Устройство для обработки оптической детали
УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОБРАБОТКИ ОПТИЧЕСКОЙ ДЕТАЛИ, содержащее экранирующую маску, расположенную в вакуумной камере между ионным источником и держателем оптической детали , установленным с возможностью вращения и кинематически соединенным с первым вращающим узлом, подсоединенным к первому выходу формирователя управляющих сигналов, второй выход которого подключен к второму вращающему узлу, соединенному кинематически с поворотной заслонкой, a третий и четвертый выходы - соответственно к третьему и четвертому вращающим узлам, и диск, о т л и чающееся тем, что, с целью повышения точности обработки и умень шения ее длительности,в него введены датчики плотности ионного тока, закрепленные на диске, кинематически соединенном с третьим вращающим узлом и установленном с возможностью вращения в поворотной , .заслонке сооско оси вращения держателя оптической детали, и многоканальный интегратор тока, выход . которого подключен к формирователю управляющих сигналов, причем датчики плотности ионного тока подсоединены к входам многоканального интегратора тока, a поворотная заслонка установлена межДу держателем оптической детали и экранирующей маской, кинематически соединенным с четвертым вращающим узлом. :о ел
СОЮЗ СОВЕТСНИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ
РЕСПУБЛИК
0% (И) 4(51) G 11 В 7/22
0llHGAHHE ИЗОБРЯтяНия
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР
flO ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ
Н АВТОРСНОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 3661340/24-10 (22) 05.11.83 (46) 30.01.85.Бюл.У 4 (72) Е.С.Журкин, В.А.Киселев, В.И.Кореньков, С,А,Припадчев и А.Сефилиппов (53) 681.84,001.2 (088.8) (56) 1.Патент Великобритании
У 1290863, клаН 1 9, опублик.1972, 2. Авторское свидетельство СССР
11р 834800, кл.H 01 J 37/30,1978 (прототип). (54)(57 ) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОБРАБОТКИ
ОПТИЧЕСКОЙ ДЕТАЛИ, содержащее экранирующую маску, расположенную в вакуумной камере между ионным источником и держателем оптической дета-, ли, установленным с возможностью вращения и кинематически соединен» ным с первым вращающим узлом, подсое диненным к первому выходу формирователя управляющих сигналов, второй выход которого подключен к второму вращающему узлу, соединенному кинема тически с поворотной заслонкой, а третий и четвертый выходы — соответственно к третьему и четвертому вращающим узлам, и диск, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения точности обработки и умень шения ее длительности,в него введены датчики плотности ионного тока, закрепленные на диске, кинематически соединенном с третьим вращающим узлом и установленном с возможностью вращенияфв поворотной . заслонке соосно оси вращения держателя оптической детали, и многоканальный интегратор тока, выход . которого подключен к формирователю 19 управляющих сигналов, причем датчики плотности ионного тока подсоединены к входам многоканального ннтегратора тока, а поворотная заелонка установлена между держателем оптической детали и зкранирующей маской, кинематически соединенным с четвертым вращающим узлом.
1137519
5 ..узлам, и диск, введены датчики плотности тока, закрепленные на диске, кинематически соединенном!
I
Недостатком данного устройства 15 является значительная сложность его обслуживания.
Известно также устройство для обработки оптической детали,содержаще экранирующую маску, располо- 20 женную в вакуумной камере между ионным источником и держателем оп- . тической детали, установленным с возможностью вращения и кинематически соединенным с первым вращающим 25 узлом, подсоединенным к первому выходу формирователя управляющих сигналов, второй выход которого подключен к второму вращающему узлу, соединенному кинематически с пово- 50 ротной заслонкой, а третий и четвертый выходы - соответственно к третьему и четвертому вращающим узлам, и диск. Это устройство позволяет обеспечить относительную простоту его обслуживания f2)
Недостатком этого устройства является малая точность обработки оптической детали и значительная ее длительность.. Это обусловлено тем, 40 что поверхность оптической детали обрабатывается в нем последователь-, 1 но по участкам ограниченной площади.
Цель изобретения — повышение точности обработки и уменьшение ее 45 длительности.
Поставленная цель достигается тем, что в устройство для обработки оптической детали, содержащее экранирующую маску, расположенную в вакуум-50 ной камере между ионным источником и держателем оптической детали, уста" новленным с возможностью .вращения и кинематически соединенным с первым вращающим узлом, подсоединенным к 55 первому выходу формирователя управляющих сигналов, второй выход которого подключен к второму вращающему
Изобретение относится к области накопления информадии, а именно к устройствам для обработки оптических деталей.
Известно устройство для обработки оптической детали, содержащее экранирующую ма:аку,расположенную в вакуумной камере между ионным источ
1 ником и держателем оптической детали. Известное устройство при относительной простоте .его конструк" ции позволяет обесыечить обработ., ку оптической детали (lj . узлу„ соединенному кинематически с поворотной заслонкой, а третий и четвертый выходы — соответственно. к третьему и четвертому врастающим с третьим вращающим узлом и установленном с возможностью вращения в поворотной заслонке соосно оси вращения держателя оптической детали, и многоканальный интегратор тока, выход которого подключен к форми рователю управляющих сигналов, причем датчики плотности ионного тока подсоединен к входам многоканального интегратора тока, а поворотная заслонка установлена между держателем оптической детали и экранирую1 щей маской, кинематическн соединен-. ным с четвертым вращающим узлом.
Предлагаемое устройство за счет введения в него датчиков плотности ионного тока и многоканального интегратора тока позволяет в значитель. ной степени повысить точность обработки оптической детали и уменьшить ее длительность, На чертеже показан один из возможных вариантов предлагаемого устройства, Ф
Устройство содержит экранирующую маску 1, расположенную в вакуумной камере 2 между ионным источником 3 (и держателем 4 оптической детали 5, Держатель 4 оптической детали 5 установлен с возможностью вращения и кинематически соединен с первым вращающим узлом 6, Последний подсоединен к первому выходу формирователя 7 управляющих сигналов, который может быть выполнен в виде элект" ронно-вычислительной машины. Второй выход формирователя 7 управляющих сигналов подключен к второму вращающему узлу 8, соединенному кинематически с поворотной заслонкой 9, установленной между держателем 4 оптической детали 5 и экранирующей маской 1. Третий и четвертый выходы формирователя 7 управляющих сигналов подключены соответственно к третьему и четвертому вращающим узлам 10 и 11..
Устройство содержит также датчики 12 плотности ионного тока, укрепленные на диске 13, кинематически соединенном с третьим вращающим узлом 10 через зубчатую передачу 14
3 11 и телескопический кардан 15, Диск 13 установлен с возможностью вращения в поворотной заслойке 9 соосно оси вращения держателя 4 оптической дета ли 5. При этом датчики 12 плотности ионного тока подсоединены к входам многоканального интегратора 16 тока, выход которого подключен к формирователю 7 управляющих сигналов.
Экранирующая маска 1 установлена с возможностью вращения в пластине 17, жестко укрепленной в вакуумной каме-. ре 2, При этом экранирующая маска 1 кинематически соединена с четвертым вращающим узлом 11 посредст-" вом зубчатой передачи 18, Обработка оптической детали пред,лагаемым устройством происходит следующим образом, Ионный источник 3 формирует пучок ионов, который через экранирующую маску 1 воздействует на вращаемую оптическую деталь 5, обеспечивая распыление материала на ее поверхности. Причем это воздействие ион37519 ного пучка осуществляют, когда диск 13 выведен перемещением поворотной заслонки 9 из пространства между экраннрующей маской 1 .и оптической деталью 5. При введении диска 13 в пространство между экранирующей маской 1 и оптической деталью 5 пучок ионов воздействует на датчики 12 плотности ионного тока.
10 Сигналы датчиков 12 плотности ионного тока через многоканальный инте гратор 16 тока воздействует на формирователь 7 управляющих сигналов, Последний по сигналам датчиков 13 плотности ионного тока производит поворот экранирующей маски 1 в положение, обеспечивающее требуемое распределение плотности ионного тока, 20
Предлагаемое изобретение по сравнению с базовым объектом позволяет в значительной степени повысить точность обработки оптической детали и уменьшить ее длительность.
ЗППППП Заказ 10333/39 Тирли 383 Покликала Филиал ППП Патавт г. Увгорол, ул.Проаитвал,4
