Многослойный пленочный датчик э.д.с. холла

Авторы патента:

Васильковский А.А.

H01L43/06 - приборы с использованием эффекта Холла

X 119556

Класс 21а4, 71

СССР

А. А. Васильковский

МНОГОСЛОЙНЫЙ ПЛЕНОЧНЫЙ ДАТЧИК Э.Д С. ХОЛЛА

Заявлено 12 августа !968 г.:u ¹ 605771!26 в 1,амитет по депаги изовретеиий и открытий при Совете Министров СССР

Опу!!пиков!и!о в «Ь!олпетене изобретений» X 9 за 1969 г

Известные датчики, основанные на эффекте Холла, имеют малую вольтовую чувствительность.

Для повышения его чувствительности приходится увеличивать ширину датчика, что не всегда возможно.

Предлагаемый многослойный пленочный датчик э.д.с. Холла позволяет значитель 10 увеличить вольтовую чувствительность при малои ширине, что обсспечивает возможность установки его в малые зазоры.

Многослойный датчик представляет собой батарею полупроводниковых пленочных датчиков, соединенных между собой последовательно по отношению к э.д.с, Холла.

С целью получения небольших габаритов и возможности измерения напряженности поля Б в заданном месте, он выполняется в виде чередующихся пленок полупроводников с различными типами проводимости, разделенных диэлектрическими пленками, которые, как и полупроводниковые, наносятся одна на другую запылением в вакууме на диэлектрическую подкладку. К этой подкладке крепятся электроды, по которым подводится и отводится ток j н электроды, с которых снимается результирующая э.д.с. Холла V,, На схеме показано соединение слоев датчика.

Предмет изобретения

Многослойный пленочный датчик э.д.с. Холла, отличающийся тем, что, с целью повышения его чувствительности при сохранении малого размера в направлении э.д.с. Холла, он изготовляется в виде чередующихся нескольких слоев двух различных полупроводников, имеющих чередующийся знак проводимости, разделенных диэлектрическими пленками, причем слои по отношению тока, протекающего черсз них, соединяются параллельно, а по отношению к э.д.с. Холла вЂ” последовательно. № 119556

Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Редактор Л. А. Блатова Гр. 89

Типография Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Петровка, 14.

Информационно-издательский отдел.

Объем 0,17 и. л. Зак. 3784

Подп, к печ. З.VI-59 г.

Тираж 760 Цена 25 коп.

Многослойный пленочный датчик э.д.с. холла

Похожие патенты:

Датчик магнитного поля // 2262777

Изобретение относится к полупроводниковым магниточувствительным датчикам, использующим эффект Холла

// 163508

Датчик холла // 508829

Бесконтактный переключатель // 636717

Датчик магнитного поля // 680567

Бесконтактный датчик линейных перемещений // 1786545

Датчик магнитного поля // 1824659

Датчик магнитной индукции // 2490753

Изобретение относится к полупроводниковым магниточувствительным устройствам и может быть использовано как датчик магнитной индукции в составе измерительной аппаратуры и в различных системах ориентации и навигации летательных аппаратов

Микроэлектромеханический датчик магнитного поля // 2490754

Изобретение относится к полупроводниковым магниточувствительным датчикам, использующим технологию микроэлектромеханических систем

Датчик магнитного поля и способ его изготовления // 2513655

Изобретение может быть использовано для создания миниатюрных датчиков для трехосевой магнитометрии. Датчик магнитного поля содержит сенсорные узлы, реализованные на использовании эффекта Холла, которые выполнены в составе криволинейной оболочки с системой слоев. В системе слоев присутствуют восприимчивые к магнитному полю - функциональные и формообразующие. Последними обеспечена кривизна оболочки и возможность ориентации крестообразных холловских элементов сенсорных узлов в пространстве с выполнением соответствия измеряемых холловских напряжений ортогональным компонентам вектора внешнего магнитного поля. Способ изготовления датчика магнитного поля заключается в следующем. На подложке формируют многослойный пленочный элемент/элементы. При этом используют материалы, геометрию и внутренние механические напряжения, обеспечивающие ориентацию крестообразных холловских элементов сенсорных узлов в пространстве, при которой реализовано соответствие измеряемых холловских напряжений ортогональным компонентам вектора внешнего магнитного поля. На стадии формирования пленочного элемента изготавливают слои, формообразующие, механически напряженные, и функциональные, восприимчивые к магнитному полю, с холловскими контактами. Пленочный элемент отделяют от подложки, трансформируя его под действием внутренних механических напряжений в оболочку с достижением ориентации крестообразных холловских элементов в пространстве, при которой реализовано соответствие измеряемых холловских напряжений ортогональным компонентам вектора внешнего магнитного поля. Решения обеспечивают достижение точности и надежности одновременных измерений ортогональных компонент магнитного поля, а также компоненты вектора магнитного поля, отличной от перпендикулярной к плоскости датчика; повышение надежности датчика и воспроизводимости параметров датчиков. 2 н. и 22 з.п. ф-лы, 6 ил., 5 пр.