Лазерно-плазменный источник ионов

 

1. Лазерно-плазменный источник ионов, содержащий оптический квантовый генератор с модулированной добротностью, систему фокусировки лазерного излучения на поверхности мишени, систему формирования ионного потока из лазерной плазмы, ионно-оптическую систему, ось которой нормальна поверхности мишени, и электрод с селектирующей щелью, расположенной в плоскости фокусировки первого порядка по углу, отличающийся тем, что, с целью снижения дисперсии зарядового состава пучка и фонового излучения, система формирования ионного потока выполнена в виде двух соосных внутреннего и внешнего усеченных конусов, продолжения образующих которых пересекаются в одной точке, лежащей на поверхности мишени, боковые стенки электродов образуют канал формирования потока ионов, а ионно-оптическая система представляет собой гиперболоидную линзу, во входном и выходном электродах которой выполнены кольцевые щели, образующие вместе с каналом формирования тракт ускорения ионов.

2. Источник ионов по п.1, отличающийся тем, что внутренний конус системы формирования выполнен полым, открытым со стороны мишени и закрытым со стороны ионно-оптической системы.