Интерферометр для контроля формы поверхности выпуклых сферических деталей

 

„„SU„„1067909 A

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (51)4 G 01 В 9 02

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Н АВТОРСКОМ .Ф СВИДЕТЕЛЬСТВУ объектив и второе зеркало, входная и выходная поверхности линзовой,системы выполнены в виде сферических эталонных поверхностей, а линзовая сисТема размещена таким образом, что центр кривизны выходной сферической эталонной поверхности ее совмещен с фокусом первого объектива, а центр кривизны со входной сферической эталонной поверхности вЂ,с задним фокусом четвертого объектива.

2. Интерферометр по п. 1, о тл и ч а ю шийся тем, что линзовая система выполнена в виде двух положительных менисковых линз и двух расположенных между ними плосковыпуклых линз, а выпуклые поверхности менисковых линз обращены к плоским поверхностям плосковыпуклых линз. -:3. Интерферометр по п. 1, о т— л и ч а ю шийся тем, что линзбвая система выполнена в виде двух положительных менисковых линз и расположенной между ними двояковыпуклой линзы.

4..Интерферометр по п. 1, о т— л и ч а ю шийся тем, что линзО.вая система выполнена в виде двух положительных менисковых линз, а одна выпуклая поверхность выполнена сферической. поверхдиаметконтросфери-.

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И QTHPblTHSM

ПРИ ГКНТ СССР (21) 2634947/25-28 .(22) 29.06.78, (46) .30.01.89. Бюл. ll 4 (71) МВТУ им. Н.Э. Баумана (72) Д.Т. Пуряев (53) 531 ° 715,1(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

У 448347, кл. G 01 В 9/02, 1972. (54) (57) 1. ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ КОНТРОЛЯ ФОРМЫ ПОВЕРХНОСТИ ВЫПУКЛЫХ СФЕРИЧЕСКИХ ДЕТАЛЕЙ, содержащий источник монохроматического излучения, установленные последовательно по ходу излучения зеркало, расположенное с возможностью углового перемещения, первый объектив и светоделитель, на одном выходе излучения из которого последовательно установлены второй объектив и фотопластинка, а на другом — компенсатор и линзовая система, отличающийся тем, что, с целью расширения диапазона контролируемых поверхностей, повышения производительности и точности контроля, он снабжен последовательно размещенными за линзовой системой вторым компенсатором, вторым светоделителем, на одном выходе излучения ,из которого последовательно установлены третий объектив и вторая фотопластинка, а на другом — четвертый

Изобретение относится к области оптического приборостроения, занятого изготовлением оптических деталей

:большого диаметра, а точнее, к интерферометрам, предназначенным для конт-.

2 роля высокоточных сферических ностей линз и зеркал большого ра.

Известен интерферометр для ля формы поверхности выпуклых

1067909 ческих деталей, содержащий источник монохроматического излучения, установленные последовательно по ходу излучения зеркало, расположеное с возможностью углового перемещения, первый объектив и светоделитель, на одном выходе излучения из которого последовательно установлены второй объектив и фотопластинка, а на другом — компенсатор и линзовая система.

Указанная цель достигается тем, что интерферометр снабжен последовательно размещенными за линзовой сис- 30 темой вторым компенсатором, вторым светоделителем, на одном выходе излучения из которого последовательно установлены третий объектив и вторая фотопластинка, а на другом — четвертый объектив и второе зеркало, входная и выходная поверхности линзовой системы выполнены в виде сферических эталонных поверхностей, а линзовая система размещена таким образом, 40 что центр кривизны выходной сферической эталонной поверхности ее совмещен с фокусом первого объектива, а центр кривизны ее входной сферической эталонной поверхности — с задним фокусом четвертого объектива.

Кроме того, линзовая система выполнена в виде двух положительных менисковых линз и двух расположенных между ними плосковыпуклых линз, а щ выпуклые поверхности менисковых линз обращены к плоским поверхностям плосковыпуклых линз.

Кроме того, линзовая система выполнена в виде двух положительных менисковых линз и расположенной между ними двояковыпуклой линзы. Кроме того, линзовая система выполнена в виде двух положительных менисковых

Недостатком известного интерферометра является ограниченность диапа" зона его применения, так как он пригоден только для .контроля поверхностей в проходящем свете..Кроме того, для каждой поверхности необходим компенсатор индивидуального назначения, который необходимо уста20 навливать в правильное положение в каждой контрольной операции.

Целью изобретения является расширение диапазона контролируемых по. верхностей, повышение производительности и точности контроля. линз, а одна выпуклая поверхность выполнена асферической.

На фиг. 1 представлена схема интерферометра для контроля выпуклых. поверхностей одного диапазона радиусов кривизны; на фиг. 2 — то же, для второго диапазона радиусов кривизны, на фиг. 3 и 4 — варианты выполнены линзовой системы.

Интерферометр содержит источник

1 монохроматического излучения, зеркало 2, установленное с возможностью углового перемещения, первый объектив 3, светоделитель 4, на одном выходе излучения из которого последовательно установлены второй объектив

5 и фотопластинка б, а на другом— компенсатор 7 и линзовая система, состоящая из линз 8, 9, 10, 11, деталь 12 с контролируемой выпуклой поверхностью, второй компенсатор 13, второй светоделитель 14, на одном выходе излучения из которого последовательно установлены третий объектив 15, вторая фотопластинка 16, а на другом — четвертый объектив 17 и второе зеркало 18.

Интерферометр работает следующим образом.

Лучи света, выходящие из источника 1 (фиг. 1), поступают на зеркало

2, затем — на объектив 3, который фокусирует пучок лучей в его заднем фокусе. Изображение заднего фокуса объектива 3, построенное светоделителем 4, компенсатором 7 и линзовой системой, строится в центре кривизны выходной поверхности линзовой системы, с которым совмещен центр кривизны контролируемой поверхности детали 12 ° Поэтому лучи света падают нормально на контролируемую поверхность детали 12, отражаются от нее, повторяют свой путь в обратном направлении и интерферируют с лучами, отраженными от выходной по ходу лучей сферической эталонной поверх ности линзовой системы. По интерференционной картине, регистрируемой на фотопластинке 6, определяют погрешности контролируемой поверхности известными способами. При контроле выпуклых поверхностей второго диапазона зеркало 2 выключается из хода лучей (фиг. 2), а контролируемая деталь 12 устанавливается перед линзовой системой так, чтобы центры кривизны контролируембй

5 106790 поверхности детали 12 и входной поверхности линзовой системы были совмещены.,В остальном ход лучей не отличается от хода лучей при контроле поверхностей первого диапазона. Важным достоинством предлагаемого интерферометра является возможность автоматизации измерений, так как он не имеет перемещающихся деталей и узлов: все элементы интерферометра

l при смене контролируемых поверхнос тей занимают постоянные положения, правильность которых надежно прове9 6 ряется на любом этапе контроля по автоколлимационному отражению лучей от наружных поверхностей линзовой системы. Поэтому в предлагаемом интерферометре необходима только одна юстировочная операция: установка контролируемой детали в правильное положение.

Повышение производительности и точности контроля в предлагаемом интерферометре достигнуто благодаря исключению трудоемких юстировочных операций.

1 067909

Редактор Н.Сильнягина Техред Л.Сердюкова Корректор С.Черни

Заказ 758 Тираж 683 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул. Гагарина,101