Мера толщины пленок

 

МЕРА ТОЛЩИНЫ ПЛЕНОК по авт. св. № 813129, отличающаяся тем, что, с целью расширения технологических возможностей , паз выполнен ступенчатым по глубине, а на верхние поверхности подложки и пленки нанесена перекрывающая паз вторая ступенчатая пленка, высота ступенек которой аттестована от верхней поверхности подложки. (Л СО 00 со

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК з(в G 01 В 7/06

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К ABTOPCKOMV СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (61) 813129 (21) 3566001/25-28 (22) 31.03.83 (46) 15.06.84. Бюл. № 22 (72) P. А. Лаанеотс (71) Таллинский политехнический институт (53) 620. 179. 142.6 (088.8) (56) 1. Авторское свидетельство СССР № 813129, кл. G 01 В. 7/06, 1977.

„„SU„„1097891 А (54) (57) МЕРА ТОЛЩИНЫ ПЛЕНОК по авт. св. № 813129, отличающаяся тем, что, с целью расширения технологических возможностей, паз выполнен ступенчатым по глубине, а на верхние поверхности подложки и пленки нанесена перекрывающая паз вторая ступенчатая пленка, высота ступенек которой аттестована от верхней поверхности подложки.

1097891

Изобретение относится к метрологии, а именно к средствам для поверки и градуировки средств измерения толщин пленок и покрытий.

По основному авт. св. № 813129 известна мера толщины пленок, содержащая подложку с участком для настройки толщиномера на ноль. На подложке выполнен паз, аттестованный по глубине, пленка внесена в упомянутый паз, а верхняя поверхность пленки совпадает с верхней поверхностью подложки 11).

Для поверки и градуировки толщиномеров пленок и покрытий, например, радиоизотопных толщиномеров, позволяющих измеоять без разрушения толщину двухслойных покрытий, например толщину олова с подслоем меди на стали, толщину серебра с подслоем никеля на алюминиевом сплаве и толщину других двухслойных покрытий, необходимо иметь аттестованные по толщине покрытия и подслоя меры из тех же материалов, составляющих покрытие, подслои и основу детали, так как поверка

1О

20 толщиномеров по нормативным документам стандартов производится в нормальных условиях их применения. Кроме того, толщина подслоя по нормативным документам должна быть разная, например 3, 6 или

9 мкм. Для этого случая должны быть и меры толщины пленок с такими тюлщинами подслоя.

Недостатком известной меры является то, что она не позволяет проводить поверку и градуировку толщиномеров для измерения двухслойных покрытий, например толщины олова с подслоем меди на стали или толщины других двухслойных покрытий, т. е. мера толщины пленок имеет узкую область применения, что ограничивает технологические возможности ее использования.

Цель изобретения — расширение технологических возможностей.

Поставленная цель достигается тем, что в мере толщины пленок, содержащей подлож- 40 ку с участком для настройки толщиномеров на ноль и пленку, нанесенную на подложку на верхней поверхности подложки выполнен паз, аттестованный по глубине, пленка нанесена в упомянутый паз, а верхняя поверхность пленки совпадает с верхней поверхностью подложки, паз выполнен ступенчатым по глубине, а на верхние поверхности подложки и пленки нанесена перекрывающая паз.вторая ступенчатая пленка, высота ступенек которой аттестована от верхней поверхности подложки.

На фиг. 1 изображена предлагаемая мера толщины пленок, вид спереди, разрез; на фиг. 2 — то же, вид сверху; на фиг. 3— вид А на фиг. 1.

Мера толщины пленок содержит под- 55 ложку 1, на верхней поверхности которой имеются участки 2 для настройки на ноль толщиномеров. На поверхности подложки 1 выполнен ступенчатый паз, причем дно 3 первой ступеньки удалено от верхней поверхности подложки 1 на величину h, ðàâную требуемой толщине пленки подслоя первой точки поверки, дно 4 второй ступеньки удалено от верхней поверхности подложки

1 на величину h,, равную требуемой толщине пленки подслоя второй точки поверки, и дно 5 последней ступеньки удалено от верхней поверхности подложки 1 на величину h, где индекс и обозначает количество ступенек. Пленка 6 (или покрытие) заполняет ступенчатый паз так, что ее верхняя поверхность совпадает с верхней поверхностью подложки.

На среднюю часть поверхности подложки 1 и подслоя нанесена вторая ступенчатая пленка 7 таким образом, чтобы толщину ее ступенек h, где индекс m обозначает количество ступенек второй пленки, можно было измерять по ступеньке, исходя от верхней поверхности подложки 1 и пленки 6.

Прочие размеры меры определяют исходя из размеров датчиков поверяемых толщиномеров.

При изготовлении мер верхнюю поверхность подложки 1 и донья 3, 4 и 5 (количество последних зависит от количества ступенек) ступенек паза доводят до зеркального блеска, что позволяет с высокой точностью аттестовать глубину. каждой ступеньки, например, интерференционным способом.

После нанесения в ступенчатый паз пленки

6 проверяют плоскостность верхних поверхностей подложки и пленки 6 подслоя. При несовпадении верхних поверхностей подложки 1 и пленки 6 верхнюю поверхность пленки 6 доводят дополнительно до совпадения с верхней поверхностью подолжки 1.

Далее на среднюю часть подложки 1 галь. ваническим напылением в вакууме или другим способом наносят ступенчатую плен-, ку 7. Аттестуют толщины h ступенек второй пленки, например, на установку

УАМТП вЂ” 1, и мера толщины двухслойных пленок является готовой к применепию.

Поверку и градуировку тол щи номеров двухслойных покрытий выполняют с помощью комплекта мер с различными материалами подслоя и пленки. Нулевую точку шкалы толщиномера поверяют помещением дат чика поверяемого толщиномера на любой участок 2 (фиг. 2). Затем перемещают датчик на участок пленки 7 или покрытия с пленкой 6. Показания толщиномера сравнивают с аттестованной толщиной, т. е. суммарной толщиной пленки с подслоем Ь„,+ h„ (фиг. 1). При перемещении датчика на участок пленки 6 (фиг. 2). можно проводить поверку толщиномеров однослойных покрытий.

Предлагаемое изобретение расширяет технологические возможности меры, поскольку позволяет проводить поверку и градуиров109789!

Составитель М. Реку нова

Техред И. Верес Корректор А. Ильин

Тираж 587 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, УК вЂ” 35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП «Патент», г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Редактор М. Петрова

Заказ 4195/34 ку толщиномеров как однослойных, так и двухслойных пленок таким образом, что од- ной мерой становится возможно поверка толщиномера на всем диапазоне измерения толщины пленки при конкретном сочетании материалов основания и покрытия.