Адсорбционный вакуумный насос

 

АДСОРВЦИОННЬЙ ВАКУУМНЬЙ НАСОС , содержащий корпус и коаксиальнорасположенные в нем цилиндрический TFXfii cn:;.-i. Ь ( сосуд с хладагентом, на наружной поверхности которого размещен адсорбент , и адсорбционную кассету, отличающийся тем, что, с целью улучшения откачных характеристик , корпус снабжен патрубком для подвода регенерирующего газа, а сосуд - продольными П-образными выступами и вьтолненными между ними в стенке сосуда продольными каналами, сообщенными с патрубком подвода регенерирующего газа и открытыми со сто роны наружной поверхности сосуда.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛ ИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИК

„„SU „„1084485

3(59 Г 04 В 37/02

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И OTHPblTHA описдние изоБреткния " 1

Н ABTOPCKOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 2903745/25-06. (22) 04.04.80 . (46) 07.04.84. Бюл. и - 13 (72) С.Л.Кудрявцев., М.С.Казаков, С.В.Волокитин и Л.С.Кудрявцев (53) 621.528.3(088.8} (56) 1. Авторское свидетельство СССР

Ф 613136, кл. г 04 В 37/02, 1975.

2. Авторское свидетельство СССР

У 641155, кл. Г 04 В 37/02, 1977. (54) (57) АДСОРБЦИОННЫЙ ВАКУУИНЫИ НАСОС, содержащий корпус и коаксиально. расположенные в нем цилиндрический сосуд с хладагентом, на наружной поверхности которого размещен адсорбент, и адсорбционную кассету, о т— л и ч а ю шийся тем, что, с целью улучшения откачных характеристик, корпус снабжен патрубком для подвода регенерирующего газа, а сосуд — продольными П-образными выступами и выполненными между ними в стенке сосуда продольными каналами, сообщенными с патрубком подвода pere", нерирующего газа и открытыми со сто» роны наружной поверхности сосуда.

1 1084

Изобретение .относится к вакуумной технике, а именно к устройству адсорбционных вакуумных насосов.

Известен адсорбционный вакуумный насос, содержащий корпус и сосуд для хладагента, на наружной поверхности которого размещен адсор-бент (1).

Недостатком известного насоса являются невысокие откачные характе- 1п ристики вследствие недостаточно эффективного охлаждения адсорбента,, обращенного к теплому корпусу..

Наиболее близким к предлагаемому является адсорбционный вакуумный насос, содержащий корпус и коаксиально расположенные в нем цилиндрический сосуд с хладагентом, на наружной поверхности которого размещен адсорбент, и адсорбционную кассету 2) .

Однако насос имеет невысокие откачные характеристики вследствие недостаточно эффективной регенерации адсорбента.:

Цель изобретения — улучшение откачных характеристик.

Указанная цель достигается тем, что в адсорбционном вакуумном насо се, содержащем корпус и коаксиально расположенные в нем цилиндрический сосуд с хладагентом, на наружной поверхности которого размещен адсорбент, и адсорбционную кассету, корпус снабжен патрубком для подвода регенерирующего газа, а сосуд — продольными „П-образными выступами и вы35 полненными между ними в стенке сосу(0 да продольными каналами, сообщенными с патрубком подвода регенерирующего газа и открытыми со стороны

40 наружной поверхности сосуда.

На фиг. 1 представлен насос, продольный разрез; на фиг. 2 -,. то же, поперечное сечение.

485 2

Адсорбционный вакуумный насос содержит корпус 1 и коаксиально расположенные в нем цилиндрический сосуд 2 с хладагентом, на наружной поверхности которого размещен адсорбент 3, и адсорбционную кассету 4, причем корпус 1 снабжен патрубком 5 для подвода регенерирующего газа, а сосуд — продольными П-образными выступами 6 и выполненными между ними в стенке сосуда 2 продольными каналами 7, сообщенными с патрубком 5 подвода регенерирующего газа и открытыми со стороны наружной поверхности сосуда 2.

Насос работает следующим образом.

Газ из откачиваемого объема поступает в полость корпуса 1, где происходит процесс поглощения его адсорбентом. При этом легкосорбируемые компоненты откачиваемого газа поглощаются неохлаждаемой адсорбционноч кассетой 4, а трудносорбируемые— адсорбентом 3, размещенным на поверхности сосуда 2, заполненного хладагентом. П-образные выступы 6 обеспечивают эффективное охлаждение адсорбента 3 вследствие развитой поверхности теплообмена между сосудом 2 и адсорбентом 3. После насыще" ния адсорбента 3 и адсорбционной кассеты 4 насос отсекается от откачиваемого объема и проводится процесс регенерации путем подачи.регенерирую- "щего газа через патрубок 5 и каналы 7 сквозь слой адсорбента 3. При этом эффективно регенерируется не только адсорбент 3, но и адсорбционная кассета 4;

Таким образом, эффективная организация процесса регенерации адсорбента и адеорбционной кассеты в насосе обеспечивает улучшение его откачных характеристик.

Составитель В.Кряковкин

Редактор Е.Папп Техред О.Неце Корректор А.Дзятко Заказ 1956/28 Тираж 624 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

1 13035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент", г.ужгород, ул.Проектная, 4

Адсорбционный вакуумный насос Адсорбционный вакуумный насос Адсорбционный вакуумный насос 

 

Похожие патенты:

Изобретение относится к вакуумной и криогенной технике и может быть использовано как в вакуумных насосах для получения глубокого вакуума, так и в рефрижераторах криосорбционной откачки рабочего тела, в частности для откачки 3He в рефрижераторах растворения

Изобретение относится к системам ультравысокого вакуума для обработки полупроводникового изделия, к геттерным насосам, используемым в них, и к способу обработки полупроводникового изделия
Изобретение относится к способам вакуумирования гермообъемов и преимущественно может быть использовано в холодильной, морозильной технике и устройствах кондиционирования и осушения воздуха с использованием термоэлектрических модулей на эффекте Пельтье, а также в измерительной технике, радиоэлектронной аппаратуре электровакуумных приборах и т.д
Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к сорбционным (геттерным) насосам, и может быть использовано в вакуумных системах водородных стандартов частоты

Изобретение относится к криогенной технике, а именно к адсорбционным насосам, предназначенным для поддержания вакуума путем поглощения молекул газа из замкнутых объемов

Изобретение относится к насосам, работа которых основана на хемосорбции и предназначенным для поддержания вакуума путем поглощения молекул газов

Изобретение относится к области криогенной техники, а именно к устройствам адсорбционных насосов, предназначенным для поддержания вакуума путем поглощения молекул газов из замкнутых объемов

Изобретение относится к области криогенной техники, а именно к устройствам адсорбционных насосов, предназначенных для поддержания вакуума путем поглощения молекул газов из замкнутых объемов

Изобретение относится к области криогенной техники, а именно к устройствам адсорбционных насосов, предназначенных для поддержания вакуума путем поглощения молекул газов из замкнутых объемов
Наверх