Устройство фиксации разрезаемой пластины

 

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ФИКСАЦИИ РАЗРЕЗАЕМОЙ ПЛАСТИНЫ, содержащее основание с элементами базирования разрезаемой пластины, крышку и узел крепления крьшки к основанию, о тличающее ся тем, что, с целью повышения производительности, основание и крышка снабжены прорезями , расположенными во взаимно перпендикулярных направ.пениях, и упругими элементами, расположенными между прорезями. (Л ю tc оо

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (д) Н 01 L 21/78

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К.АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 3412858/18-25 (22) 26.03.82 (46) 30. 10.84 . Бюл. ¹ 40 (72) В,H.Ëåáåäåâ и Т.Н.Слепов (71) Ярославское научно-производ.ственное объединение "Электронприбор" (53) 621.921.34(088.8) (56) 1."Техническое описание установки резки УРПА-M" (OXM 3.104.020), 1976.

2. Заявка Великобритании

¹ 1496480, кл. В 5 Е, опублик. 1977 (прототип).

„„SU„„1121723 А (54) (57) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ФИКСАЦИИ

РАЗРЕЗАЕМОЙ ПЛАСТИНЫ, сonåðæàùåå основание с элементами базирования разрезаемой пластины, крышку и узел крепления крышки к основанию, о тл и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения производительности, основание и крышка снабжены прорезями, расположенными во взаимно перпендикулярных направлениях, и упругими элементами, расположенными между прорезями.

7 б б

44 г.2

ВНИИПИ Закаэ 7989/40 Тираж 682 Подписное

Фидиал ШШ "Патент", г. Узгород, ул.Проектная,4

1 11217

Изобретение относится к механической обработке неметаллических материалов, в частности резке полупроподниковых пластин на кристаллы.

Известно устройство фиксации раз5 врезаемой пластины в виде подложки, выполненной из незасаливающего алмазный круг материала, на которую наклеивается разрезаемая пластина (1j .

Недостатками известного устройства 1О являются быстрый выход подложек из строя вследствие их частичного прорезания алмазным кругом и загрязнение разрезаемой пластины клеящим веществом.

t5

Наиболее близким к предложенному по технической сущности является устройство, содержащее основание с элементами базирования разрезаемой пластины крышку и узел крепления gp крышки к основанию, причем крышка снабжена прорезями, между которыми расположены упругие элементы (2) .

Недостатками данного устройства являются обязательное наличие вакуум- 5 ной системы, обеспечивающей крепление пластины к основанию, а также низкая производительность ввиду необходимости снятия, поворота и закрепления крышки, а также поворота всего устройства.

Цель изобретения — повышение проР изводительности с одновременным исключением потребности в вакуумной системе.

Поставленная цель достигается тем,З5 что в устройстве фиксации разрезаемой пластины, содержащем основание с эле23 2 ментами базирования разрезаемой пластины, крышку и узел крепления крышки к основанию, основание и крышка снабжены прорезями, расположенными во взаимно перпендикулярных направлениях, и упругими элементами, расположенными между прорезями.

На фиг. 1 представлено устройство фиксации разрезаемой пластины в разъеме; на фиг. 2 — разрез устройства в сборе.

Устройство содержит основание 1, крышку 2, узел крепления 3 крышки к основанию, упругие элементы 4, элементы 5 базирования разрезаемой пластины. Ь основании и крышке выполнень1 прорези 6.

Разрезаемая пластина 7 помещается на основание 1, базируясь по элементам 5, выполненным в виде штифтов.

Крышка 2 прижимает пластину к основанию при помощи упругих элементов 4 и закрепляется узлом крепления 3.

Сквозное прорезание пластины производится, например, алмазным кругом, после чего устройство переворачивается, поворачивается вокруг вертикаль-ной оси «а 90, и пластина прорезао ется в другом направлении. Образующиеся кристаллы удерживаются упругими элементами.

Использование предлагаемого устройства позволяет повысить производительность процесса разделения пластин на кристаллы при одновременном упрощении эксплуатации устройства за счет исключения потребности в вакуумной системе.