Акустооптическое устройство для измерения линейных перемещений

 

Акустооптическое устройство для измерения линейных перемещений, содержащее источник излучения, блок формирования двух оптических каналов, последовательно расположенные пластины, на одну из которых, жестко соединенную с иглой-зондом и установленную с возможностью перемещения в вертикальной плоскости, нанесена дифракционная решетка, а на второй размещен возбудитель поверхностной акустической волны с частотой F₁, соединенный с генератором, оптическая формирующая система, два фотодетектора, электрически соединенные с входами усилителей, выходы которых соединены с входами регистрирующего устройства, отличающееся тем, что, с целью повышения разрешающей способности, на второй пластине дополнительно размещены два возбудителя поверхностных акустических волн с частотой F₂, отличной от частоты F₁, соединенные с генераторами, а выходы усилителей соединены с входами регистрирующего устройства через полосовой фильтр с частотой пропускания F₃ = F₂ - F₁, при этом на торцах второй пластины и между введенными возбудителями установлены поглотители.