Устройство для определения времени жизни неосновных носителей тока в @ - @ - @ структурах

 

1. УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ВРЕМЕНИ ЖИЗНИ НЕОСНОВНЫХ НОСИТЕЛЕЙ ТОКА Вр- -«-СТРУКТУРАХ, содержеицее корпус, контактный узел. выполненный в виде соосно расположенных электродов с токоотводами, блок контроля обратного сопротивления , измерительный блок и шлифовальный круг с электроприводом, о т л ичающееся тем, что, с целью повышения производительности работы иуменьшения брака, оно снабжено закрепленным на корпусе узлом прижима с кронштейном, при этом электроды контактного узла выполнены в виде упорного и прижимного валиков, установленных в подшипниках вращения, закрепленных в корпусе и кронштейне соответственно. 2. Устройство по rt. 1, о т л и- i чающее ся тем, что подшипник прижимного валика выполнен са (Л моустанавливающимся. к пруукиннону приспособлению фиг.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ .РЕСПУБЛИК (19) (И) ЗИ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ОФЩ мию (21) 2559911/18-21(22) 26.12.77 (46) 07.03 ° 84. Бюл. М 9 (72) Б.Л.Бойченко, А.Г.Кулинич, .Ж.П.Николашин, A.Ã.Петрик, И.Ф.Пудло и Л.Я.1)варцман (71) Запорожский государственный педагбгический институт (53) 621.382.3(088.8) (56) 1. Solid State Electronics

1967, 10, М 2, рр. 145-154, 2. Патент С1Ш М 3697873, кл. 324-158D9 кл. 0.01 Н 31/22, опублик. 1972 (прототип). (54)(57) 1. УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ВРЕМЕНИ ЖИЗНИ НЕОСНОВНИХ НОСИТЕЛЕЙ ТОКА В у -(-й-СТРУКТУРАХ, содержащее корпус, контактный узел, выполненный в виде соосно расположенных электродов с токоотводами, блок контроля обратного сопротивления, измерительный блок и шлифовальный круг с электроприводом, о т л ич а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения производительности работы иуменьшения брака, оно снабжено закрепленным на корпусе узлом прижима с кронштейном, при этом электроды контактна)го узла выполнены в виде упорного и прижимного валиков, установленных в подшипниках вращения, закрепленных в корпусе и кронштейне соответственно.

2. Устройство по й. 1, о т л ич а ю щ е е с я тем, что подшип- Е

Ф ник прижимного валика выполнен са.моустанавливающимся. 1078357,Изобретение,относится к полупроводниковой электронике, в частности, к контактным устройством для определения времени жизни », неосновных носителей 𠆻- .й структур, выполненных в виде тонких (ъ100мкм) пластин-шайб, из которых изготавливают кристаллы полупроводниковых приборов.

Известно измерение времени 1 на и готовых p -» - 11 приборах с исиоль- . 10 и зованием методов измерения ь на диодных структурах (1) .

Однако такой способ измерения Г не применим для измерения ь на пластинах. 15

Наиболее близким к изобретению по технической сущности является устройство для определения времени жизни неосновных носителей, содержащее корпус, контактный узел, выполненный в виде нанесенных на торцы пластины слоев полуды (посредством ультразвукового паяльника) с припаяными токоотводами, блок контроля обратного сопротивления, измерительный блок и шлифовальный круг с электроприводом. (2) .

Однако конструктивное разделение контактного узла и рабочего места для сошлифовки закоротки, .а такие выполнение паяных контактов приводит к многим дополнительным манипуляциям с пластиной. что снижает производительность работы и приводит к повышенной вероятности поломки пластин (браку). 35

Кроме того, при паяных контактах пластина не пригодна для изготовления кристаллов полупроводниковых приборов.

Цель изобретения — повышение про- 40 изводительности работы и уменьшение брака.

Поставленная цель достигается тем, что устройство для определения времени жизни неосновных носителей тока в р -» — n сoт р у к т у р а х, содержащее корпус, контактный узел, выполненный в виде соосно расположенных электродов с токоотводами, блок, контроля обратного сопротивления, измерительный блок и шлифовальный круг с электроприводом, снабжено закрепленным.на корпусе узлом прижима с кронштейном, при .этом электроды контактного узла выполнены в виде упорного и прижимного валиков, установленных в подшипниках вращения, . закрепленных. в корпусе и кронштейне соответственно.

Причем подшипник прижимного ва-. лика выполнен самоустанавливающимся. 60

На фиг. 1 дано схематическое изображение механической части предлагае-, мого устройства, на фиг. 2 — электрическая схема устройства; на фиг. 3,осциллограмма напряжения на структурами

Механическая часть устройства со держит диэлектрическую плату 1 и прижимной валик 2, посредством подшипника 3 вращения (предпочтительно применение самоустанавливающегося шарикоподшипника} закрепленный на кронштейне 4 узла прижима (не показан). Узел прижима обеспечивает при необходимости прижим с фиксацией прижимного валика 2 к упорному валику 5, снабженному диском 6 с насечкой и закрепленному в подшипнике 7 вращения. Илифовальный круг 8 может подводиться и отводиться от валиков 2 и 5.

В упорном 5(и прижимном 2) валиках, как электродах, выполнены элект- ° рические гнезда 9, которые посредством токоотводов 10 (фиг. 2), снабженных штеккерами, подключат их .к электрической схеме.

Электрическая схема включает генератор 11 импульсов прямого тока, осциллограф 12, диод 13, резистор 14 и переключатель 15.

Смежные торцы упорного 5 и прижимного 2 валиков обработаны не ниже

8-ro класса чистоты.

Устройство работает следующим образом.

С помощью узла прижима проверяемую пластину 16 (шайба) с p -» -п структурой зажимают между упорным 5 и прижимным 2 валиками так, что остается кромка шириной 1-3 мм. Подводят вращающийся шлифовальный круг 8 к кромке пластины 16 и, поворачивая рукой за диск 6 пластину, сошлифовывают с отсосом ее закоротку по всему периметру.

Отсутствие закоротки определяют посредством омметра, подключив его к электрическим гнездам 9 (оно должно быть не менее нескольких килоом). После этого в электрические гнезда 9 вставляют штеккеры (фиг.2) и, пользуясь переключателем 15, добиваются того, чтобы импульсы от FB» нератора 11 подавались на пластину 16 в прямом направлении, о чем свидетельствует появление на экране осциллографа 12 типичной картины импульса с линейным участком спада послеинжекционного напряжения на р- и структуре (фиг.. 3).

Нзмерив на этом линейном участв1 ке, определяют iиз выражения ап хТ Й

Ь=

< ь0 где К - постоянная Больцмана}

Т вЂ” абсолютная температура

q — заряд электрета> величина линейного спада послеинжекционного напряжеФ ния;

1078357 (Л фиг.Ю

Редактор A.Êîýîðèç

Составитель Ю.Волков

Техред A. Кикемезай Корректор А.Тяско

Заказ 952/39 Тираж 711 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

ФилиаЛ ППП ".Патент", г.ужгород, ул.Проектная, 4 дt, - время, за которое происходит спад аu ..

Технико-экономический эффект от предложенного решения обусловлен ,сокрацением времени определения до 5 мин и сохранением проверяемой структуры, пригодной для дальнеиш6

ro использования.

Кроме того, простота и удобства в работе обеспечивают воэможность быстрого внедрения на производстве.