Сканирующая система интерферометра

 

СКАНИРУЮЩАЯ СИСТЕМА ИНТЕ ФЕРОМЕТРА, содержащая газостатическую опору, средство для перемещ ния зеркхша, выполненное в виде по плавка, размещенного в газостатической опоре, источник сжатого га за и привод, связанный с поплавком отличающаяся тем, что с целью увеличения диапазона сканирования , она снабжена штуцером, установленным с возможностью перемещения в плоскости, перпендикулярной оси его выходного отверстия, вход штуцера подключен к ис точнику сжатого газа, распределительной камерой с двумя выходами, вход которой подключен к выходу штуцера, и рычагом, связанным одним койцом с поплавком, другим - со штуцером, газостатическая опора выполнена в виде двух радиальных газостатических подшипников,.каждый из которых содержит две камеры подвода смазки, одна из которых подключена уходом к соплам подшипника, расположенным с одной стороны осевой плоскости, общей для двух подшипников, фугаяк соплам подшипника, расположенным с другой стороны плоскости, а кгикдый из выходов распредеЛител111ной камеры соединен с накрест лех ацими камерами разных подшипников.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (19) (11) 3(51) G 0 1 В 9 / 0 2

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ; .

К ABTOPCHOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 3396634/25-28 (22) 12 ° 02. 82 (46) 30.09. 83. Бюл. 9 36 (7 2) В. B. Aðõèïoâ (53) 531.715.1(088.8) ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЬПЪФ (56) 1.Авторское свидетельство СССР

9 545876, кл. G 01 3 3/06, 1975 (прототип). (54) (57) . С)(АН)(Ру )ЩАЯ CHCTEMA ННТЕРФЕРОИЕТРА, содержащая газостатическую опору, средство для перемещения зеркала, выполненное в виде поплавка, размещенного в гаэостатической опоре, источник сжатого га-. за и привод, связанный с поплавком, . отличающаяся тем, что, с целью увеличения диапазона сканирования, она снабжена штуцером, установленным с возможностью перемещения в плоскости, перпендикулярной оси его выходного отверстия, вход штуцера подключен к источнику сжатого газа, распределительной камерой с двумя. выходами, вход которой подключеч к выходу штУцера, и рычагом, связанным одним ко((цом с поплавком, другим — со штуцером, газостатическая опора выполнена в виде двух радиальных гаэостатических подшипников, каждый иэ которых. содержит две камеры подвода смазки одна иэ которых подключена вЫхадом к соплам подшипника, расположенньм с одной стороны осевой плоскости, оощей для двух подшипников, 1(ругаяк соплам подшипника, расположенным Pg с другой стороны плоскости, а каждый иэ выходов распределительной камеры соединен с накрест лежащими камерами разных подшипников.

1044965

На чертеже представлена сканирующая система интерферометра.

Сканирующая система интерферометра содержит гаэостатическую опору 1., средство для перемещения зеркала.2, выполненное в виде поплавка 3, размещенного н газостатической опоре 1, источник 4 сжатого газа, привод 5, штуцер б, установленный с возможностью перемещения в плоскости, перпендикулярной оси его ныходного отверстия, вход штуцера б подключен к источнику 4 сжатого гаэа, распределительную камеру 7 с двумя выходами, вход которой подключен к выходу штуцера 6, рычаг 8, 55

65

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано н интерференционных приборах, н частности в спектрометра1 Фурье и Фабри-Перо.

Известна сканирующая система интерферометра, содержащая газостати-, ческую опору, средство для перемещения зеркала, выполненное в ниде поплавка, размещенного в.газостатичес кой опоре, источник сжатого газа и 10 привод, связанный с поплавком $1) .

Недостатком известного устройства является небольшой диапазон ска ниронания вследствие перекоса зеркала,, возникающего эа счет перерас- 15 пределения нагрузки на опору при перемещении поплавка.

Цель изобретения — увеличение диапазона сканирования.

Поставленная цель достигается 20 тем, что сканирующая система интерферометра, содержащая гаэостатическую опору, средство для перемещения зеркала, выполненное н виде поплавка, размещенного в газостатической опоре, источник сжатого газа и привод, связанный с поплавком,снабжена штуцером, устанонленным с возможностью перемещения в плоскости, перпендикулярной оси его выходного отверстия, вход штуцера подключен к источнику сжатого газа, распределительной камерой с двумя выходами, вход которой подключен к выходу Штуцера, и рычагом, связанным одним концом и поплавком, другим — со

35 штуцером, газостатическая опора выполнена н виде двух радиальных газостатических подшипников, каждый иэ которых содержит дне камеры подвода смазки, одна, из которых .под- 40 ключена выходом к соплам подшипника, расположенным с одной стороны осевой плоскости, общей для двух подшипников, другая — к соплам подшипника, Располож нным с другой стоРоны плос- 45 кости, а каждый из выходов распределительной камеры соединен с накрест лежащими камерами разных подшипников, связанный одним концом с поплавком

3, другим — со штуцером б,неподвижное зеркало 9 интерферометра. Гаэостатическая опора 1 выполнена в виде двух радиальных газостатических подшипников (не обозначены), один из которых содержит дне камеры

10 и 11 подвода смазки, а другой— две камеры 12 и 13 подвода смаз.— ки. Каждая из камер 10 и 12 подключена выходом к соплам (не обозначены) подшипника, расположенным с верхней стороны осевой плоскости, общей для двух подшипников, каждая иэ камер ll и 13 — к соплам подшипника, расположенным с нижней стороны плоскости, а каждый из выходов распределительной камеры 7 соединен посредством тройников 14 и 15 с накрест лежащими камерами 10,13 и

11,12 разных подшипников.

Сканирующая система интерферометра работает следующим образом.

Сжатый гаэ, например воздух, от источника 4 через штуцер б, распределительную камеру 7, тройники 14 и 15, камеры 10 — 13 поднода смазки и через сопла газостатических подшипников поступает н зазор между поверхностями газостатической опоры 1 и поплавка 3. При этом поплавок 3 всплывает и оказывается в состоянии перемещаться беэ трениявнутри опоры 1. Перемещение зеркала 2 осуществляется приводом 5.

В исходном положении поплавок 3 сбалансирован относительно горизонтальной оси, и при этом положение штуцера 6 относительно входа распределительной камеры 7 таково, что но всех камерах 10 — 13 подвода смазки создается одинаковое давление. В процессе сканирования осуществляется перемещение поплавка 3 с зеркалом 2 под действием привода 5.

ОдновРеменно с этим с помощью рычага 8 перемещается штуцер б, который перераспределяет подачу газа н распределительную камеру 7 таким образом, что в нижней камере подвода смазки, в сторону .которой движется .поплавок 3 и в верхней камере подвода смазки, от которой он удаляется,давление газа увеличивается, а в двух остальных камерах давление уменьшается. Например, при движении поплавка

3 вправо давление в -камерах 11 и

12 увеличивается, а н камерах 10 и

13 уменьшается.

В результате этого формируются. вращающие моменты, неличина и направле-, ние действия которых при любом положении поплавка 3 компенсируют его разбалансировку, тем саьым сохраняя гогиэонтальное положение оси поплавка

1044965

Составитель Б. Потапов

Редактор Н.Стащишина Техред A. Бабинец Корректор A.Ïîâõ

Заказ 7532/37 Тираж 602

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д, 4/5

Подп ис но е

Филиал ППП Патент, г. Ужгород, ул. Проектная, 4

3 на всей длине его перемещения. Тем ,самюм угловое положение зеркала 2 ,при перемещении остается неизменным по отношению к зеркалу 9, и контрастность интерференционной карти« ны не уменьшается в процессе сканирования..

Таким образом, выполнение газостатической опоры s виде двух ра- диальных подшипников и введение штуцера, распределительной камеры и рычага, установленных описанным образом, позволяет увеличить диапазон сканирования.