Способ изготовления пленочных мембран

 

СПОСОБ ИЗГОТОВШНИЯ ПЛЕНОЧНЫХ МЕМБРАН,: включающий гальваническое осаждение металлической пленки на электроды и ее последующее отделение , отличающийся тем, что, с целью упрощения технологического процесса и улучшения качества пленочных мембран, на электродах предварительно формируют диэлектрическое покрытие с окнами, соответствующими форме мембран, а в качестве электродов испольэуют пористый кремний , полученный путем анодной обработки при следующем режиме Концентрация плавиковой кислоты, %Ю-50 Плотность тока, мА/см J-200 Время обраi 0,1-10 ботки, мин (Л

COOS СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИН

ЗЫ11Н04 R 1 О

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ

ОПИСАНИЕ ИЖЖРЕТЕНИЯ н as TOPt:kOMV CBQETKAbCTBV

0,1-10

Cb (2)) 3481344/18-10 (22) 12.08.82 (46) 30.04.84.Бюл. Р 16 (72) В.И.Курмашев и В.И.дубин (11) Иинский радиотехнический институт (53) 621.396.623(088.8) (56) l, Патент Великобритании

Ф 1381376, кл. Н 04 R 7/12, !975.

2. Авторское свидетельство СССР

В 349120, кл. H 04 R 7/00, 1970. (54) (57) СПОСОБ ИЗГ ОТОВГЖНИЯ ПЛЕНОЧКЕ МЕМБРАН,: включающий гальваническое осаждение металлической пленки на электроды и ее последующее отде„„SU„„1089766 A ление, отличающийся тем, что, с целью упрощения технологического процесса и улучшения качества пленочных мембран, на электродах предварительно формируют диэлектрическое покрытие с окнами, соответствующими форме мембран, а в качестве электродов испольэуют пористый кремний, полученный путем анодной обработки при следующем режиме

Концентрация плавиковой кислоты, Ж 10-50

Плотность тока, мА(см2 1-200

Время обработки, мин

1089/66

Изобретение относится к акустике, в частности к методам изготовления тонких мембран для микрофонных устройств„

Известен способ изготовленчя мемб 5 ран конденсаторных микрофонов,, включающий помещение внешнего кольца в углубление, выполненное в листе пластического материала и имеющее высоту и диаметр, равные высоте и диамет ру самого кольца, укладывание фольги на кольцо,.прижим накладкой из мягкого материала, имеющей отверстие диамет-ром, равным внутреннему диаметру внешнего кольца закрепление внутрен него кольца на подвижной оправке и с ее помощью вдавливание внутреннего кольца во внешнее через отверстие в накладке 1 3.

Однако при этом способе изготовле 2G ния мембраны сложен технологический процесс.

Наиболее близким техническим решением к предлагаемому является способ изготовления пленочных мембран B котором на плоские электроды нз нержавеющей стали наносят гальва-- ническим методом металлическую пленку., которую соединяют одним из известных способов (пайкой J с жесткой Зб оправкой и.отделяют электроды от металлической пленки (23.

Однако способ изготовления пленоч ных мембран сложен, так как включает необходимость использования жесткой оправки для отделения металлической пленки от электрода и связанных с этим технологических операций. При изготовлении мембраны таким способом снижается ее качество, так как возможен ее разрыв при отделении от электрода из-за очень высокого сцепления с электродом из нержавеющей стали.

Цель изобретения — упрощение технологического процесса и улучшение качества пленочных мембран.

Поставленная цель достигается тем что в способе изготовления пленочных мембран, включающем гальваниче-.. ское осаждение металлической пленки на ее электроды и ее последующее от;. деление, на электродах предваритль-: но формируют диэлектрическое покры-. тие с окнами, соответствующими форме мембран, а в качестве электродов ис-пользуют пористый кремний, полученный путем анодной обработки при следующем режиме

1-200

Концентрация плавиковой кислоты, . 10-50 плотность тока, 1мА/см

Время обработки, мин 0,1 — 10

Использование пористого кремния в качестве электродов,на которые произ водят гальваническое осаждение металлической пленки, вызвано тем, что при осаждении металлической пленки на полированный кремний происходит самопроизвольное ее отслаивание при незначительной толщине, всл-"дствие низкого сцепления металла с полированным кремнием. Полированный креиний позволяет с помощью варьирования режимов и состава раствора для его получения изменять размер, количество и глубину пор на поверхности кремния, а следовательно, изменять и силу сцепления гальванически осаж; денного металла с пористым кремнием.

При концентрации плавиковой кислоты менее 10 .,как и при плотности тока более 200 мА/см происходит переход процесса формирования пористого кремния в процесс электрополировки. Максимальная концентрация плавиковой кислоты в электролите обусловлена тем, что чистая плавиковая кислота имеет концентрацию 50 .

Нижнее значение плотности тока равное 1 мА/см связано с тем, что при

2 меньших плотностях тока скорость фор мирования пористого кремния незначи-. тельна. При времени анодной обработки менее 0,1 мин глубина пор слишком мала, чтобы обеспечить достаточное сцепление слоя осажденного металла с пористым кремнием. При времени . анодной обработки, превышающем 10 мин, дальнейшего увеличения сцепления металлической пленки с пористым кремнием пе происходит.

Для получения мембран заданных размеров. на электродах из пористого кремния формируют диэлектрическое покрытие требуемой конфигурации например. путем избирательного нанесения на электроды из пористого кремния химически стойкого лака. После гальванического осаждения металли. ческой пленки в окна диэлектрического покрытия осуществляют механическое отделение металлической пленки от электрода, например, путем приложения усилия, сдвигающего метал3 !089766 ф лическую пленку на поверхности элект верхность электрода, шероховатость рода. .которого составляет 14 и надежно

Полученные данным способом метал- обеспечивают повторяемость электролические пленки имеют поверхность акустических свойств мембран привысокой чистоты дублирующую пс- сравнительно простой технологии.

Составитель А. Трегубов

Редактор Е.Лушникова Техред Л.Мартяшова Корректор С.Шекмар

Заказ 2954/55 Тираж 635 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий!

13035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент", г.ужгород, ул. Проектная, 4