Устройство для обработки фасок на полупроводниковых пластинах

 

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОБРАБОТКИ ФАСОК НА ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛАСТИНАХ, содержащее смонтированные на станине шпиндель изделия с держателем, шпиндель инструмента с приводом его вращения и механизм относительного перемещения инструмента и изделия, отличающееся тем, что, с целью повышения качества обработки путем самоустановки изделия относительно инструмента вдоль оси, шпиндель изделия выполнен полым, а держатель установлен в нем с возможностью свободного осевого перемещения без относительного про ворота. i (Л У

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК эш 24 В

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К ABTOPCHOMV СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 3346611/25-08 (22) 13.! 0.81 (46) 23.09.84. Бюл. № 35 (?2) Б. Н. Корниенко, Г. И. Денисов, К. В. Атаманчук, И. И. Филимонов и В. Н. Корниенко (53) 621.923.4 (088.8) (56) 1. Патент США № 4031667, кл. кл. В 24 В 9/00, опублик. 1977 (прототип) (54) (57) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОБРАБОТКИ

ФАСОК НА ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ

„.,$0.„ШЯЩ А

ПЛАСТИНАХ, содержащее смонтированные на станине шпиндель изделия с держателем, шпиндель инструмента с приводом его вращения и механизм относительного перемещения инструмента и изделия, отличающееся тем, что, с целью повышения качества обработки путем самоустановки иэделия относительно инструмента вдоль оси, шпиндель изделия выполнен полым, а держатель установлен в нем с возможностью свободного осевого перемешення беэ относительного про ворота.

1114528 .

Составитель С. Ухорский

Редактор Н. Лазаренко Техред И. Верес Корректор М. Демчик

Заказ 6391)9 Тираж 736 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам Изобретений и открытий! 13035, Москва, Ж вЂ” 35. Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП «Патент», г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Изобретенне относится к автоматизация и механиэацнн технологических процессов обработки деталей, в частности к оборудованню для снятия фасок с периферии полуп ров одн н ковы х пл асти н.

Известно устройство для обработки перифернн полупроводниковых пластин, содержа щее вращающийся держатель изделия,шпнндель с инструментом Ч-образного профиля н приводом его вращения, а также механнзм для подвода н отвода инструмента 11), Недостатком устройства является некачественная обработка периферии полупроводниковых пластин (разлнчная форма н размеры фасок) нз-за сложности точной установки пластины относительно V-образного паза, т. е. несовпадения осн симметрии пластины н инструмента.

Целью нэобретення является повышение качества обработки периферии пластин путем самоустановкн иэделия относительно инструмента вдоль осн.

Поставленная цель достигается тем, что в устройстве для обработки фасок на полупроводннковых пластинах, содержащем смонтированные на станине шпиндель изделия с держателем, шпиндель ннструмента с приводом его вращения н механизмом относительного перемещения инструмента н изделий, шпиндель изделия выполнен полым, а держатель установлен в нем с возможностью свободного осевого перемещения без относительного проворота.

На чертеже показана принципиальная схема устройства.

На подшнпннковых опорах 1 установлен зращающнйся полый вал 2 с фланцем на

)дном конце н шкивом 3 на другом.. Сквозь ал 2 проходит держатель 4 пластин, имев ий на одном конце фланец, который служит толнком для закрепления обрабатываемых

11ластнн, а на другом — узел подвода ва куума 5. Столик держателя 4 связан с флам цем вала 2 прн помощи штифтов, нсключаю щнх нх относнтельяый проворот, но не препятствующнх осевому смещению держателя

4. На подшнпннковых опорах 6 смонтнрован шпиндель 7 с режущим инструментом 8 н шкивом 9.

Кроме этого, устройство содержит ступен чатый сегмент 10 для ориентации пластины относительно центра столика, приводные двнгателн 11 н 12 н упругий элемент 13 вращения иэделия 14 н шпинделя 7 параллельны н располагаются в горизонтальной, плоскости с целью исключения действия масс конструкции на осевое перемещение держателя 4.

Устройство работает следующим образом.

Полый вал 2 с держателем 4 перемещаются влево. Пластина 14 ориентируется с помощью ступенчатого сегмента 10, а прн включеннн вакуума закрепляется на столике держателя 4. Включаются приводы 11 н 12 вращення держателя н инструмента. С помощью упругого элемента 13 пластина 14 прижимается. к режущему инструменту 8.

Разлнчне толшнны пластин 14 автоматнческн компенсируется за счет самоустановкн относительно осн паза осевым смещением держателя 4 под действием снл резания до совпадения плоскости симметрии ннструмен30 та н пластины.

По окончаннн обработки держатель 4 с пластиной 14 отводятся в исходное положение, вакуум отключается н пластина сннмается.

Устройство обеспечивает качественную обработку полупроводниковых пластин за счет самоустановкн нх относительно осн прорнля инструмента