Кассета

 

1. КАССЕТА, преимущественно для полупроводниковых кристаллов, содержащая основание с гнездами для полупроводниковых кристаллов, выполненными в виде продольных пазов V-образной формы, съемную крышку и экранирующий элемент, отличающаяся тем, что, с целью улучшения эксплуатационных возможностей, экранирующий элемент выполнен в виде съемной , установленной по периметру основания, а на съемной крышке выполнены продольные пазы V-образной формы, при этом высота рамки экранирующего элемента выполнена не меньше суммы высот продольного паза V-образной формы основания и продольного паза V-образной форлш съемной крьаики. 2. Кассета по п. 1, отличающая с я тем, что экранирующий элемент выполнен в виде съемных планок , установленных перпендикулярно g продольным пазам V-образной формы. .И со -ч со оь 4

r i gg

„.Я0„„1037364 А

СОЮЗ СОВЕТСНИХ .0344 ПМ

РЕСПУБЛИН (д) Н 01 Ь 21/68! / с

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Н ABTOPCHOIUIV СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

llO ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЬПИЙ (21) 3385748/18-21 (22) 29.01;82 (46)23.08.83. Вюл. 9 31 (72)В. В.Горбунов (53)621.382 (088.8) (56)1. Авторское свидетельство СССР

В 546045, кл. Н 01 L 21/68, 1975.

2. Патент Великобритании 91.310858, кл. В8С, 1973. (54)(57) 1. КАССЕТА, преимущественно для полупроводниковых кристаллов, содержащая основание с гнездами для полупроводниковых кристаллов, выполненными в виде продольных пазов V.-îáразной форвы, съемную крышку и экранирукюций элемент, о т л и ч а ю щ ая с я тем, что, с целью .улучшения эксплуатационных возможностей, экранирующий элемент выполнен в виде съемной р цкки, установленной по периметру основания, а на съемной крышке выполнены продольные пазы V-образной формы, при этом высота рамки экранирующего элемента выполнена не меньше суммы высот продольного паза

7-образной формы основания и продольного паза V-образной формы съемной крышки.

2. Кассета по п. 1, о т л и ч аю щ а я с я тем, что экранирующнй элемент выполнен в виде съемных планок, установленных перпендикулярно продольным пазам V-образной формы., 9

1037364

ИзОбретение относится к технологическому оборудованию для производства полупроводниковых приборов и может быть использовайо при нанесе.нии защитной пленки на грани кристаллов с р-п-переходами, а также для внешнего. контроля и транспор" тировки полупроводниковых кристаллов.

Известна кассета, состоящая из кры;: шки в виде рамки с натянутыми проволоками и основание с ячейками, в дне ячеек выполнены крестообразно расположенные. выступы в .виде клиньев, и полости, образованные выступами, переходят в сквозные отверстия в центре ячейки 1). 15

Кассета изготовлена таким образом, что любые верхние и нижние грани уложенных в них кристаллов располагаются параллельно основанию кассет. такая ориентировка кристаллов2р не позволяет осуществлять нанесейие покрытий только на боковые грани.

Наиболее близкой -к предлагаемой является кассета, содержащая основание с гнездами для кристаллов, вы- 25 полненными в виде продольных пазов

V-образной формы, съемную крышку и экранирующий элемент j 2).

Ч-образная форма пазов на дне этой

30 упаковки позволяет устойчиво ориентировать кристаллы для покрытия пленкой только двух боковых. граней. Однако из-за отсутствия у упаковки поперечных боковых стенок изолирующая пленка будет попадать на грани крайних кристаллов, не предназначенные для покрытия. Кроме того, такая кассета является малопроизводительной, так как для нанесения защитной пленки на две другие боковые грани либо для проведения визуального контроля надо поштучно переворачивать каждое изделие. цель изобретения - улучшение эксплуатационных Возможностей.

Эта цель достигается тем, что в кассете, преимущественно для полупроводниковых кристаллов, содержащей основание с гнездами для полупроводниковых кристаллов, выполненными в виде продольных пазов V-образной формы, съемную крышку и экранирующий элемент, выполненный в виде съемной ращки, установленной по периметру основания, а на съемной крышке выпол-эб иены продольные пазы V-образной формы, при атом высота рамки экранирующего элемента выполнена не меньше суммы Высот продольного паза V-образной форьы основания и продольного 60 паза V- îáðàçâîé формы съемной крышки, кроме того, экранирующий элемент выполнен в виде съемных планок, уста новлеиных перпендикулярно продольныМ павам V-образной формы.

На фиг. 1 показана кассета без крышки, вид в аксонометрии; на фиг. 2то же, вид сбоку с крышкой, на фиг. 3 — то же, вид с торца, на фиг. 4. — кассета без крышки с вариантом экранирующего элемента, вид сверху", на фиг. 5 — то же, вид сбоку с крышкой.

Кассета содержит основание 1 с гнездами для полупроводниковых кристаллов, выполненными в виде продольных пазов 2 V-образной формы. По периметру основания выполнены опорные плоскости 3, например, в виде площадок, выступов, штырей для размещения на них экранирующего элемента 4, который может быть выполнен в виде рамки, или в виде планок.

Рамка распбложена по периметру кассету, а планки — перпендикулярно продольным пазам 2 Ч образной формы.

При этом экранирующий элемент перекрывает по высоте кристаллы 5, установленные на ребро. Крышка кас" сеты выполнена идентично основанию кассеты и имеет также продольные пазы V-образной формы. Основание и крышка установлены навстречу друг другу поверхностями с пазами с образованием загнутого контура для разме" щения кристаллов. Для транспортиров" ки основание и крышка могут быть скреплены между собой любым известным зажимом.

Кассета работает следующим об" . разом.

Для нанесения покрытий на боковые грани кристаллов с р-п-переходами последние располагаются в пазах 2, сверху на опорные плоскости 3 накладывается рамка,. а затем основание

1 с кристаллами помещается в камеру установки для нанесения защитной пленки. После покрытия пленкой двух боковых граней кассета выгружается из камеры, на рамку накладывается крышка, и кассета поворачивается на 180 . При этом происходит перемещение кристаллов, а пазы крышки и непокрытые грани кристаллов оказываются повернутыми вверх. Рамка, удерживающая и экранирующая крайние в пазах кристаллы, также перемещается на крышку. Далее производится нанесение защитной пленки на две другие боковые грани.

При проведении визуального контроля боковых граней вначале осуществляется осмотр видимых граней кристаллов, помещенных в пазы основания.

Затем сверху накладывается крышка, и кассета поворачивается на 180 . После перемещения кристаллов в пазы крышки проводится осмотр двух других боковых граней.

Транспортировка полупроводниковых кристаллов осуществляется в закры1037364 фи8. Ф

Составитель Л. Грныкова

Техред K.Иыцьо Корректор А. ференц редактор П. Коссей

Еаказ 6022/56 Тираж 703 Подписное

BHHMIIH Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Рауюская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент", r.. Ужгород, ул. Проектная, 4, той кассете, снабженной любым известным зажимом.

Использование кассеты для полупроводниковых кристаллов позволяет практически в 10 раз повысить производительность труда ври нанесении защитной пленки на боковые грани кристаллов с р-и-переходами и проведе". нин визуального контроля кристаллов эа счет экономного использования рабочей поверхности кассеты при укладывании иэделий вплотную друг к другу гранями, ие подлежащими покрытию, а также за счет ликвидации операции поштучного переворачивания кристаллов. Эк ранирование контактных граней крайних в пазах кристаллов осуществляет ся рамкой или планками одновременно предотвращающими выпадение кристаллов из пазов кассеты.