Репродукционный объектив

 

РЕПРОДУКЦИОННЫЙ ОБЪЕКТИВ, содержащий разделенные диафрагмой две клеенные половинки, каждая из которых состой л из шести линз, причем первая - мениск, вторая положительный мениск, обращенный выпуклостью к диафрагме, третья и четвертая - положительные линзы, причем четвертая - двухсклеенная, пятая, мениск , обращенный выпуклостью к диафрагме , а шестая - положительнаялинза , отличающийся тем, что, с целью повьшения разрешакнцей способности за счет увеличения числовой апертуры, уменьшения вторичного спектра и хроматических аберраций, первый мениск выполнен положительным толщиной не менее 0,5f и обращен выпуклостью к диафрагме, положительшлй мениск склеен из двояковогнутой и двояковьтуклой линз, третья и четвертая - двояковыпуклые линзы, пятая - отрицательный мениск, а шестая одиночная плосковьтуклая линза, причем вторая, четвертая и пятая линзы склеены из линз, показатели преломления и коэффициенты дисперсии материа (Л лов которых соответственно относятся как 1:0,8 и 1:3, 0,8:1 и 3:1, 1:0,8 и 1:3, Где - фокусное расстояние половинки объектива. %

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕЩИХ

РЕСПУБЛИН

403 А

0% (И) ОПИСАНИЕ ИЭОБРЕТ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ о ° с

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ (21) 3483705/18-10 (22) 20.08.82 (46) 15.04.84. Бюл. !1- !4 (72) А.П. Грамматин и А.А.Багдасаров (53) 771.351.7(088.8) (Se) 1.Авторское свидетельство СССР

В 679911, кл. G 02 В 13/24, 1978.

2, Авторское свидетельство СССР

9 302680, кл. G 02 В 11/34, 1969 (прототип). (54) (57) РЕПРОДУКПИОННЫЙ ОБЪЕКТИВ, содержащий разделенные диафрагмой две склеенные половинки, каждая из которых состои. из шести линз, причем первая — мениск, втораяположительный мениск, обращенный выпуклостью к диафрагме, третья и четвертая — положительные линзы, причем четвертая — двухсклеенная, пятая.— мениск, обращенный выпуклостью к диафрагме, а шестая - положительная линза, отличающийся тем, что, с целью повышения разрешающей способности за счет увеличения числовой апертуры, уменьшения вторичного спектра и хроматических аберраций, первый мениск выполнен положительным толщиной не менее 0,5f и обращен выпуклостью к диафрагме, положительный мениск склеен иэ двояковогнутой и двояковыпуклой линз, третья и четвертая — двояковыпуклые линзы, пятая — отрицательный мениск, а шестая— одиночная плосковыпуклая линза, причем вторая, четвертгя и пятая линзы склеены из линз, показатели преломления и коэффициенты дисперсии материалов которых соответственно относятся как 1:0,8 и 1:3, 0,8:I и 3:l, 1:0,8 и 1:3, где f — фокусное расстояние половинки объектива.

С!

1086403

Изобретение относится к оптическому приборостроению, в частности к проекционным оптическим системам, и может быть использовано в установках проекционной фотолитографии при производстве микроэлектронных схем и приборов.

Известен репродукционный объектив, состоящий из симметрично расположенных относитЕльно диафрагмы полови- >р нок (1 5.

Известный объектив имеет недоста« точно высокую разрешающую способность для восцроизведения в светочувствительных слоях микроструктур интеграль 15 ных схем с размерами элементов порядка 1 мкм и менее. Кроме того, значительные величины вторичного спектра и хроматических аберраций приводят к необходимости сужения рабочей обла- 0 сти спектра, что, в свою очередь, вызывает большие энергетические потери света ш, соответственно, снижает производительность проекционных установок для производства микроэлектрон- 5 ных схем. Требование обеспечения телецентричности хода главных лучей в . пространствах предметов и иэображений приводят к необходимости, усложнения конструкций проекционных систем, что зр также вызывает потери света в системах.

Наиболее близким по технической су..;ности, к изобретению является репродукционный объектив, содержащий разделенные диафрагмой две симметрич-З5 ные половинки, каждая из которых состоит из шести линз, причем перваяотрицательный мениск, обращенный вогиутостью к диафрагме, вторая - положительный мениск, обращенный выпукло40 стью к диафрагме, третья и четвертая— положительные линзы, причем четвертая — двухсклеенная, пятая — положительный мениск, обращенный выпуклостью к диафрагме, а шестая — положи45 тельный двухсклеенный мениск f2 5.

Однако разрешающая способность и качество иэображения этого объектива

sa счет значительных вторичного спект« ра и хроматических аберраций недоста- р точны для удовлетворен ;я требованиям микроэлектронного производства при воспроизведении структур интегральных схем с микронными и субмикронными размерами элементов. 55

Цель изобретения — увеличение разрешающей способности, эа счет увеличения числовой апертуры, уменьшение вторичного спектра и хроматических аберраций.

Роставленная цель достигается тем что в репродукционном объективе, содержащем разделенные диафрагмой две склеенные половинки, каждая иэ которых состоит из шести линз, причем первая — мениск, вторая — положительный мениск, обращенный выпуклостью к диафрагме,.третья и четвертая - положительные линзы причем четчертаяj двухсклеенная, пятая — мениск, обращенный выпуклостью к диафрагме, а шестая — положительная линза, первый мениск выполнен положительным толщиной не менее 0,5 Е и обращен выпуклостью к диафрагме, положительный мениск склеен из двояковогнутой и двояковыпуклой линз, третья и четвертая — двояковыпуклые линзы, пятая— отрицательный мениск, а шестая — одиночная плоско-выпуклая линза, причем вторая, четвертая и пятая линзы склеены из линз, показатели преломления и коэффициенты дисперсий материалов которых соответственно относятся как

1 0 8 и l 3, 0 8 1 и 3:1, 1:0,8 и

1:3, где — фокусное расстояние ! половинки объектива.

На чертеже представлена принципиальная оптическая схема репродукционного объектива, относящегося к проекционным системам.

Объектив состоит из двух симметричных половинок, каждая из которых содержит по шесть линзовых компонентов 1-6, разделенных диафрагмой 7.

Компонент 1 выполнен в виде толстого положительных иеннска обращенного выпуклостью к диафрагме 7. положительный компонент 2 выполнен из двояковогиутой линзы 8, склеенной с двояковыпуклой линзой 9. Компонент 3 и 4двояковыпуклая линза, причем компонент 4 склеен из двояковыпуклой линзы 10 и отрицательного мениска 11.

Отрицательный компонент 5 склеен из положительного 12 и отрицательного

13 менисков, обращенных выпуклостью к диафрагме. Компонент 6 — ллосковыпуклая линза, обращенная выпуклостью к диафрагме 7. Наличие толстого ме- инска 1 позволяет исправить в системе кривизну изображения, а подбор материалов, форма и вэаимоположение линз в компонентах обеспечивают воэможность получения в них минимальных значений монохроматических и хроматических аберраций. Отрицательное значение з :16864.03 4 вторичного спектра компонента 5 поз-. щую способность до 1800 лин/ воляет уменьшить положительную вели- /мм. чину этой аберрации во всей системе Репродукционный объектив имеет до допустимой. Телецентричность хода следующие характеристики фокусное главных лучей в пространствах предме- расстояние g(= 29,9 мм, увеличение тов иэображений объектива достигает- I, числовую апертуру в пространстся соответствующим выбором оптических вах предметов и изображений 0 4 лиЭ Э сил компонента 6. Высокое качество нейное поле изображения 4 мм. изображения в объективе (волновая Применение предлагаемой системы аберрация в пределах поля изображе- .1С в фотолитографической установке пония диаметром 4 мм в спектральной об- эволяет обеспечить качественное восласти 436+10 нм не превышает 0,25, произведение в светочувствительном длины волны) позволяет увеличить чис- . слое изображений микроструктур интеловую апертуру системы до 0,4, - гральньм схем с субмикронными раза следовательно, и ее предель- >5 мерами элементов при контрасте иэобную теоретическую разрешаю- ражения не менее 0,3.

Составитель В. 1пмыга

Редактор Т. Парфенова Техред, Jl.Коцюбняк Корректор М.Шарошй

Заказ 2240/45 Тираж 497 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений н открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4