Центрифуга для сушки полупроводниковых пластин

 

ЦЕНТРИФУГА ДЛЯ СУШКИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛАСТИН, содержащая ротор с держателями для кассет с пластинами , механизм поворота держателей, состоящий из шарнирно закрепленных на роторе поворотных рычагов, привод и задатчик позиционного останова ротора , отличающаяся тем, что, с целью сокращения времени сушки и повыиения производительности, на рычагах механизма поворота держателей смонтированы подшипники, в которых размещены оси, а держатели кассет закреплены на последних и связаны карданными соединениями со штангами, установленными в отверстиях шарниров, укрепленных на роторе, и имеющими винтовой паз для взаимодействия с пальцем, запрессованным в шарнир, при зтом центрифуга снабжена тягами, шарнирно соединенными с поворотными рычагами и с рьМажноползунным механизмом, кинематически связанным с кулачком. СО

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИК (19) (11) 3(51) В 04 В 5 00 ъ"

ОПИСАНИЕ, ИЗОБРЕТЕНИЯ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ

Н ABTOPGKOMV СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 3412174/28-13 (22) 17 ° 03.82 (46) 07.07.84. Бюл. )) 25 (72) И.П.Папаш и Е.A.Êàðïóê (53) 66.067.57 (088.8) (56) 1.Мягков A Т., Корсетов Е.М.

Химико-технологическая аппаратура микроэлектроники. М., Энергия, 1979, с. 196, рис. 7-3ã.

2.Авторское свидетельство СССР

)) 940860, кл. В 04 .В 5/00, 1980 ° (54) (57) ЦЕНТРИФУГА 11ЛЯ СУШКИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛАСТИН, содержащая ротор с держателями для кассет с пластинами, механизм поворота держателей, состоящий из шарнирно закрепленных на роторе поворотных рычагов, привод и задатчик позиционного останова ротора, отличающаяся тем, что, с целью сокращения времени сушки и повышения производительности, на рычагах механизма поворота держа.телей смонтированы подшипники, в которых размещены оси, а держатели кассет закреплены на последних и связаны карданными соединениями со штангами, установленными в отверстиях шарниров, укрепленных на роторе, и имеющими винтовой паэ для взаимодействия с пальцем, запрессованным в шарнир, при этом центрифуга снабжена тягами, шарнирно соединенными с поворотными рычагами и с рь|чажнополэунным механизмом, кинематически щ

Ф связанным с кулачком.

1101306

Изобретение относится к оборудованию для удаления влаги с деталей ,в .поле действия центробежных сил, например, пелупроводниковых пластин.

Известна центрифуга для сушки ,деталей Радиоэлектронного производства, .содержащая корпус с крышкой, ротор с гнездами для кассет (1)

Недостатком этой центрифуги явЛяется то, что загрузка и выгрузка кассет производится вручную. !О

Наиболее близкой пО технической сущности и достигаемому эффекту к изобретению является центрифуга для сушки полупроводниковых пластин, содержащая ротор с держателями для 15 кассет с пластинами, механизм поворота, состоящий из шарнирно эакрепленнйх на роторе поворотных, рычагов, привод и задатчик .позиционного оста-, нова ротора j2) . ®

Недостатком этой центрифуги является низкая производительность, обусловленная тем, что .пластины, загруженные s кассету,.располагаются в, равноудаленных друг от друга плоскостях, параллельных оси ротора, и положение их во время. сушки не изменяется, поэтому длительность центрифугирования зависит от времени сушки наиболее удаленной от центра кассеты пластины.

Цель изобретения — сокращение времени сушки.и повыаение производитель-. .ности центрифуги

Цель достигается тем,что в центри- 35 фуге для сушки. полупровоДниковых пластин, содержащей .ротор .с держателями для кассет.с пластинами, механизм поворрта держателей, состоящий . из шарнирно закрепленных на роторе 4О поворотных рычагов, привод и задатчик позиционного останова ротора, на рычагах механизма поворота держа. телей смонтированы подшипники, в которых размещены оси, а держатели 45

- кассет закреплены на последних и связаны карданными соединениями со штангами, установленными в отверстиях шарниров, укрепленных на роторе, и имеющими винтовой паз для взаимо 50 действия с пальцем, запрессованным s шарнир, при этом центрифуга снабжена тягами, шарнирно соединенными с поворотными рычагами и с рычажно-пол" зунным механизмом, кинематически связанным с кулачком.

На фиг. 1 схематично изображена предлагаемая центрифуга, общий вид» продольный разрез;(слева от оси симметрии в положении загрузка-выгруз" 60 ка, справа - во время центрифугирования) 1 на фиг. 2 - сечение A-A на, фиг. l ó на фиг. 3 .- вид В иа фйг. 11 на фиг. 4 - вид В на фиг.. 1 на фиг. 5 - сечение Г-.Г на фиг. 4. 65

Центрифуга состоит из корпуса I, ротора 2 с задатчиком 3 позиционного останова, двигателя .4 и ременной передачи 5. Ротор снабжен шарнирами

6-8, направляющей 9 для ползунов 10.

К шарнирам 7 и ползунам 10 подвешены рычажно-полэунный механизм, состоящий из толкателя ll рычагов 12 и 13, коромысел 14 и тяг 15, соединенных с поворотными рычагами 16.

На рычагах 16 смонтированы подшипники 17, в которых установлены оси держателей 18 кассет, связанные посредством карданных соединений 19 . с продольными штангами 20, установленными в отверстиях шарниров 8 и имеющими винтовой паз 21. Угол повоо рота винтового паза 21 равен 90 а его длина равна длине дуги угла

s 90, описываемой осью подшипников

17 при переводе рычага 16 из вертикального в горизонтальное положение, и наоборот. Штанги 20 скользят в отверстиях шарниров 8, в которые запрессованы пальцы 22. Для удержания поворотных рычагов 16 с держателями 18 в положении загрузки-выгруз-. ки служит пружина 23, которая, отжимая книзу толкатель 11,.через.подшипник 24 давит на второй толкатель .

25, обеспечивая кинематическое замыкание его ролика с профилем кулачка 26.

Для стока рабочей жидкости из центрифуги служит сливной патрубок

27 ° Сверху центрифуга закрыта крышкой 28. Держатели 18 имеют специальные пазы 29 для фиксации кассет 30 с пластинами 31. .Центрифуга работает следующим образом.

При открытой крышке 28 кассеты 30 с помощью автооператоров загружают в дер" жатели 18,обеспечивая их фиксацию с помощью .пазов 29. После загрузки крыш-. ка автоматически закрывается и включается привод кулачка 26 или пневмоцилиндра (не показан) Вращаясь кулачок 26 приподнимает толкатели ll и 25 вверх. При своем подъеме толкатели посредством рычагов 12 вращают коромысла 14 вокруг шарниров 7 таким образом, что их противоположные концы опускаются, увлекая за собой ползуны 10, а следовательно, и поворотные рычаги 16. Вращаясь вокруг шарниров 6, рычаги 16 давят на штанги 20, заставляя их скользить относительно шарниров 8 и их пальцев 22.

Воздействуя на одну из сторон винтоного паза 21,.палец 22 при скольжении штанг, разворачивает их, а следовательно, и связанные с нйми с помощью карданного соединения 19 держатели 18 кассет s ту или другую сторону. После того, как рычаги 16 при своем повороте вниз достигают угла

1101306 более 45, включается привод ротора 2, начинается разгон центрифуги и сушка пластин. Когда же рычаги 16 достигают вертикального (отвесного) положения, привод кулачка 26 или включается, или же ролик толкателя

25 переводится на профиль минимального удаления кулачка.

Полный разворот держателей 18 на угол 90 происходит во время разворота рычагов 16 также на 90 . a этот момент заканчивается и разворот держателей 18 с кассетами 30. При этом пластины 31 становятся перпендикулярно оси вала ротора, а их боковые смоченные поверхности совпадают с плоскостями действия векторов центробежных сил масс капель жидкости.

По окончании процесса сушки включаетсл привод ротора 2.и начинается подъем рычагов 16 с держателями 18 в положение выгрузки-загрузки.

Достигнув определенной величины уменьшения частоты вращения ротора включается следящая система задатчика 3 позиционного останова, обеспечивающая фиксированную;остановку. ротора 2 .в положении,,при .котором продольные.оси.держателей 18 кас.сет 30 параллельны .продольной оси технологической линии»

После остановкй.всех механизмов

10 центрифуги открывается. крышка 28, . производится выгрузка-загрузка кассет и затем цикл возобновляется, Во время загрузки-выгрузки. привод поворота кулачка 26 или включен, 15 или же ролик .толкателя 25 выведен на профиль максимального удаления кулачка.

Использование изобретения позволит интенсифицировать процесс сушки пластин, увеличив тем самым производительность центрифуги.

1101306

4-4 8

2/ 7g

Фиг. 2

Уидд

Заказ 4700/7

Тираж 551 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР ао делам изобретений и открытий

113035, Москва,.Ж-35, Раушская наб., д.4/5

Филиал ППП. Патент ., r.ужгород, ул.Проектная,4

Составитель Е.Камаганрва

Редактор A.Øàíäîp Техред Т. Маточка Корректор Г. Решетник