Устройство для измерения давления

 

УСГРСЛСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ДАВЛЕНИЯ по авт. св. Р 620854, СО отличающееся тем, что, с целью повьшения точности, в газовом тракте размещена дополнительная откачивающая твердоэлектролитная ячейка, причем откачивакицая твердоэлектролитная и дозирующая твердоэлектролитная ячейки последовательно подключены к источнику тока, при этом наружный электрод дозирующей твердоэлектролитной ячейки соединен с отрицательным полюсом источника тока, а наружный электрод откачивающей твердоэлектролитной ячейки с положительным полюсом источника тока.

4р!) G 01 L 11/00

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ ("

H АВТОРСЙОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ тока.

Г0СУДАРСТВЕННЬЮ КОМИТЕ1Г QQCP

llO ДЕЛАМ ИЭОЬРЕТЕНИЙ И ОТНРИТИЙ (61) б20854 (21) 3672334/24-10 (22) 05.12.83 (46) 15.04.85. Бюл. Р 14 (72) В.Г. Баженов, В.Е. Журавлев, Г.И. Иурзин, Д.It. Нодругин и В.В. Филимонов (53) 531.787(088.8) (56) 1. Авторское свидетельство СССР

Р 620854, кл. 6 01 I. 11/00, 1978 (прототип). (54)(57) УСТРОЙСТВО ДЛЯ И31%РЕНИЯ

ДАВЛЕНИЯ по авт. св. Р 620854, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повьппения точности, в газовом тракте размещена дополнительная откачивающая твердоэлектролитная ячейка, причем откачивающая твердоэлектролитная и дозирующая твердоэлектролитная ячейки последовательно подключены к источнику тока, при этом наружный электрод дозирующей твердозлектролитной ячейки соединен с отрицательным полюсом источника тока, а наружный электрод откачивающей твердозлектролитной ячейки— с положительным полюсом источника

1150502

В известном устройстве в вакуумную систему постоянно поступает сравнительный газ — кислород. Давление . и содержание кислорода в вакуумной системе увеличиваются тем быстрее, 5О чем меньше измеряемое давление газа в вакуумной системе и чем меньше объем вакуумной системы.

Для устранения указанных недостатков предлагаемое устройство содержит дополнительную откачивающую . твердоэлектролитную ячейку 7, расположенную в газовом тракте 4 между потенциометрической твердоэлектроИзобретение относится с измеритель-I ной технике, в частности к датчикам давления в вакуумных системах.

По основному авт. св. Р 620854 известно устройство, содержащее 5 потенциометрическую твердоэлектролитную ячейку с измерителем ЭДС, рабоая камера которой с одной стороHbI соединена с вакуумной системой газовым трактом, а с другой сторо- IO ны — с натекателем газа, выполненным в виде дозирующей твердоэлектролитной ячейки с источником тока (1) .

Известное устройство характеризуется ограниченной областью применения и недостаточной точностью измерения давления в вакуумных системах небольших объемов, в связи с тем что нз-за сравнительного газа (чистого кислорода), поступающего щ из натекателя в вакуумную систему, происходит как изменение давления, так и изменение содержания кислорода в вакуумной системе.

Цель изобретения — повышение точ- 25 ности измерения и расширение области применения.

Поставленная цель достигается тем, что в устройстве для измерения давления в газовом тракте размещена дополнительная откачивающая твердоэлектролитная ячейка, причем откачивающая твердоэлектролитная и дозирующая твердоэлектролитная ячейки последовательно подключены к источнику тока, при этом наружный электрод дозирующей твердоэлектролитной ячейки соединен с отрицательным полюсом источника тока, а наружный электрод откачивающей твердоэлектролитной

40 ячейки — с положительным полюсом источника тока.

Работа устройства основана на создании в рабочей камере потенциометрической твердоэлектролитной ячейки сравнительной среды — чистого кислорода, получаемого из натекателя, причем давление в рабочей камере поддерживается равным давлению в вакуумной системе. Откачивающая твердоэлектролитная ячейка служит для полной откачки кислорода, поступающего по газовому тракту из нате.кателя, причем откачивается кислорода столько же, сколько накачивается с помощью натекателя, в связи с 5 тем что натекатель и откачивающая твердоэлектролитная ячейка подключены последовательно к источнику тока, На чертеже представлена схема предлагаемого устройства для измерения давления.

Натекатель, выполненный в виде дозирующей твердоэлектролитной ячейки 1 с источником 2 тока, сообщен с входом рабочей камеры потенциометрической твердоэлектролитной ячейки 3, выход рабочей камеры которой сообщается через газовый тракт 4 с вакуумной системой 5. К электродам потенциометрической твердоэлектрической ячейки 3 подключен измеритель б ЭДС. В газовом тракте 4 размещена откачивающая твердоэлектролитная ячейка 7. Дозирующая твердоэлектролитная ячейка 1 и откачивающая твердоэлектролитная ячейка 7 подключены последовательно к источнику 2 тока, причем наружный электрод твердоэлектролитной ячейки 1 подключен к отрицательному полюсу источника 2 тока, а наружный электрод твердоэлектролитной ячейки 7 к положительному полюсу.

Измерение давления осуществляется следующим образом.

Натекатель, выполненный в виде твердоэлектролитной ячейки 1, под действием тока от источника 2 тока дозирует кислород, который поступает в потенциометрическую твердоэлектролитную ячейку 3, давление в которой поддерживается равным давлению в вакуумной системе.

На электродах твердоэлектролитной ячейки 3 возникает ЭДС, измеряемая измерителем 6 ЭДС. Давление в вакуумной системе равно

Р = 0,207 Poòì 10 где Š— ЭДС по измерителю 6;

Р— атмосферное давление. ем

Составитель А. Соколовский

Редактор И. Рыбченко Техред А.Бабинец

Корректор И. Самборская

Заказ 2132/31 Тираж 897

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Подписное

Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4.3 11 литной ячейкой 3 и вакуумной системой 5 ° Откачивающая твердоэлектролитная ячейка 7 необходима для полной откачки сравнительного газа (кислорода), поступающего от натекателя 1 через потенциометрическую твердоэлектролитную 3 ячейку, газог вый тракт 4, причем откачивается кислорода столько же, сколько накачивается натекателем 1, в связи с тем что натекатель 1 и откачивающая твердоэлектролитная ячейка 7 носледовательно подключены к,источнику 2 тока, причем наружный электрод твердоэлектролитной ячейки 1 присоединен к отрицательному полюсу источника

50502 4 тока, а наружный электрод твердозлектролитной ячейки 7 — к положительному полюсу источника тока.

Введение в устройство дополнительной откачивающей твердоэлектролитной ячейки 7 позволяет расширить область применения устройства (производить измерения давления газа в малых объемах) и повысить точность иэмере1п ния давления {погрешность измерения 2 относ.Ж против 5 относ.Ж иэ вестного устройства) благодаря тому, что сравнительный газ (чистый кислород) не поступает s вакуумную систему .и не изменяет содержания кислорода и давления в вакуумной системе.