Объектив малого увеличения (его варианты)

 

1. Объектив малого увеличения содержащий две группы линз, симметрично расположенных относительн апертурной диафрагмы, каждая из ко торых состоит из двух компонентов, первьй из которых положительный, включающий двояковьтуклую линзу и одиночный псшожительный мениск, обращенный вогнутостью к диафрагме а второй отрицательный, о т л и чающи .йся тем, что, с цел улуцщения качества изображения путем исправления комы и кривизны изображения, увеличения числовой апертуры и рабочего расстояния, двояковыпуклая линза выполнена склеенной из отрицательного мениска и двояковыпуклой линзы, а отрицательный компонент выполнен в виде отрицательного и концентричного менисков , обращенных выпуклостью к диафрагме , при следующем соотношении для каждой группы линз -Л -i .хомп, 17 отр. KQwn где пол. комп фокусное расстояние положительного компонента J - фокусное расстояние , групп линз, -отр, комп - фокусное расстояние отрицательного компонента} воздушный промежуток между положительным и отрицательным компонентами.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

69) (И) gyp C 02 В 9/64

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ изображения, увеличения числовой апертуры и рабочего расстояния, двояковыпуклая линза выполнена склеенной из отрицательного мениска и двояковыпуклой линзы, а отрицательный компонент выполнен в виде отрицательного и концентричного менисков, обращенных выпуклостью к диафрагме, при следующем соотношении для каждой группы линз l отр,комп.= 7

I 4 поккоМп, 1д2

11 пол y,омп

42I нотр. Комп

6 7

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 3590882/18-10

1(22) 12.05.83 (46) 23.09.84. Бюл. - 35 (72) Л.П.Фелькина (53) 771.351.6 (088.8) (56) 1. Патент Франции В 2065535, I кл. Q 02 В 11/00, опублик. 1971.

2. Патент Японии Р 46-2940, кл. 104 А 412 5, опублик. 1971 (прототип) . (54) ОБЪЕКТИВ МАЛОГО УВЕЛИЧЕНИЯ (ЕГО ВАРИАНТЫ) ° . (57) 1. Объектив малого увеличения содержащий две группы линз, сим метрично расположенных относительно апертурной диафрагмы, каждая из которых состоит из двух компонентов, первый из которых положительный, включающий двояковыпуклую линзу и одиночный положительный мениск, обращенный вогнутостью к диафрагме, а второй отрицательный, о т л и ч а ю шийся тем, что, с целью улучшения качества изображения путем исправления комы и кривизны фокусное расстояние положительного компонента, фокусное расстояние

rpупп линз, фокусное расстояние отрицательного компонента, воздушный промежуток между положительным и отрицательным компонентами.

111

2. Объектив малого увеличения, содержащий две группы линз, расположенных по обе стороны относительно апертурной диафрагмы, каждая из которых состоит из двух компонентов первый из которых положительный, включающий положительную линзу и одиночный положительный мениск, обращенный вогнутостью к диафрагме, а второй отрицательный, о т л и ч а ющи й.с я тем, что, с целью улучшения качества изображения путем исправления комы и кривизны изображения, увеличения числовой апертуры и рабочего расстояния, положительный компонент правой группы линз дополнительно содержит одиночную двояковыпуклую линзу, установленную эа одиночньм положительным мениском, положительная линза левой группы линэ выполнена двояковыпуклой, склеенной из отрицательного мениска и двояковыпуклой линзы, положитель-, ная линза правой группы линз — ме- „

5003 ниск, склеенный иэ положительного и отрицательного менисков, обращенных вогнутостью к диафрагме, а отрицательный компонент выполнен в виде мениска, обращенного выпуклостью к диафрагме, при следующем соотношении для каждой группы линз

I I

Rob КОМО, цg QTP. aoMn. P где 1Ощ „Π— фокусное расстояние положительного компонента; 1 — фокусное расстояние

l групп линз, отр,комΠ— фокусное расстояние отрицательного компонента; — воздушный промежуток, между положительным и отрицательным компонентами.

Изобретение относится к области оптического приборостроения, а именно к объективам, и может быть использовано в оптико-измерительных. приборах, таких, как микропроекторы, 5 измерительные микроскопы, где для исследования протяженных обьектов сложного профиля необходимы Ьбьективы с большими линейными полями, рабочими расстояниями и точностью измерения 10 порядка 2-4 мкм.

Известен объектив с малым увеличением, состоящий из двух групп линз„ включающих в себя четыре линзы, расположенные по обе стороны от третьего компонента, представляющего .двояковогнутую линзу (1) .

Наиболее близким к изобретению по технической сущности является объектив малого увеличения, содер- 20 жащий две группы линз, симметрично расположениьж относительно апертурной диафрагмы, каждая иэ которых состоит из двух компонентов, первый иэ которых положительный, состоящий иэ одиночных двояковыпуклой линзы и положительного мениска, обращенного вогнутостью к диафрагме, а второй отрицательный, выполненный в виде двояковогнутой линзы (2) .

Однако известный объектив при достаточно хорошо исправленных хроматической аберрации и дисторсии имеет значительные величины комы и кривизны изображения, малые числовую апертуру и рабочее расстояние. !

Целью изобретения является улучшение качества изображения путем исправления комы и кривизны изображения, увеличение числовой апертуры и рабочего расстояния.

Поставленная цель достигается тем, что в объективе малого увеличения по первому варианту, содержащем две группы линз, симметрично расположенных относительно апертурной диафрагмы, каждая из которых состоит из двух компонентов, первый из которых положительный, включающий двояковыпуклую линзу и одиночный положительный мениск, обращенный

3 111ЗООЗ вогнутостью к диафрагме, а второй отрицательный, двояковыпуклая линза выполнена склеенной из отрицательного мениска и двояковыпуклой линзы, а отрицательный компонент выполнен в виде отрицательного и концентричного менисков, обращенных выпуклостью к диафрагме, при следующем соотношении для каждой группы линз

l I поккомп.- мг от9;коапп = р где 1 — фокусное расстояние поь комп, положительного компонента; фокусное расстояние групп линз, — фокусное расстояние

o>ð. Комп отрицательного K0MIIoнента, — воздушный промежуток между положительным

-и отрицательным компонентами.

Поставленная цель достигается тем, что в объективе малого увеличения по второму варианту, содержащем две группы линз, расположенных по обе стороны относительно апертурной диафрагмы, каждая из которых состоит из двух компонентов, первый из которых положительный, включающий положительную линзу и.одиночный положительный мениск, обращенный вогнутостью к диафрагме, а второй от рицательный, положительный компонент правой группы линз дополнительно содержит одиночную двояковыпуклую линзу, установленную за одиночным положительным мениском, положительная линза левой группы линз выполнена двояковыпуклой, склеенной из отрицательного мениска и двояковыпуклой линзы, положительная линза правой группы линз — мениск, склеенный из положительного и отрицательного менисков, обращенных вогнутостью к диафрагме, а отрицательный компонент выполнен в виде мениска, обращенного выпуклостью к диафрагме, при следующем соотношении для каждой группы линз ! (!

tt0h K0hhll.

I — фокусное расстояние групп линз; нотр комп- фокусное расстояние отрицательного компонента, — возрушный промежуток между положительным и отрицательным компонентами.

1р Оба варианта выполнения предложенного объектива обеспечивают равенство соотношенияфокусных расстояний правой и левой .групп линз увеличению объектива

На фиг. 1 представлена принципиальная оптическая схема объектива, первый вариант выполнения, на фиг.2— то же, второй вариант выполнения.

Объектив по первому варианту (фиг. 1) содержит две аналогичные группы линз, каждая из которых состоит из двух компонентов 1 и 2.

Компонент 1 состоит из двояковыпуклой линзы, склеенной из отрицательного мениска 3 и двояковыпуклой линзы 4, и положительного мениска 5.

Компонент 2 состоит из отрицатель. ного 6 и концентричного 7 менисков, 6 — апертурная диафрагма. зо

Объектив по второму варианту (фиг. 2) содержит две группы линз, расположенных по обе стороны относительно диафрагмы 8, причем левая группа линз состоит из двояковыпуклой линзы, склеенной из отрицательного мениска 9 и двояковыпуклой линзы 10, положительного 11 и отрицательного 12 менисков, а правая группа линз — из отрицательного 13 и положительного 14 менисков, двояко.выпуклой линзы 15 и положительного

|мениска, склеенного из положитель ного 16 и отрицательного 17 менис45 ков.

По первому варианту -выполнения

1 . х объектив имеет увеличение Я = -1 х а по второму — P = -1,4.

50 Предлагаемый объектив имеет высо:кое качество изображения как в центре поля, так и на краях его, болыпое рабочее расстояние и числовую апер» ,туру.

55 Так, если у известного объектива при величине рабочего расстояния в. отношении к фокусному расстоянию, равной 1,3S 3 и числовой апертуре

1115003

Составитель В.Архипов

Редактор Т. Kyrpaaaeaa Техред A..À÷ Корректор Г .Ог ар

Заказ 6766/33 Тираж 496 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, R-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент", r. Ужгород, ул. Проектная, 4

0,053 кома равна 0,098 мм, кривизна изображения 0,06 мм, то у предложенного объектива при величине рабочего расстояния, равной 2, и числовой

1 апертуре 0,16.кома равна 0 для (= -1" и 0,005 мм, для Р -1,4 кривизна изображения равна: для

-1 - 0,008 мм и для P =-1,4х

0,01 мм.

Это позволяет использовать предлагаемый объектив для совместной работы с основным объективом микропроектора, предназначенного для из

5 готовления микросхем и деталей слож-! ного профиля для исследования фотоt пластин и пленок с точностью измерения порядка 2-4 мкм, и с увеличениями 25-100