Устройство для закрепления полупроводниковых пластин на планшайбе центрифуги

 

УСТРОЙСТВО ,Щ1Я ЗАКРЕПЛЕНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛАСТИН НА ПЛАНШАЙБЕ ЦЕНТРИФУПИ, содержащее дер- , , установленные на ползунах, размещенных с возможностью перемещения в плоскости планшайбы посредством ходовых винтов, отличающееся тем, что, с целью повышения надежности в работе, держатели выполнены в виде Г-образных двуплечих рычагов, шарнирно закрепленных на ползунах, причем центры массы рачагов смещены относительно точки их крепления на ползунах 1C со Од го Фиг,1

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОИ Л

РЕСПУБЛИК

„Я0.„1129672 А

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К AB ГОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Ппас аона

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И OTHPbIYMA (21) 3536939/24-21 (22) 10.01.83 (46) 15. 12.84. Бюл. Р 46 (72) Ю.В. Смирнов и М.И. Денисов (71) Краснодарское отделение Всесоюз-.. ного ордена Трудового Красного Знамени научно-исследовательского института источников тока (53) 621. 396. 6. 049. 75 (088. 8) (56) 1. Авторское свидетельство СССР

В 864381, кл. Н 01 L 21/00, 1979.

2. Авторское свидетельство СССР

У 439947, кл.. Н 05 К 3/10, 1972 (прототип). (54) (57) УСТРОЙСТВО ДДЯ ЗАКРЕПЛЕНИЯ

ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛАСТИН НА ПЛАНШАЙБЕ ЦЕНТРИФУГИ, содержащее держатели, установленные на ползунах, размещенных с возможностью перемещения в плоскости планшайбы посредством ходовых винтов, о т л и ч аю щ е е с я тем, что, с целью повышения надежности в работе, держатели выполнены в виде Г-образных двуплечих рычагов, шарнирно закрепленных на ползунах, причем центры массы рачагов смещены относительно точки их крепления на ползунах

Изобретение относится к оборудованию полупроводниковой промьппленности и может быть использовано для закрепления полупроводниковых пластин и других изделий на планшайбе центрифуги при проведении контроля качества поверхности плас тин методом сканирования световым .лучом либо для других технологических операций, связанных с вращением пластины.

Известно устройство для крепления полупроводниковых пластин, содержащее держатели в виде упругих пластин (i) .

Однако необходимость отжатия пластин при их снятии с устройства создает неудобства при его обслуживании и .снижает производительность.

Наиболее близким по технической сущности к изобретению является устройство для закрепления полупроводниковых пластин на планшайбе центрифуги, содержащее держатели полупроводниковых пластин, установленные на ползунах, размещенных с возможностью перемещения в плоскости планшайбы посредством ходовых винтов l2) .

Недостаток данного устройства заключается в ненадежном креплении пластин при вращении планшайбы.

Цель - повышение надежности в работе.

Поставленная цель достигается тем, что в устройстве для закрепления полупроводниковых пластин на планшайбе центрифуги, содержащем держатели полупроводниковых пластин, установленные на полэунах, разме. щенных с возможностью перемещения в плоскости планшайбы посредством ходовых винтов, держатели выполнены в виде Г-образных двуплечих рычагов, шарнирно закрепленных на ползунах, при4ем центры массы ры1129672 чагов смещены относительно точки их крепления на нолзунах.

На фиг. 1 изображено предлагаемое устройство, обший вид; на фиг.2.

5. разрез А-А на фиг. 1; на фиг. 3— держатель, рабочее положение.

Устройство содержит держатели 1, установленные на ползунах 2 и размещенные в пазах 3 планшайбы 4, ус10 тановленной на валу 5 центрифуги.

Ползуны 2 имеют возможность перемещения в плоскости планшайбы 4 по. средством ходовых винтов б, установленных в ползунах 2 и закреплен15 ных своими концами на планшайбе 4.

Держатели 1 выполнены в виде двуплечих рычагов Г-образной формы, закрепленных шарнирно на ползунах 2 посредством осей 7, причем центр

20 массы каждого из рычагов смещен относительно точки крепления таким образом, что в исходном состоянии рычаг находится в откинутом положении под действием своего веса.

Устройство работает следующим образом.

Вращением ходовых винтов 6 устанавливают ползуны 2 с держателями 1 в положение, соответствующее конфигурации и размерам обрабатываемой полупроводниковой пластины. Затем загружают пластину в устройство и включают привод центрифуги. При вращении планшайбы 4 держатели 1 поворачиваются на осях 7 под действием центробежных сил и зажимают пластину. После окончания обработки и остановки планшайбы 4 держатели f под действием силы своего веса поворачиваются в исходное положение, освобождая обработанную пластину.

Устройство обеспечивает надежное крепление полупроводниковых пластин и автоматическое освобождение их после окончания цикла обработки.

1129672 (ентр масси

Составитель Г. Падучин

Редактор М. Келемеш Техред З.Палий Корректор А. Тяско

Заказ 9458/42 Тираж 682 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент", r. Ужгород, ул. Проектная, 4