Устройство для измерения толщины прозрачного пленочного покрытия на изделии

 

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (19) (11) д(1) а 01 в 11/06

1 - ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Г6СУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕ ГЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ

И АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 3318983/25-28 (22) 15.07.81.

{46) 23.06.83. Бюл. И 23 (72) В И. Чуприн и М.М. Гутаускас (71)..Каунасский политехнический институт. им. Антанаса Снечкуса .(53) 531 717.,1 (088.8) (560.: 1. Буглай Б.И. Технология отделки .древесины. И., "Лесная промышлен-.

HocTb 1972, c.. 93-97.

2. Авторское свидетельство СССР

И 428201, кл. а 01 В 11/06, 1974

{прототип). (5")(57) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ

ТОЛЩИНЫ ПРОЗРАЧНОГО ПЛЕНОЧНОГО.ПОКРЫТИЯ НА ИЗДЕЛИИ, содержащее двойной микроскоп, фотодатчик со шторками, зеркало, установленное между фотодатчиком и двойным микроскопом с возможностью внвода его из поля зрения микроскопа, осветительный блок, оптически связанный через зеркало с двойным микроскопом, и измерительный микроскоп, о т л и.ч а ю щ е ес я тем, что, с целью повышения .точности измерения, приемная поверхность фотодатчика выполнена в виде прозрачной пластины с нанесенным íà ee поверхность фоточувствительным слоем в аиде нити.

1024704!

Изобретение относится к контрольно-измерителиной технике, а точнее к приборам, предназначенным для опре.деления толщины лаковых и других прозрачных покрытий на древесине, полимерах.и-т.п.

Известно устройство для измерения. . толщины прозрачного пленочного по« крытия на иэделий, основанное на методе светового сечения, содержащее двойной микроскоп с микрометрической насадкой (1)

Однако. это устройство имеет недостаточную точность измерения вследствие низкого контраста между сеткой .микроскопа и наблюдаемым фоном, изза чего невозможно установить линии сетки микрометрической насадки на границе между переходом линии " фон.

Наиболее близким к изобретению по технической сущности является устройство для измерения толщины прозрачного пленочного покрытия на изделии, содержащее двойной микроскоп„ фотодатчик со шторками, зеркало, установленное между фотодатчиком и двойным микроскопом с возможностью вывода его из поля зрения микроскопа, осветительный блок, оптически связан ный через зеркало с Двойным микроскопом, и измерительный микроскоп Я

Однако известное устройство имеет также недостаточную точность измере.HMR вследствие того, что непрозрачный фотодатчик закрывает вид измерительной позиции и не позволяет производить коррекции положения шторок относительно линий отражения . света в процессе измерения толщины покрытия.

Цель изобретения - повышение точности измерения.

Указанная цепь достигается тем, .что в устройстве для измерения топщины прозрачного пленочного покрытия на изделии, содержащем двойной мик" роскоп, фотодатчик со шторками, зеркало, установленное между фотодатчиком и двойным микроскопом с воэможностью вывода его иэ поля зрения микроскопа, осветительный блок, оптически связанный через зеркало с двойными микроскопом, и измерительный микроскоп, приемная поверхность фотодатчика выполнена в виде прозрачной пластины с нанесенным на ее поверхность фоточувствительным слоем в виде нити.

На чертеже представлена оптическая схема устройства.

Устройство для измерения толщины прозрачного пленочного покрытия на изделии содержит двойной микроскоп I, фотодатчик 2 со шторками 3, выполненный в виде прозрачной пластины

1О 4 с нанесенным на ее поверхности фоточувствительным слоем в виде нити

5, зеркало 6, установленное между фотодатчиком 2 и двойным микроскопом

1 с воэможностью вывода его из поля

15 зрения микроскопа 1, осветительный блок 7, оптически связанный через зеркало 6 с двойным микроскопом 1, и измерительный микроскоп 8, йзмерительный прибор 9.

Устройство работает следующим образом.

На оптически прозрачной пластине

25 4.с помощью двойного микроскопа

1 получает четкий вид линий отраже" ния света от пленочного покрытия из" меряемого изделия. Затем закрывают шторками 3 ту часть вида поверхнос30 ти, которая яаходится за пределами линий отражения света. Этот прием выполняется значительно точнее известных перемещений сетки в микрометрической насадке, так как непроэрач35 ная шторка 3 выглядит контрастно на неравномерно освещенном фоне прозрачного стекла 4. После этого поворачивают зеркало 6 из положения в положение Q и через образовавшую40 ся щель между шторками 3 пропускают поток калиброванного света из осветительного блока 7 в измерительный микроскоп 8. При освещении нити 5 изменяется сопротивление, что вызывает отклонение стрелки иэмерительйого прибора 9, по положению которой относительно калиброванной шкалы отсчитывают толщину прозрачного пленочного покрытия непосредственно в мякронах. Посредством измерительного микроскопа 8 ведется непрерывный визуальный контроль положения шторок 3 атносительно линий отражения от поверхностей покрытия, а нить 5, занимающая лишь узкую нитевидную по55 лоску на оптически прозрачной пластинке 4, такому контролю не препятствует, так как сквозь нить фотодатчика видна измерительная позиция.

Составитель Н. Захаренко

Редактор В. Лазаренко Техред С.Мигунова е т

Корректор О. Билак, Заказ 4376/35 Тираж 602

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Иосква, Ж-35, Рауаская наб., д. 4/5

Подписное

Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4 3, 1024704 4

Таким образом, с помощью предложен- ночного покрытия на изделии за счет ного устройства повввается точность выполнения приемной части фотодатизмерения толцины прозрачного пле- ... чика прозрачной.

Устройство для измерения толщины прозрачного пленочного покрытия на изделии Устройство для измерения толщины прозрачного пленочного покрытия на изделии Устройство для измерения толщины прозрачного пленочного покрытия на изделии 

 

Похожие патенты:

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для бесконтактного измерения толщины и показателя преломления прозрачных слоев

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для бесконтактного автоматического измерения толщины прозрачных материалов, например листового стекла, в непрерывном производственном процессе

Изобретение относится к измерительной технике, а именно к оптическим интерферометрам, и может быть использовано для непрерывного бесконтактного измерения геометрической толщины прозрачных и непрозрачных объектов, например листовых материалов (металлопроката, полимерных пленок), деталей сложной формы из мягких материалов, не допускающих контактных измерений (например, поршневых вкладышей для двигателей внутреннего сгорания), эталонных пластин и подложек в оптической и полупроводниковой промышленности и т.д

Изобретение относится к оптическим способам измерения толщин слоев прозрачных жидкостей и может быть использован для бесконтактного определения толщин слоев прозрачных жидкостей в лакокрасочной, химической и электронной промышленности, а также в физических и химических приборах

Изобретение относится к измерительной технике, а именно к интерференционным способам измерения оптической толщины плоскопараллельных объектов и слоев

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано в черной и цветной металлургии для измерения толщины проката в условиях горячего производства без остановки технологического процесса

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и предназначено для неразрушающего контроля толщины пленок, в частности в устройствах для измерения и контроля толщины пленок фоторезиста, наносимых на вращающуюся полупроводниковую подложку в процессе центрифугирования в операциях фотолитографии

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и предназначено для неразрушающего контроля толщины и измерения разнотолщинности пленок, в частности в устройствах для нанесения фоторезиста в операциях фотолитографии

Изобретение относится к оптическим способам измерения толщины слоя прозрачной жидкости
Наверх