним концом стержни 3 шарнирно закреплены на пластине. Элементы фиксации стержня выполнены в виде П-образных скоб

4, а минимальное расстояние между пластиной и стержнем выбрано в пределах 0,5-0,8 диаметра вывода.

Скобы 4 расположены на пластине 1 таким образом, что скоба для фиксации средней части стержня установлена со смещением по высоте относительно элементов фиксации обоих концов стержня.

При загрузке приборов в кассету стержень 3 отводится, приборы укладываются на пластину .1.

После заполнения кассеты стержень

3 закладывается в скобы 4 °

Так как скобы 4 расположены со смещением в шахматном порядке.относительно направления крепления стержня 3 и их пазы направлены поочередно в прямо противоположные стороны, то при вставлении стержня 3 в скобы 4 он изгибается и эа счет своих пружийящих свойств надежно прижимает приборы к пластине.

Кассета изготовлена и испытана при групповой обработке сплавных транзисторов на операциях травления, промывки и сушки. Предложенная кассета обеспечивает надежную фиксацию транзисторов, позволяет легко механизировать загрузку.

Использование предложенных кассет. совместно с устройством для механизированной .загрузки повышает производительность труда на операции загрузки кассет в 2-3 раза.

Кассета для полупроводниковых приборов Кассета для полупроводниковых приборов 

 

Похожие патенты:

Кассета // 1018180

Кассета // 978401

Кассета // 943925

Изобретение относится к устройствам, предназначенным для удержания кремниевых пластин во время термообработки при изготовлении полупроводниковый приборов

Изобретение относится к электростатическому держателю, используемому для обработки подложек, таких как полупроводниковые пластины

Изобретение относится к технологии нанесения покрытий и может быть использовано в качестве приспособления для закрепления пластинчатых деталей в технологическом оборудовании при нанесении на пластинах различных покрытий и тонких пленок, например на подложках полупроводниковых элементов

Изобретение относится к способу формирования штабелей легируемых с одной стороны полупроводниковых пластин, в частности солнечных полупроводниковых пластин, для загрузки технологической лодочки партиями полупроводниковых пластин, в которой предопределенное четное число полупроводниковых пластин рядами устанавливают в установочные шлицы подлежащего расположению точно в горизонтальной плоскости транспортировочного держателя с обращенным кверху отверстием для штабелирования

Изобретение относится к способу формирования штабелей легируемых с одной стороны полупроводниковых пластин, в частности солнечных полупроводниковых пластин, для загрузки технологической лодочки партиями полупроводниковых пластин, в которой предопределенное четное число полупроводниковых пластин рядами устанавливают в установочные шлицы подлежащего расположению точно в горизонтальной плоскости транспортировочного держателя с обращенным кверху отверстием для штабелирования

Изобретение относится к устройству и способу управления температурой поверхности, по меньшей мере, одной подложки, лежащей в технологической камере реактора CVD

Изобретение относится к области электронной техники, а более конкретно к устройствам для закрепления подложек, работающим в экологически чистых средах и вакууме
Наверх