Стекло

 

СТЕКЛО, содержащее SiO, BgOj, BaO, AljOj и ZnO, о т л ич а ю щ е е с я тем, что, с целью повьшения химической устойчивости к воде и снижения диэлектрических потерь, оно дополнительно содержит TeQj при следующем соотношении компонентов , мае. %: / SiOj 21-23,5 20-25 18-22 БаО 8-10 ZnO 20-25 1,5-5 ТёОг S W с

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИН

09) 01) Эаю С 03 C. 3/10 . ъ

ga

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕН

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

flO ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ (21) 3614290/29-33 (22) 06 ° 07.83 (46) 07.12 .84. Бюл. Р 45 (72) Н.M.Áîáêoâà, Г.Е.Рачковская, Л.Г.Шишканова, С.А.Янковская

Ч и Е.К.Дулевич (71) Белорусский ордена Трудового

Красного Знамени технологический институт им.С.M.Kèðîâà (53) 666.112.6(088.8) (56) 1. Авторское свидетельство СССР

Ф 885164, кл. С 03 С 3/10, 1981.

2. Авторское свидетельство СССР по заявке Р 3421552/29-33, кл. С 03 С 3/ 10, 1982. (54)(57) СТЕКЛО, содержащее SXO>, ВгО, ВаО, А1гОз и ZnO, о т л ич а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения химической устойчивости к воде и снижения диэлектрических потерь, оно дополнительно содержит

ТеО> при следующем соотношении компонентов, - мас.Ж:

Si0г 21 23 5

Вгаз

ВаО 18-22

АЕ,О, 8-10

Zn0 20-25

ТеОг . 1 5-5

1127856

Изобрртение относится к составам стекол, применяемым в микроэлектронике в качестве, например, спаев с керамикой 22ХС для создания ИДМструктур и толстопленочных.резисторов, Известно стекло, содержащее мас.%:

Si0< 24-41 6; А гО 2,0-3 0; ВаО

26,0-31,0; СаО 0,1-4,0; В О 7,08,4; В О 16,2-26,0, ЕпО 0,1-6,0 11). 1О

Недостатками стекла являются низкая химическая устойчивость (Й гидролитический класс), ограничивающая

его использование в атмосфере повышенной влажности, и повышенный тем- 15 пературный. коэффициент линейного расширения.

Наиболее близким к предлагаемому стеклу по технической сущности и достигаемому результату является стек- 2О ло следующего состава, мас.%: SiO

30-35; В20 18-23; ВаО 23-28; А120

4-6; Zn0 15-17 !23.

Недостатками известного стекла являются довольно низкая химическая 25 устойчивость к воде (Ш гидролитический класс, % потери массы равен О, 18-0,22) и относительно высокие диэлектрические потери (8_#_0 4=15-25) .

Цель изобретения — повышение химической устойчивости к воде и снижение диэлектрических потерь. . Указанная цель достигается тем, что стекло, содержащее Si02, В Оз, ВаО, А120 и ZnO, дополнительно содержит ТеО при следующем соотношег нии компонентов, мас.%:.

8 02 21-23,5

В О 20-2 5

Применение указанного стекла в- народном хозяйстве позволяет расширить область использования электронных приборов с МДМ-структурой в атмосфере, насыщенной влагой, обеспеивает надежность и долговечность спаиваемых узлов за счет согласованАО . ности ТКЛР стекла и керамики.

Состав (2 (3

22,5

21,0

23,5

23,0

25,0

В,О, 20,0

ВаО

19,5

18,0

22,0

10,0

А1 гОз

9,0

8,0

20,0

23,5

ZnO

25,0

3,5.

5,0

Те02

1,5

Химический состав и свойства

1, Химический состав, мас ° %:

8 02

ВаО 18-22.

МаОФ 8 10

Zn0 20-25

ТеО 1,5-5

Синтез стекла осуществляют в газовой пламенной печи при температуре 1460-1480 С. В качестве сырьевых материалов для приготовления шихты используют кварцевый песок, глино- . зем, борную кислоту, углекислый барий, оксиды цинка и теллура.

В таблице приведены конкретные примеры стекол и их физико-химические свойства. В качестве образца ,для сравнения выбран известный сос, тав.

Сопоставительный анализ химичес.,кого состава и свойств известного и предлагаемых составов стекол показал, что последние отличаются новым компонентом — оксидом теллура и иным соотношением остальных компонентов, благодаря чему достигается повышение. химической устойчивости к воде до П гидролитического класса (улучшается на 30%) и снижение диэлектрических потерь. Кроме того, введение оксида теллура улучшает технологические свойства стекломассы и снижает температуру спаивания стекла с керамикой.! 127856

Продолжение таблицы

Химический состав и свойства

Состав

2. Физико химические свойства температура начала размягчения, С

645

650

630 температура спаивания, Ос

730

720

750 температурный коэффициент линейного расширения от 20-300 С, g.i0 град

54

58 химическая устойчивость к воде, гидролитический класс (Е потери массы) П (0,095) П (О, 085) П (0,09) диэлектрические потери, tglx10 < при Е=10 Гц

9,75

9,5 диэлектрическая проницаемость

I

Заказ 8833/17 Тираж 468 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий . 113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5 !

Филиал ППП "Патент", г . Ужгород, ул. Проектная, 4

Составитель Г.Буровцева

Редактор Н.Яцола Техред M.Íàäü Корректор Н. Король с