Держатель для подложек

 

ДЕРЖАТЕЛЬ ДЛЯ ПОДЛОЖЕК, содержащий стол с полостью, соединенной с каналом вакуумного отсоса, и опорную поверхность ий эластичного материала с углублениями, отличающийся тем, что, с целью повышения надежности фиксации подложек , он снабжен размещенной над полостью стола эластичной пленкой с элементами регулировки ее натяжения, Ia углубления на опорной поверхности выполнены в виде концентрических кольцевых канавок, в которых размещены опорные штыри. а со о

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

3(59 Н 01 L, 21 68

) с /

l л Ф

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ

- ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

I (21) 3414036/18-21 (22) 29. 03. 82 (46) 15.12. 83. Бюл. 9 46 (72) A.Þ.Äàíèëîâ, О.А. Королев, В.Я.Первушин и Д.Е.Сини (ын (53) 621.396.6(088.8) (56) 1. Заявка Японии Р 55-23643, кл. Н 01 1, 21/68, 1980.

2. Патент ГДР 9 145824у кл. Н 01 L 21/68,07.01.81 (прототип). (54)(57) ДЕРЖАТЕЛЬ ДЛЯ ПОДЛОЖЕК, содержащий стол с полостью, соединенной

„.,Я0„„1061196 A с каналом вакуумного отсоса, и опорную поверхность из эластичного материала с углублениями, о т л ич а ю шийся тем, что, с целью повышения надежности фиксации подложек, он снабжен размещенной над полостью стола эластичной пленкой с элементами регулировки ее натяжения, а углубления на опорной поверхности выполнены в.виде концентрических кольцевых канавок, в которых размеще,ны опорные штыри.

10611 96

Составитель В. Верченко

Редактор М.Циткина Техред N.Hàäâ Корректор Л. Патай

Заказ 10051/54 Тираж 703 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д.4/5

Филиал ППП Патент, r.Óæãîðîä, ул.Проектная,4

Изобретение относится к технологической оснастке при производстве микросхем - в частности к держателям для подложек.

Известен держатель для подложек, выполненный в виде стола, на поверхности которого выполнены сквозные отверстия, соединенные с камерой низкого давления... Вокруг отверстий на опорной поверхности имеется ряд углублений для создания областей низко- 1О го давления, что обеспечивает прижим подложки к опорной поверхности (1 ).

Однако Известная конструкция характеризуется недостаточной степенью прижима и фиксации подложек и недос- 15 таточной надежностью работы вакуумной системы из-эа возможности попадания загрязняющих элементов в канал вакуумной системы.

Известен держатель для подложек, содержащий стол с полостью, соединенной с каналом вакуумного отсоса, и опорную поверхность из эластичного материала с углублениями 2 3.

Однако в известном держателе под" .25 ложек фиксация подложек недостаточно надежна, так как отсутствуют средства регулировки усилия прижима и средства, предотвращающие попадание загрязняющих элементов в канал ва у" умной системы.

Цель изобретения .- повышение надежности фиксации подложек.

Цель достигается тем, что держатель для подложек, содержащий стол с полостью, соединенной с каналом вакуумного отсоса, и опорную поверхность из эластичного материала с углублениями, снабжен размещенной над полостью стола эластичной пленкой с элементами регулировки ее натяжения40 а углубления на опорной поверхности выполнены в виде концентрических кольцевых канавок,.в которых разме щены опорные штыри.

На чертеже изображен держатель для 45 подложек °

Устройство содержит стол 1, элас- тичную опорную поверхность 2 с кольцевыми углублениями в виде канавок

3 для образования дополнительных полостей низкого давления. В канавках расположены опорные штыри 4. Между опорной поверхностью штырей 4 и опорной поверхностью стола 2 имеется зазор Ъ . В центре основной опорной поверхности расположена эластичная ! пленка 5 для образования основной полости 6 низкого давления. Пленка 5 по периметру зажата с помощью кольцевого компенсатора 7, позволяющего регулировать ее натяжение и тем самым регулировать силу прижима подложки 8. В нижней части стола размещен канал вакуумной системы 9.

Устройство работает следующим образом.

Подложку 8 размещают на опорной поверхности 2 стола 1.

При подключении вакуумной системы эластичная пленка 5 вытягивается, образуя основную полость 6 низкого давления. Подложка 8 с определенным усилием. притягивается к опорной поверхности 2 и снижает ее. Это сжатие создает в канавках 3 дополнительные полости низкого давления и, следовательно, дополнительное усилие прижима подложки 8. Эластичность пленки

5 регулируется кольцевым компенсатором 7, увеличивая или уменьшая, таким образом, основную полость 6 низкого давления.

Поскольку эластичная пленка 5 раз;мещена на.входе канала вакуумной системы, она препятствует попаданию туда инородных частиц, что повышает надежнбсть работы вакуумной системы и всего устройства в целом.

Таким образом, данная конструкция обеспечивает надежную фиксацию подложек за счет создания дополнительных полостей яодсоса и предотвращения попадания эагрязнякщих элементов в канал вакуумной системы.