Устройство для распознавания дефектов изображений объектов

 

УСТРОЙСТВО ДЛЯ РАСПОЗНАВАНИЯ ДЕФЕКТОВ ИЗОБРАЖЕНИЙ ОБЪЕКТОВ, содержащее телевизионные датчики, входы которых соединены с распределителем импульсов f а выходы подключены к соответствующим формирователям сигналов, детекторы, соединенные с соответствующими фо{адирователям сигналов, селектор, подключенный к одному Формирователю сигналов и к блоку памяти, первую группу элементов ИЛИ, входы которых соединены с распределителем импульсов и с одним детектором, а выходы подключены к блоку памяти, триггер, один вход которого соединеи с распределителем импульсов, подключеннь к блоку регистрации, отличающеесятем, что, с целью повышения надежности распоэн.вания, оно содержит счетчик, соединенный с блоком памяти, с распределителем импульсов, с блоком регистрации и с ДРУГШ4 входом триггера, вторую группу элементов ИЛИ, входы которых подключены к другому детектору и к распрделителю импульсов, а выходы соединены с блоком памяти, первую группу элементов И, входы которых подключены к триггеру и к распределителю импульсов, элемент НЕ, соединенный с распределителем импульсов , вторую группу элементов И, входы которых соединены с триггером, с элементом НЕ и с распределителем импульсов, и третью rpynriy элементов ИЛИ, входы которых подключены к выходам элементов И первой ,и второй групп, а выходы соединены с блоком регистрации. 1C со 00. СП а

,SU„„1023356 А

СОО3 СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСОУБЛИН я(5Б G 06 К 9/46

1 ь > 1 1

1,,;. " 1

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

ГОСУДАРСТ8ЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР по делам изо(5Ретений.и отиРытий

К>

44

gQ, ©3.

Oval

К ABTOPGHOMV С8ИДЕ П=ЛЬСТВУ (21) 3385662/18-24 (22) 15 ° 01.82 (46) 15.06.83 ° Бюл, Ю 22 . (72) В.И.Дубицкий и В.A.Tàðàí (71) Московский институт электронной техники (53) 681.327.12(088,8) (56) 1. Авторское свидетельство СССР

9 785803, кл. G 01 R 31/00, 1976.

2. Патент CQlA в 3935562, кл. 340-146.3, олублик.1976 (прототип). (54)(57) УСТРОЙСТВО ДЛЯ РАСПОЗНАBA8HR ДЕФЕКТОВ ИЗОБРАЖЕНИЯ ОБЪЕКТОВ, содержащее телевизионные датчики, входы которых соединены с распределителем импульсов, а выходы подключены к соответствующим Формирователям сигналов, детекторы, соединенные с соответству1ащими формирователям сигналов, селектор, подключенный к одному формирователю сигналов и к блоку памяти, первую группу элементов ИЛИ, входы которых соединены с распределителем импульсов и -с одним детектором, а выходы подключены к блоку .памяти, триггер, один вход которого соединен с распределителем импульсов, подключенные к блоку регистрации, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения надежности распознавания, оно содержит счетчик, соединенный с блоком памяти, с распределителем импульсов, с блоком регистрации и .с другим входом триггера, вторую группу элементов ИЛИ, входы которык подключены к другому детектору и к распрделителю импульсов, а выходы соединены с блоком памяти, первую группу элементов И, входы которых подключены к триггеру и к распределителю импульсов, элемент НЕ, сое- Я диненный с распределителем импульсов, вторую группу элементов И, входы которых соединены с триггером, с элементом НЕ и с распределителем импульсов, н третью группу элементов ИЛИ, входы которых подключены к,) выходам элементов И первой,и второй групп, а выходы соединены с блоком регистрации.

1023356

Изобретение относится. к автоматике и вычислительной технике и может быть использовано при построении автоматических систем контроля и распознавания изображений изделий микроэлектроники, в частности, для контроля фотошаблонов, кристаллов ИС, печатных плат и т.п. по внеш нему виду.

Известно устройство для выянления дефектов изображений объектов,. содержащее два телевизионных датчика блок синхронизации, вход которого соединен с входами телевизионных датчиков, блок нидеоконтроля, два формирователя видеосигнала, блок вы деления начал проводников, блок памяти, регистр начал проводников, счетчик координат, элемент И, триггер режима, элемент совпадения начал проводников (1) .

Недостатком этого устройства является низкая достоверность распознавания за счет наличия зависимости результатов контроля от размеров и местоположения дефектов в проводниках. Например, площадь проводника может не меняться при определенных размерах и.местоположениях дефектов типа разрыв и зако ротка . Наиболее близким к предлагаемому является устройство, содержащее телевизионные датчики, выходы которых через Формирователи импульсов подключены к детек-.îðàì связных областей, блок памяти„ соединенный с распределителем импульсов и с группой элементов ИЛИ, входы которых сое" динены с распределителем импульсов, подключенным к триггеру и к блоку регистрации, селектор, подключенный к формирователю сигналов и к блоку памяти j2) ., Данное устройство характеризуется достаточно высокой ненадежностьк распознавания.

Цель изобретения — повышение надежности распознавания, Поставленная цель достигается тем, что н устройство, содержащее телевизионные датчики, входы которых соединены с распределителем импульсов, а выходы подключены к соответствующим формирователям сигналов, детекторы, соединенные с соответствующими формирователями сигналон, селектор, подключенный к одному формирователю сигналов и к блоку памяти, первую группу элементов ИЛИ, входы которых соединены с распределителем импульсон и с одним детектором, а ныходы подключены к блоку. памяти, триггер, один вход которого соединен с распределителем импульсов, подключенным к блоку регистрации, введены счетчик, соединенный с блоком памяти и с распределителем импульсов с блоком регистрации и с другим входом триггера, вторую группу элементов

ИЛИ, входы которых подключены к другому детектору и к распределителю импульсов, а выходы соединены с

5 блоком памяти, первую группу элементов И, входы которых подключены к триггеру и к распределителю им пульсов, элемент НЕ, соединенный с распределителем импульсов, вторую

10 группу элементов И, входы которых соединены с триггером, с элементом НЕ .и с распределителем импульсов, и третью группу элементов ИЛИ, входы которых подключены к выходам эле 5 ментон И первой и второй групп, а выходы соединены с блоком регистрации.

На фнг.l представлена блок-схе ма устройства; на фиг.2 и 3 - конст-:

О руктивное выполнение селектора и распределителя импульсон, Устройство содержит телевизионные датчики 1 и 2, формирователи.3 и 4„ сигналов, детекторы 5 и б связных . областей, селектор 7 начал проводни25 ков, первую 8, вторую 9 и третью 10 группы элементов ИЛИ, блок памяти

11, счетчик 12, триггер 13, элемент

НЕ 14 первую 15 и вторую 16 группы элементов И, распределитель 17 им30 пульсов и блок 18 регистрации. При этом селектор 7 содержит группу элементов задержки на строку 19, группу элементов задержки 20 на элемент разложения в строке, эле3. менты ИЛИ-НЕ 21 и элемент 22 И, а распределитель импульсов содержит синхрогенератор 23, счетчик 24 циклов, элементы 2И-ИЛИ 25-28, счетчики 29 и 30 адреса.

Устройство работает следующим образом.

Видеосигналы разверток контролируемого и эталонного изображений, которые синхронизируются импульсами „ распределителя 17,поступают с- выходов телевизионных датчиков 1 и 2 соответственно на входы формирователей 3 и 4, с.выходов которых на входы де.текторов 5 и б поступают квантованные по уровню видеосигналы.

Детекторы 5 и б преобразуют квантованные видеосигналы точек иэображения в коды, так что коды отображают принадлежность точек изображения к соответствующим связным областям.

55 Кодирование проводников осуществляется по следующему правилу. Каждый проводник или объект изображения рассматривается как совокупность связных хорд. Если хорда не имеет связных с нею на предыдущей стро" ке, т. е, является начальной хордой новой связной области, то ей присваивается новый код. Если же сканируемая хорда имеет снязную с ней хорду на предццущей строке, то ей

1023356 присваивается код связной хорды.

После кодирования все точки одного проводника имеют одинаковые коды, а точки принадлежащие разниц проводникам, имеют разные коды. Сигналы кодов с выходов детекторов 5 и 6 че- 5 рез элементы ИЛИ первой и второй групп 8 и 9 поступают на соответствующие адресные входы блока 11.

Второй квантованный видеосигнал посту пает на вход селектора 7, который за- Ц держивает видеосигнал на время длительности трех строк и девяти элементов разложения с помощью элементов задержки 19 и 20 соответственно.

Задержанные видеосигналы подаются на входы группы элементов ИЛИ-НЕ

21 и элемента И 22. На выходе элемента И 22 появляется сигнал с уровнем 1 только в точках начал проводников в эталонном иэображении.

Импульсы с выхода селектора 7 по, ступают на вход запись-считыва ние блока 11. Если на этот вход блока ll подается сигнал с уровнем 1, то блок. 11 работает в режиме записи, а если с уровнем 0, то в режиме считывания.

Первый и второй адресные входы блока 11 служат для выборки соответственно строк и столбцов МОЗУ. Во время развертки исследуемого и эта- З() лонного изображений блок 11 работает на запись поэтому в.ячейку с соответствующим адресом будет записана l ; если на первый и второй адресные входы этой ячейки приходит сигнал. В 35 момент окончания развертки изображений число 1 накопленных в соответствующей строке МОЗУ равно числу эакороченных проводников в фигуре. исследуемогo изображения, а число - 4п 1 накопленных в соответствующем столбце МОЗУ равно числу разрывов в соответствующем проводнике. При завершении развертки изображений с выхода селектора 7 выдается сигнал с уровнем 0 и устройство переходит в режим считывания информации с блока 11.

Режим считывания разделяется на два цикла. В первом цикле происхо- 5Ъ дит считывание информации со столбцов МОЗУ, а во втором цикле — co строк МОЗУ. В момент окончания раз.вертки изображений с третьего выхода синхрогенератора 23 распределителя 17 выдается импульс разгрузки

55 счетчика циклов 24 в состояние 2, при этом иа его первом выходе будет сигнал логической 1, а на втором выходе сигнал логического 0 . Тактовые импульсы со второго вы- 60 хода синхрогенератора 23 через элемент 2И-ИЛИ 25 поступают на счетный вход счетчика адреса 29, который формирует сигналы адреса для выборки соответствукцих столбцов МОЗУ. Импульсы с второго выхода счетчика 29 через элемент И-ИЛИ 26 побТУпают на счетный вход счетчика адреса 30у который формирует сигналы а)бресе для выборки соответствующих строк

МОЗУ. Через определенное время пос ле начала считывания со второго выхода счетчика 30 через элемент

2И-ИЛИ 28 на счетный вход счетчика циклов 24 проходит импульс, который изменяет его состояние на 1, поэтому на его первом выходе будет сигнал лог 0, а на втором выходелог. 1 . При этом тактовые импульсы будут проходит на счетный вход второго счетчика адреса, со второго выхода -которого импульсы поступают на счетный вход счетчика 29.

Счетчик 12 подсчитывает число 1, накопленных в каждом столбце (стро- ке) МОЗУ. После окончания считывания информации с каждого столбца (строкИ) МОЗУ с распределителя 17 выдаются импульсы на установку счетчика 12 в исходное состояние -1 ..Если число 1 в столбце (строке) МОЗУ больше единицы, то на выходе счетчика 12 появляется сигнал дефекта, который устанавливает триггер 13 в 1 и элементы И 15 и 16 первой и второй группы открываются и на вход блока 18 выдается код проводника имеющего дефект. Тип дефекта (разрыв или закоротка определяется циклом считывания, так при считывании информации по столбцам МОЗУ определяется наличие разрывов в проводниках, а при считывании по строкам - наличие закороток . Номер цикла определяется уровнем сигнала (лог. 0 или 1 ) с соответствующего выхода распределителя, который также подается на вход блока

18. Первый цикл считывания соответствует уровню лог. 1, а второй цикл считывания — лог. 0 . Так как при распознавании дефектов используется только факт наличия или . отсутствия связности между соответствующими точками начал проводников в контролируемом изображении и никаких ограничений на форму, размеры и местоположение дефектов в про-.: водниках не накладывается, то результаты распознавания дефектов с помощью предлагаемого устройства не будут зависеть от формы, размеров и местоположения дефектов в проводниках.

Введение новых узлов и элементов позволяет существенно повысить надежность распознавания.

1023356

Уие Р

Составитель T. Ничипорович

Редактор Н. Горват Техред B. Далекорей Корректор А. Ильин

Заказ 4215/35 Тираж 706 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП Патент, r. Ужгород, ул. Проектная, 4