Криогенная откачная система

 

КРИОГЕННАЯ ОТКАЧНАЯ СИСТЕМА по авт. св. № 953263, отличающаяся тем, что, с целью повышения быстроты действия путем стабилизации температуры криопанели , последняя снабжена змеевико.м, размещенным в ее полости, вход которого через вентиль подключен к полости криопанели , а выход - к полости низкого давления криогенератора. (Л ;о ю

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

„„SU„,, 1110927 А з< 1) г 04 В 37 02

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К А ВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (61) 953263 (2Ô ) 3651924/25-06 (22) 11.10.83 (46) 30.08.84. Бюл. № 32 (72) В. И. Иванов (71) Ленинградский ордена Трудового Красного Знамени технологический институт холодильной промышленности (53) 621.528.3 (088.8) (56) 1. Авторское свидетельство СССР № 953263, кл. F 04 В 37/02, 1981. (54) (57) КРИОГЕННАЯ ОТКАЧНАЯ СИСТЕМА по авт. св. № 953263, отличающа»г» тем, что, с целью повышения быстроты действия путем стабилизации температуры криопанели, последняя снабжена змеевиком, размещенным в ее полости, вход которого через вентиль подключен к полости криопанели, а выход — к полости низкого давления криогенератора.! !! 0927

Соста в ител ь О. Ти шина

Редактор М. Бандура Техред И. Верес Корректор И. Эрдейи

Заказ 5945 27 Тираж 623 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета, СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП «Патент>, г. Ужгород, ул. Проектная, 4! пн>ретецие относится к вакуумной технике.

По основному авт. св. № 953263 известна крио генная откач ная систем а, содержащая импульсный криогенный вакуумный насос с полой криопанелью, заполненной гелием, и криогенератор, имеющий полости высокого и низкого давления, при этом полость криопанели заполнена адсорбентом и подключена трубопроводами с вентилями к полостям криогенер; тора (1).

Однако в указанной системе не используется д, .я стабилизации температуры криопанели в процессе криооткачки холодоцроизводительность криогенератора, обусловленная изотермическим эффектом дросселирования десорбируемого газа при выходе его из криопанели в полость ниЛкого давления криогенератора.

Целью изобретения является повышение быстроты действия путем стабилизации температуры криопанели.

Поставленная цель достигается тем, что в криогенной откачной системе, содержащей импульсный криогенный вакуумный насос с полой криопанелью, заполненной гелием, и криогенератор, имеющий полости высокого и низкого давления, а полость криопанели заполнена адсорбентом и подключена трубопроводами с вентилями к полостям криогенератора, криопанель снабжена змеевиком, размещенным в ее полости, вход которого через вентиль подключен к полости криопане- З0 ли, а выход — к полости низкого давления криогенератора.

На чертеже схематично изображена откачная система.

Криогенная откачная система содержит импульсный криогенный вакуумный насос 1 с полой криопанелью 2, заполненной гелием, и криогенератор, имеющий полости 3 и 4 высокого и низкого давления. Полость 5 криоцанели 2 заполнена адсорбентом и подключена трубопроводами 6, 7 и 8 с вентилями 9 и 10 к полостям 3 и 4 криогенератора.

Криопанель 2 снабжена змеевиком 11, размещенным в ее полости 5, вход которого через вентиль 10 подключен к полости 5 криопанели 2, а выход — к полости 4 низкого давления криогенератора.

Откачная система работает следующим образом.

В процессе охлаждения криопанели вентиль 9 открыт, а вентиль 10 закрыт. Холодный гелий из криогенератора охлаждает криопанель 2 и адсорбент, находящийся в полости 5. Адсорбент поглощает гелий при давлении в полости 3 высокого давления криогенератора. При переходе на режим криооткачки вентиль 9 закрывают и открывают вентиль 10. С понижением давления в полости 5 происходит десорбция ранее поглощенного гелия. Поскольку существует перепад давлений в полости 5 и полости 4 низкого давления криогенератора, то в вентиле 10 и змеевике ll происходит дросселирование гелия, что приводит к снижению

его температуры. Поскольку после дросселирования для нагрева гелия до исходной температуры требуется определенное количество теплоты, то часть теплопритока к криопанели оказывается скомпенсированной, и это замедляет или совсем прекращает рост температуры на поверхности криопанели.

Таким образом, введение в схему откачной системы теплообменника 11 позволяет стабилизировать температуру криопанели и увеличить тем самым быстроту действия системы в целом.

Криогенная откачная система Криогенная откачная система 

 

Похожие патенты:

Изобретение относится к вакуумной и криогенной технике и может быть использовано как в вакуумных насосах для получения глубокого вакуума, так и в рефрижераторах криосорбционной откачки рабочего тела, в частности для откачки 3He в рефрижераторах растворения

Изобретение относится к системам ультравысокого вакуума для обработки полупроводникового изделия, к геттерным насосам, используемым в них, и к способу обработки полупроводникового изделия
Изобретение относится к способам вакуумирования гермообъемов и преимущественно может быть использовано в холодильной, морозильной технике и устройствах кондиционирования и осушения воздуха с использованием термоэлектрических модулей на эффекте Пельтье, а также в измерительной технике, радиоэлектронной аппаратуре электровакуумных приборах и т.д
Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к сорбционным (геттерным) насосам, и может быть использовано в вакуумных системах водородных стандартов частоты

Изобретение относится к криогенной технике, а именно к адсорбционным насосам, предназначенным для поддержания вакуума путем поглощения молекул газа из замкнутых объемов

Изобретение относится к насосам, работа которых основана на хемосорбции и предназначенным для поддержания вакуума путем поглощения молекул газов

Изобретение относится к области криогенной техники, а именно к устройствам адсорбционных насосов, предназначенным для поддержания вакуума путем поглощения молекул газов из замкнутых объемов

Изобретение относится к области криогенной техники, а именно к устройствам адсорбционных насосов, предназначенных для поддержания вакуума путем поглощения молекул газов из замкнутых объемов

Изобретение относится к области криогенной техники, а именно к устройствам адсорбционных насосов, предназначенных для поддержания вакуума путем поглощения молекул газов из замкнутых объемов
Наверх