Способ измерения площади рельефной поверхности электропроводных объектов

 

СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ПЛОЩАДИ РЕЛЬЕФНОЙ ПОВЕРХНОСТИ ЭЛЕКТРОПРОВОДНЫХ ОБЪЕКТОВ, заключающийся в том, что измеряют электрическую емкость между установленным с зазором объектом и измерительным электродом, о тличающийся тем, что, с целью повьшёния точности.измерения, величину зазора устанавливают в несколько раз меньшей перепада высот рельефа , а в качестве измерительного электрода используют слепок с поверхности объекта. (Л

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

09) 01) ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 3530507/25-28 (22) 28. 12.82. (46) 07.04.84. Бюл. Ф 13 (72) Б.А. Гланц и С.М. Харламов (53) 621.317.39:531.21(088.8) (56) 1.Авторское свидетельство СССР

У 587310, кл. G 01 В 7/34, 1978..

2 ° Авторское свидетельство СССР

У 453558, кл. G 01 В 7/08, 1972 (прототип). (51) G 01 В 7/08; G 01 В 7/34 (54) (57) СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ПЛОЩАДИ

РЕЛЬЕФНОЙ ПОВЕРХНОСТИ ЭЛЕКТРОПРОВОДНЫХ ОБЪЕКТОВ, заключающийся в том, что измеряют электрическую емкость между установленным с зазором объектом и измерительным электродом, о тл и ч а ю шийся тем, что, с целью повышения точности. измерения, величину зазора устанавливают в несколько раз меньшей перепада высот . рельефа, а в качестве измерительного электрода используют слепок с поверхности объекта.

1084592

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для контроля шероховатости и неровностей деталей, для определения коэффициента интенсификации 5 теплообмена шероховатой поверхности, а также для определения площади поверхности объекта с учетом ее рельефа.

Известен способ измерения площади 10 рельефной поверхности, основанный на измерении эмиссионного тока насыщенияя, создаваемого контролируемой поверхностью объекта, помещенного в вакуумную камеру (1 ). 15

Недостаток этого способа — высокая трудоемкость измерений и сложность измерительной установки, что обусловлено необходимостью применения вакуумной камеры.

Наиболее близким по технической сущности и достигаемому эффекту к предлагаемому является способ измерения площади рельефной поверхнос.— ти электропроводных объектов, заклю- 25 чающийся в том, что измеряют электрическую емкость между установлен-, ными с зазором объектом и измери" тельным электродом f2 ).

Недостатком известного способа является низкая точность измерений, обусловленная плоской формой измерительного электрода, не соответствующей рельефу контролируемой поверхности, что не обеспечивает достаточной чувствительности способа к изменению ее рельефа.

Цель изобретения — повышение точности измерений площади рельефной поверхности. 40

Поставленная цель достигается тем, что согласно способу измерения площади рельефной поверхности электропроводных объектов, заключающемуся в том, что измеряют электрическую 45 емкость между установленными с зазором объектом и измерительным электродом, величину зазора устанавливают в несколько раз меньшей перепара высот рельефа, в качестве измерительного электрода используют слепок с поверхности объекта °

На чертеже изображено устройство для осуществления измерений по предлагаемому способу.

Устройство содержит стакан 1 и жестко скрепленную с ним обойму 2 из непроводящего материала. В обойме 2 закреплен с помощью резьбового контакта 3 контролируемый объект (образец) 4. Сверху на стакане 1 размещен с возможностью перемещения второй стакан 5, в котором закреплена вторая обойма 6 из непроводящего материала, в которую залит расплавленный металл, образующий слепок 7. В торце обоймы 6 закреплен на резьбе второй контакт 8, соприкасающийся со слепком 7, На внешней поверхности стакана 1 закреплена на резьбе гайка 9, соприкасающаяся торцом с вторым стаканом 5. К контактам 3 и 8 подключен измеритель

10 емкости. В области осприкосновения поверхностей образца 4 и слепка

7 образуется воздушный зазор 11, который может быть заполнен жидким диэлектриком. для этого к НеМу с помощью трубки подключен поршневой насос 12, заполненный жидким диэлектриком, например маслом.

Контролируемый объект (образец)

4 выполнен в виде, образца ступенчатой формы, исследуемая поверхность которого обращена к слепку 7, повторяющему рельеф этой поверхности.

Измерения проводят следующим образом.

Образец 4 помещают в обойму 2 и фиксируют контактом 3 так, что часть образца выступает в верхнюю обойму

6. В нее заливают расплавленный легкоплавкий металл (например, сплав

Вуда), образующий после затвердевания слепок 7 с исследуемой поверхности образца 4.

После затвердевания слепок фиксируют сверху контактом 8. С помощью гайки 9 стакан 5 перемещают на определенное расстояние для того, чтобы между образцом 4 и слепком 7 образовался зазор 11.

Устройство поворачивают на 90 н направлении, показанном стрелкой, и с помощью поршневого насоса t2 производят заполнение зазора жидким диэлектриком. Поворот необходим для устранения воздушных пузырьков в зазоре.

Зазор 11 устанавливают таким образом, чтобы его величина была минимальной, по крайней мере в 10-15 раз меньшей перепада высот (глубины борозд или высоты гребешков) рельефа контролируемой поверхности образца 4. Чем меньше величина зазора 11, Составитель И. Кислицин

Техред М.Кузьма Корректор А. Ильин

Редактор И. Ковальчук

Заказ 1974/34 Тираж 587 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4

I з 1084592 4

-тем с большей точностью измеряется -. чиной зазора определяют площадь площадь микрорельефа контролируемой рельефной поверхности контролируе" поверхности. Образец 4 и слепок 7, мого образца. разделенные зазором 11, заполненные Таким образом, в результате того, диэлектриком (маслом, воэдухом и пр.) 5 что рельеф поверхности слепка точно образуют. конденсатор, электрическая соответствует репьефу образца и посемкость которого прямо пропорциональ- ле их разведения образовавшийся но зависит от площади рельефной по- достаточно малый зазор одинаков межверхности образца 4. Эту емкость ду всеми взаимно соответствующими измеряют с помощью измерителя 10 1О точками их поверхностей, повышается и по ее отношению к емкости эталон- точность измерения площади поверхного конденсатора с такой же вели- ности объекта с учетом ее рельефа.

Способ измерения площади рельефной поверхности электропроводных объектов Способ измерения площади рельефной поверхности электропроводных объектов Способ измерения площади рельефной поверхности электропроводных объектов 

 

Похожие патенты:

Изобретение относится к технике измерения площади металлизации печатных плат в процессе гальваноосаждения и может быть использовано для контроля площади металлизации мелкоструктурных изделий
Наверх