Способ создания силицидов металлов

 

Способ создания силицидов металлов, включающий нанесение металла на кремний и нагрев структуры "металл-кремний" СВЧ-излучением с основной частотой 950 МГц - 1000 ГГц, плотностью поглощенной энергии излучения 0,2 - 2 кДж/см2 в течение 1 - 103 с, отличающийся тем, что, с целью повышения качества силицидных слоев и упрощения технологического процесса, перед СВЧ-нагревом нанесенный металлический слой облучают ионами элементов, обладающих электроотрицательностью меньшей чем электроотрицательность нанесенного металла, причем Эм - Ээ = Э 0.5 эВ, где Эм - электроотрицательность нанесенного металла, Ээ - электроотрицательность элемента, ионами которого облучают нанесенный металл; при этом доза облучения составляет 5 1015 - 1018 ионов/см2, а его энергия - 5 - 100 кэВ.



 

Похожие патенты:

Изобретение относится к полупроводниковой технологии

Изобретение относится к микроэлектронике, а именно к технологии изготовления полупроводниковых приборов и ИС
Изобретение относится к полупроводниковой технике, в частности к технологии изготовления мощных полупроводниковых приборов на основе кремния
Наверх