Нераспыляемый самоактивирующийся газопоглотитель

 

НЕРАСПЫЛЯЕ№1Й САМОАКТИВИРУЮЩИЙСЯ ГАЗОПОГЛОТИТЕЛЬ, включающий покрытие из крупнозернистого порошка металла IVa или Va группы периодической системы с добавкой более мелких частиц,метг1лла Iliaили IVa группы, закрепленное На подлолйсе , отличающийся тем, что, с целью повышения формоустойчивости покрытие дополнительно содержит 3,2-5 мас.% порошка молибдена , вольфрама, или рения с размером зерна не более 8 мкм. о: NCl 00 4 Сл

(19) (И) СОО3 СОВЕТСНИХ

OO3Nll»

РЕСПУБЛИН цд) H 01 J 7/18

ГОСУДАРСТВЕННЬЙ . НОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЬГП4Й

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К ABTOPCHOMV СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 3495375/18-21 .(22) 01.10.82 (46 ) 30.12 .83. Бюл. Ю 48 (72) Г.Д.. Глебов, В.Н. Лясников и Т.Н. Николаева (71) Московский институт электронного машиностроения (53) 621.385. 032.14(088.8) .(56) 1. Вислоух В.Е. и др. Нераспыляемые газопоглотители для крупногабаритных ЭВП.-"Электронная промааленрость", 1974, В 10, с. 78-79.

2. Авторское свидетельство СССР

В 989612, кл. Н 01 J 7/18, 1981 (прототип). (54) (57) НЕРАСПЫЛЯЕЯЯЙ CANOAKTHBHРУЮЩИЙСЯ ГАЗОПОГЛОТИТЕЛЬ, включающий покрытие из крупнозернистого порошка металла IVa или Va группы периодической системы с добавкой более мелких частиц, металла IIIa или IVa группы, закрепленное на подложке, отличающийся тем, что, с целью повыцения формоустойчивости покрытие дополнительно содержит 3,2-5 мас.% порошка молибдена, вольфрама, или рения с размером зерна не более 8 мкм.

10б4343

-Изобретение относится к электронной технике, а более конкретно к газопоглотителям для электроваыуумных приборов, особенно генераторных и модуляторных ламп.

Известны нераспыяяемые газопоглотмтели в виде порошковых покрытий иэ активного металла или сплава, закрепленного на подложке без применения биндера, например, плаэменнодуговым методом 13. )o

Недостатком данных гаэопоглотителей является весьма ограниченная . сорбционная способность.

Наиболее блмзким к предлагаемому является нераспыляемый самоактивн- - 15 рующийся гаэопоглотитель, выполненный из крупнозернистого (80-100 мкм,) порошка мз числа металлов 1Ча или

Va группы периодической систеьн .с добавкой более мелких частиц металла иэ числа металлов IIIa или IVa группы, температура плавления которого на 800-1000 С ниже, например, в сочетаниях титан-церий, цирконий (ванадий )-лантан, ниобий-уран, гафнмй-титан и т.п. $2 ), Однако, обладая отличными трибо« механическими и сорбционными характеристиками, известный газопоглотитель не обеспечивает нужную при различных термообработках формоустой- . чивость и, соответственно, формоустойчивость связанных с ним ЭЭВП-полуфабрикатов, имеющих вид проволочных спиралей, сеток, тонкмх пореэных пластин и т.п. 35

Gens изобретения — повышение формоустойчивости газоноглотителя.

Укаэанная цель достигается тем, 1что в нераспыляемом самоактивирующемся газопоглотителе, включающем 49 покрытие из крупнозернистого порошка металла IVa или Va группы периодической системы с добавкой более мелких частиц металла 11?а илм IVa группы, закрепленное на подложке, покрытие дополнительно содержит . 3-5 мас.% порошка молибдена, вольфрг ма нли рения с размером зерна не более 8 мкм.

На чертеже изображен предлагаемый гаэопоглотитель.

Гаэопоглотитель состоит иэ прикрепленного к подложке 1 покрытия, которое содержит крупные (размером

80-100 мкм )÷àñòèöû 2 тугоплавкого активного металла, например ниобия, мелкие частицы 3 легкоплавкого актив» ного металла, например церия, урана, иттрия или титана, и обеспечивающие формоустойчивость rcoíñòðóêöèè скелетные мостики 4, образующиеся в силу наличия молибденового, вольфрамового мли рениевого микропорошка (изображены схематически ).

Присадка любого иэ укаэанных порошков ведет (наряду с неко1ррой дополнительной жесткостью ) к возникновению в теле гаэопоглотмтелй (глав ным образом у поверхности раздела зерен ) скелетных мостиков, что обеспечивает удачные релаксационные.свойства порошковой массы вместе с подложкой и, следовательно, неизменность размеров нолуфабрикатных деталей после термомеханической обработки. Доля прмсадочного микропорошка, как н размер его частиц, оптимизирована с помощью металлофиэических и сорбцион. ных исследований.

Данные представлены в табл. 1.

Нижний предел содержания формостабилизирующей присадки выбран с учетом результатов исследования упругодеформационных и термоусадочных характеристик в тройных металлических.системах IIIa-ТЧа-VIe (IVa), IIIa-Ча-VIa (VIIa) и IVa-Va-ЧХа ( (VIIa), а верхний - по началу явного спада сорбционной активности газопоглотителя вследствие внесения инертного тугоплавкого металла с; учетом ограниченной твердой растворимости использованных веществ.

Из экспериментальных данных следует, что молибден, вольфрам и рений действуют, в равных условиях,практически одинаково и укрупнение микро порошков .не является благоприятным.

Использование предлагаемого газопоглотителя снижает на 3-5% технологический брак по уходу размера покрытых газопоглотителем спиралей и сеток ЭВИ после из термообработки.

Данные исследований для одной из партий полуфабриката при общем числе испытанных деталей 1150 шт: приведены в табл. 2.

Таким образом, изобретение по сравнению с .прототипом повышает формоустойчмвость газопоглотителя, что дает воэможность .увеличить его.òåõйологический выход на 3-4% и,как следствие, выход годных иэделий на 1,2-1,5%.,1064343

Т а б л и ц а 1

Показатели качества газопоглотителя,В

Средний размер частиц микропоряа- . ка, мкм

Maccosoe содер канне присадки в гаэопоглотительной смеси,4

Материал присадки формоуатой- Активность чивость Ра С "

100

Менее 5

Менее 5

5- 8

Молибден

99,8 2,5

3,2

10-.15

3,2

100

100,0

5 8

6,55

1,5

10-15

Менее 5

Вольфрам

68

100

5-8

4,35

10-15 гз2

96,30

2,3

Рений

10-15

5-8

3,01.

100,0

100,0

Менее 5

6,2

Ниобий"титановый газопоглотнтель . беэ формостабнли .-змрукмцей присадки

Ю 93,51 100 \

- " Форвюустойчивость P - процентная доля изменения первоначального определяющего размера А испытуемой детали с газопоглотителем по сравнению со значением В того ие размера после ее термовакуумной обработки « де сятикратного циклирования, без. фиксатора, в диапазоне температур от комнатной до 1050-1100 С

А -ЬА В1)

Р - «100

A. «активность С - процентное отношение стационарной скорости сорбции водо- . рода гаэопоглотителем в стандартных .условиях (5 10 Па; 250 С) до и после . указанной выше термовакуумной обработки. б 2

98,7

94,6

БНИИПИ Заказ 20540/53 Тирам 703. Подписное филиал ППП "Патент", r. Уигород, ул.Проектная,4 ре (титан-цериевое с присадкой

3,5% (по массе) микропорошка молибдена ) Прототип (титан-цериевое без формоста-.. билиэируие ей присадки ) 95,50

96,03

99,91

99, 80

99,95

95 93

99,96

99,64